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公开(公告)号：CN100444321C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200410098554.6
申请日：2004-12-09
申请人： 株式会社日立显示器
CPC分类号： H01L21/02691 , C30B1/06 , H01L21/02683 , H01L21/02686 , H01L21/2026 , H01L27/12 , H01L27/1285 , H01L29/04
摘要： 本发明公开了一种半导体薄膜的制造方法及图像显示装置，该制造方法是在基板上形成的半导体薄膜的任意区域，通过使激光或上述基板扫描进行激光照射，来形成结晶化了的大致带状晶体，使得晶粒在上述扫描方向上生长，以在与扫描方向大致相同的方向上测量出的上述激光的光束尺寸W(μm)的值x为X轴，以扫描速度Vs(m/s)的值y为Y轴，在这样的XY坐标上，在条件1：上述光束尺寸W大于激光光束的波长，条件2：上述扫描速度Vs小于晶体生长速度的上限，条件3：x×(1/y)＜25μs全都成立的区域内进行上述结晶化处理。能得到降低了在结晶化的过程中产生的膜的粗糙度和晶体缺陷的高质量且均质的半导体薄膜。
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公开(公告)号：CN1649109A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200410091294.X
申请日：2004-12-01
申请人： 株式会社日立显示器
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/477 , H01L21/20 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02691 , B23K26/0738 , C30B13/24 , C30B29/06 , H01L21/02678 , H01L21/02683 , H01L21/2026 , H01L29/04 , H01L29/78675
摘要： 在用光束整形器把由调制器调制过的激光整形成细长形的光束时，使光束整形器整形为细长形的光束沿扫描方向的尺寸为2～10μm、2～4μm更好，扫描速度为300～1000mm/s、500～1000mm/s更好，从而使激光能源利用效率高，而且能够不易对硅薄膜产生损伤。这样，就能够以高产量在扫描照射激光的基板上的规定区域内得到横方向生长结晶(带状结晶)的区域。
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公开(公告)号：CN100555654C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200410080784.X
申请日：2004-10-15
申请人： 株式会社日立显示器
CPC分类号： G09G3/3233 , G09G3/3208 , G09G2300/0819 , G09G2300/0852 , G09G2300/0861 , G09G2320/043 , H01L27/3244 , H01L27/3297 , H01L51/52 , H01L2227/326 , H01L2251/5338
摘要： 本发明公开了一种柔性显示装置，包括：柔性基片，构成所述柔性显示装置的包封的至少一部分；多个象素，布置在柔性基片上；一组终端，形成在柔性基片的一个表面上的第一部分处，并且把信号供给到所述多个象素；及加强件，固定到在柔性基片的另一个表面上的至少一个第二部分上，该第二部分跨过所述柔性基片的厚度面对着第一部分。
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公开(公告)号：CN100347835C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200410091294.X
申请日：2004-12-01
申请人： 株式会社日立显示器
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/477 , H01L21/20 , B23K26/00
CPC分类号： H01L21/02691 , B23K26/0738 , C30B13/24 , C30B29/06 , H01L21/02678 , H01L21/02683 , H01L21/2026 , H01L29/04 , H01L29/78675
摘要： 在用光束整形器把由调制器调制过的激光整形成细长形的光束时，使光束整形器整形为细长形的光束沿扫描方向的尺寸为2～10μm、2～4μm更好，扫描速度为300～1000mm/s、500～1000mm/s更好，从而使激光能源利用效率高，而且能够不易对硅薄膜产生损伤。这样，就能够以高产量在扫描照射激光的基板上的规定区域内得到横方向生长结晶(带状结晶)的区域。
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公开(公告)号：CN1649089A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200410098554.6
申请日：2004-12-09
申请人： 株式会社日立显示器
CPC分类号： H01L21/02691 , C30B1/06 , H01L21/02683 , H01L21/02686 , H01L21/2026 , H01L27/12 , H01L27/1285 , H01L29/04
摘要： 本发明公开了一种半导体薄膜的制造方法及图像显示装置，该制造方法是在基板上形成的半导体薄膜的任意区域，通过使激光或上述基板扫描进行激光照射，来形成结晶化了的大致带状晶体，使得晶粒在上述扫描方向上生长，以在与扫描方向大致相同的方向上测量出的上述激光的光束尺寸W(μm)的值x为X轴，以扫描速度Vs(m/s)的值y为Y轴，在这样的XY坐标上，在条件1：上述光束尺寸W大于激光光束的波长，条件2：上述扫描速度Vs小于晶体生长速度的上限，条件3：x×(1/y)＜25μs全都成立的区域内进行上述结晶化处理。能得到降低了在结晶化的过程中产生的膜的粗糙度和晶体缺陷的高质量且均质的半导体薄膜。
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公开(公告)号：CN1610458A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410080784.X
申请日：2004-10-15
申请人： 株式会社日立显示器
CPC分类号： G09G3/3233 , G09G3/3208 , G09G2300/0819 , G09G2300/0852 , G09G2300/0861 , G09G2320/043 , H01L27/3244 , H01L27/3297 , H01L51/52 , H01L2227/326 , H01L2251/5338
摘要： 本发明公开了一种柔性显示装置，包括：柔性基片，构成所述柔性显示装置的包封的至少一部分；多个象素，布置在柔性基片上；一组终端，形成在柔性基片的一个表面上的第一部分处，并且把信号供给到所述多个象素；及加强件，固定到在柔性基片的另一个表面上的至少一个第二部分上，该第二部分跨过所述柔性基片的厚度面对着第一部分。
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