电子部件
    21.
    发明公开
    电子部件 审中-实审

    公开(公告)号:CN116325495A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202180065930.3

    申请日:2021-09-13

    Abstract: 本发明的技术问题在于,在具有集成了电容器和电感器的3层以上的导体层的电子部件中,防止因绝缘层的应力而引起的界面剥离。本发明的电子部件(1)具备:导体层(M1),其包括构成电感器的导体图案(25);导体图案(31),其隔着电介质膜(4)与导体图案(25)的一部分重叠;绝缘层(11),其覆盖导体层(M1)和导体图案(31);导体层(M2),其设置于绝缘层(11)上,并且包括构成电感器的导体图案(55);以及绝缘层(12),其覆盖导体层(M2)。导体层(M2)还包括:虚设图案(56),其从导体图案(55)分支或独立地设置,并且与导体图案(31)重叠。由此,由于绝缘层(12)的应力未直接施加于导体图案(31),因此,防止在导体层(M1)和电介质膜(4)的界面的剥离。

    电子部件及其制造方法
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113851326B

    公开(公告)日:2023-05-16

    申请号:CN202110691163.9

    申请日:2021-06-22

    Abstract: 本发明提供一种能够缓和由温度变化引起的内部应力的电子部件。电子部件(1)具备:平坦化层(3),覆盖基板(2)的表面;导体层(M1),设置于平坦化层(3)上,包含下部电极;电介质膜(4),由与平坦化层(3)不同的材料构成,覆盖平坦化层(3)及导体层(M1);上部电极,经由电介质膜(4)层叠于下部电极;以及绝缘层(I1),覆盖导体层(M1)、电介质膜(4)以及上部电极。绝缘层(I1)的外周部不经由电介质膜(4)而与平坦化层(3)相接。这样,由于绝缘层(I1)的外周部与平坦化层(3)相接,因此作为平坦化层(3)的材料,通过选择相对于绝缘层(I1)的密合性比电介质膜(4)低的材料,能够在该部分释放由温度变化引起的内部应力。

    电子零件及其制造方法
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114830273A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202080087843.3

    申请日:2020-12-04

    Abstract: 本发明的目的在于,在具有电容器的电子零件中,通过缓和电介质膜的应力,防止下部电极与电介质膜的界面的剥离。电子零件(1)包括:设置在基板(2)的主面上、构成下部电极的导体图案(15);覆盖导体图案(15)的上表面(15t)和侧面(15s)的电介质膜(4);和隔着电介质膜(4)层叠于导体图案(15)的上表面(15t)、构成上部电极的导体图案(18)。电介质膜(4)除去与基板(2)的主面平行的部分的至少一部分。这样,电介质膜中与基板的主面平行的部分的至少一部分被除去,因此应力因被除去的部分而缓和。由此防止下部电极与电介质膜的界面的剥离。

Patent Agency Ranking