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公开(公告)号：CN101937172A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010214856.0
申请日：2010-06-28
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/075 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L21/768 , H01L23/532 , C08G77/04
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G77/12 , C08G77/18 , C08G77/20 , G02F1/136286 , G03F7/0757 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及一种正型放射线敏感性组合物、固化膜、层间绝缘膜及其形成方法、显示元件以及硅氧烷聚合物。本发明提供一种与醌二叠氮基化合物的相容性高，在ITO膜蚀刻步骤中能形成耐抗蚀剂剥离液性优良的层间绝缘膜的聚硅氧烷类正型放射线敏感性组合物。该组合物含有[A]硅氧烷聚合物和[B]醌二叠氮基化合物，上述[A]硅氧烷聚合物中的芳基相对于Si原子的含量为超过60摩尔％并在95摩尔％以下。[A]硅氧烷聚合物是至少含有下述式(1)所示的化合物的水解性硅烷化合物的水解缩合物。
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公开(公告)号：CN101546127A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910127063.2
申请日：2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2－醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。
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公开(公告)号：CN101546119A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910127064.7
申请日：2009-03-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1339
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、分隔物及其制备方法以及液晶显示元件。提供在分隔物形成时产生的挥发性成分的量非常少、并且对于基于缝模涂敷法的高速涂敷也能够应付的感射线性树脂组合物。上述感射线性树脂组合物包括：[A]具有由羧基和羧酸酐基构成的群组中选出的至少一种基团以及来源于以季戊四醇四(3－巯基丙酸酯)为代表的特定多元硫醇化合物的基团，并且由凝胶渗透色谱测得的聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)与聚苯乙烯换算的数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为1.0～2.8的聚合物；[B]聚合性不饱和化合物；以及[C]感射线性聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN101359174A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200810130172.5
申请日：2008-07-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/008 , G03F7/00 , C08F220/32 , C08F4/04 , C08F220/10 , C08F212/08
Abstract: 本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其含有[A]聚合物、和[B]1，2－二叠氮醌化合物，所述[A]聚合物具有如下基团：选自羧基和羧酸酐基的至少1种的基团、选自环氧乙基和氧杂环丁烷基的至少一种基团、和下述式(1)表示的n价基团，(式(1)中RI是亚甲基或碳原子数2～10的亚烷基或者烷基亚甲基，Y是单键、－CO－、－O－CO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)或者－NHCO－*(其中，带有“*”的连接键与RI键合)，n是2～10的整数，X是可以具有1个或多个醚键的碳原子数2～70的n价烃基，“+”表示连接键)。
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公开(公告)号：CN101324755A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810125444.2
申请日：2008-06-13
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的感放射线性树脂组合物含有[A]具有选自环氧乙烷基及氧杂环丁烷基中的至少1种基团、和能与环氧乙烷基或氧杂环丁烷基加成反应的官能团的聚硅氧烷；及[B]1，2－重氮醌化合物。上述本发明的感放射线性树脂组合物即使在不足250℃的烧成条件下，用于形成层间绝缘膜时，也能够形成高耐热性、高耐溶剂性、高透射率、低介电常数的层间绝缘膜，另外用于形成微透镜时，能够形成具有高透射率和良好的熔化形状的微透镜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101256360A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810082145.5
申请日：2008-03-03
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 一种放射线敏感性树脂组合物，其含有：下述共聚物、和1，2－二叠氮醌化合物，所述共聚物是不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、含有环氧基或氧杂环丁烷基的至少一个的不饱和化合物、(甲基)丙烯酰基吗啉和其他不饱和化合物的共聚物。本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其具有高放射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间仍可以形成良好的图案形状的显影余量，可以容易地形成贴合性优异的图案状薄膜。
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公开(公告)号：CN101206401A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200610161738.1
申请日：2006-12-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种射线敏感性树脂组合物，其具有高的感射线敏感度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能形成良好图案形状的显影裕度，能够容易地形成密合性优良的图案状薄膜，并提供由其形成的层间绝缘膜和微透镜。一种射线敏感性树脂组合物，其包括不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酸酐、含环氧基的不饱和化合物、含酚骨架的不饱和化合物以及上述化合物以外的不饱和化合物的共聚物、和1，2－醌二叠氮化合物。
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公开(公告)号：CN1881082A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200610067902.2
申请日：2006-03-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/027 , G02F1/1339 , G02F1/1333
Abstract: 感放射线性树脂组合物，其含有：不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐；含有环氧基的不饱和化合物；和含有四氢呋喃骨架、呋喃骨架、四氢吡喃骨架、吡喃骨架、内酯骨架、氧化乙烯重复单元数为2～10的聚氧化乙烯骨架或氧化丙烯重复单元数为2～10的聚氧化丙烯骨架的不饱和化合物；除上述化合物以外的烯烃系不饱和化合物的共聚物；以及1，2－重氮醌化合物，并且可用于形成垂直取向型液晶显示元件用的凸起和/或间隔体。该组合物，作为光致抗蚀剂，可以形成析像度和残膜率优异，并且图形形状、耐热性、耐溶剂性、透明性等优异的凸起和间隔体，而且可以制成取向性、电压保持率等优异的垂直取向型液晶显示元件。
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公开(公告)号：CN102087473B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201010576964.2
申请日：2010-12-02
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN101727002B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN200910207034.7
申请日：2009-10-27
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明涉及一种感射线性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的制造方法。目的是提供一种感射线性树脂组合物，其对射线具有高敏感度，具有在显影工序中即使超出最佳显影时间也还能够形成良好图案形状的显影裕度。本发明是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化合物以及[C]分子中具有至少一个乙烯性不饱和键、且具有来源于三羟甲基丙烷或季戊四醇的骨架或者异氰尿酸酯骨架的化合物。[A]碱可溶性树脂为(a1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与含有(a2)具有环氧基的不饱和化合物的不饱和化合物的共聚物即可。
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