公开(公告)号：CN104760923B

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201410806304.7

申请日：2014-12-22

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 田中健一 ,  大川尚信 ,  矢泽久幸 ,  朝比奈宏行 ,  臼井学 ,  石曽根昌彦 ,  梅津英治

IPC: B81B7/02 ,  G01L9/04

Abstract: 本发明提供一种即使形成基于铝的配线层也能够抑制由热滞引起的输出变动的MEMS传感器。在正方形的MEMS传感器(1)的4个角部形成有金的电极片(16a、16b、16c、16d)。电极片(16a、16b、16c、16d)与检测元件部(15a、15b、15c)通过连结配线层(20、25)导通。连结配线层(20、25)由铝的下部配线层(21、26)和金的上部配线层(22、27)构成。通过以适当的长度将铝的下部配线层(21、26)平衡良好地配置，能够抑制因热滞引起的基于残留应力的输出变动。

公开(公告)号：CN104977121A

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201510161803.X

申请日：2015-04-07

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  臼井学 ,  石田弘 ,  中山一英 ,  上村秀树

IPC: G01L19/00 ,  G01L19/14

Abstract: 本发明目的在于提供一种抑制壳体的应力分布的不均匀而能够得到良好的气密性及传感器灵敏度的压力检测装置。本发明的压力检测装置(10)的特征在于，具有：形成有腔室(23)的壳体(21)；设置于腔室(23)的压力传感器(15)；埋设于壳体(21)的引线框(31)，引线框(31)具有：向腔室(23)的内部露出而与压力传感器(15)电连接的上部引线框(31a)；沿着壳体(21)的厚度方向延伸的连接部(31d)；从壳体(21)的底面(21b)露出的露出部(31e)，露出部(31e)与壳体(21)的底面(21b)构成同一平面。

公开(公告)号：CN104458111A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410458253.3

申请日：2014-09-10

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  须田康博 ,  石田弘 ,  上村秀树

IPC: G01L23/24 ,  G01L23/26

CPC classification number: G01L19/145 ,  G01L19/0654

Abstract: 本发明提供一种因热应力产生的应变不易作用在设置于壳体的压力传感器从而能够检测准确的压力值的压力检测装置以及使用了该压力检测装置的进气压测定装置。在设置于进气压测定装置的压力检测装置(10)中，在壳体(11)形成有由外壁部(14)围成的检测空间(15)，在检测空间(15)内一体地形成有两端部(16b、16c)与外壁部(14)连结的内壁部(16)。内壁部(16)为圆筒形状，在内壁部(16)与外壁部(14)之间形成有传感器收纳部(17)。在传感器收纳部(17)中，压力传感器(21)配置在与外壁部(14)相比更接近内壁部(16)的位置且热应力的影响最小的区域。

公开(公告)号：CN102792170B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201180012940.7

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  高桥亨 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆 ,  矢泽久幸 ,  大川尚信

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0837

Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。

公开(公告)号：CN102449489B

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201080024182.6

申请日：2010-05-18

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  高桥亨 ,  大川尚信 ,  菊入胜也 ,  矢泽久幸 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/08 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0021 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0837 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。

公开(公告)号：CN102449489A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201080024182.6

申请日：2010-05-18

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  高桥亨 ,  大川尚信 ,  菊入胜也 ,  矢泽久幸 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/08 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0021 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0837 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明的目的在于提供传感器灵敏度良好且耐粘附性良好的物理量传感器。物理量传感器具有：被固定支承的被定位部(5～7)；沿高度方向变位的可动部(2)；与被定位部和可动部连结成转动自如的支承部(3、4)；用于检测可动部的变位的检测部。支承部(3、4)构成为具有：连结被定位部与可动部(2)间的第一连结臂(3a、4a)；从被定位部向第一连结臂的反方向延伸且在支承部(3、4)转动而可动部(2)沿高度方向变位时向可动部(2)的变位方向的反方向变位的腿部(3b、4b)。在腿部(3b、4b)向可动部(2)的变位方向的反方向变位时，在腿部的前端部可抵接的位置设置有限动面，腿部的前端部与限动面抵接而抑制可动部(2)的变位。

公开(公告)号：CN208588493U

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201821100651.8

申请日：2018-07-12

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  大川尚信 ,  渡边京子 ,  佐藤公宣

IPC: G01L19/00 ,  G01L19/06

Abstract: 本实用新型提供能够实现低厚度化并且能够将接合线可靠地封固的防水型压力传感器。本实用新型的防水型压力传感器具有：压力检测元件；壳体，具有安装压力检测元件的凹部和设置在凹部的周围的边缘部；与压力检测元件连接的接合线；封固树脂，设置为高度从周边部到中央部变低，在凹部内使压力检测元件及接合线不露出而将它们埋入，该防水型压力传感器的特征在于，在与底面正交的方向上观看时，接合线配置于靠近在凹部的中央与边缘部之间的边缘部的连接区域，在优选的一个方式中，将凹部的底面作为基准，封固树脂的最低的位置的高度比接合线的环的顶点的高度低，封固树脂的最高的位置的高度比顶点的高度高。

公开(公告)号：CN205159303U

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201520899596.3

申请日：2015-11-12

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 金子雅史 ,  安藤秀人 ,  大川尚信

IPC: H01L23/12 ,  H01L23/485

CPC classification number: H01L2224/11

Abstract: 提供一种磁传感器安装于传感器基板的磁检测装置，该磁检测装置具有防止磁传感器的检测精度受到应力的影响而降低的构造。磁检测装置(1)在安装有集成电路的传感器基板(2)的接合面上，配置有用于连接于母基板的多个接合点(20)与磁传感器(10)。通过将接合点(20)沿传感器基板(2)的边缘部(2x、2y)配置，将磁传感器(10)配置于由接合点(20)包围的中央区域，由此能够减少焊接作业后的热应力、基板应力给磁传感器(10)带来的影响。

公开(公告)号：CN302080149S

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201230060054.9

申请日：2012-03-13

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Designer： 大川尚信 ,  石田弘 ,  服部靖之 ,  西水贵志 ,  上村秀树

Abstract: 1.产品名称：压力传感器模块。2.用途：本产品内置压力传感器，作为压力传感器使用，并具有可以看到其内部情况的透明部分。3.设计要点：整体形状。4.代表图：立体图。5.“主视图”中A处为透明。

公开(公告)号：CN303337360S

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201530024785.1

申请日：2015-01-27

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Designer： 矢泽久幸 ,  朝比奈宏行 ,  大川尚信 ,  臼井学 ,  石曾根昌彦 ,  遁所淳

Abstract: 1.本外观设计产品的名称为压力传感器。2.本外观设计产品用于测量压力，在壳体的内部收纳有压力传感器芯片，俯视图中央部的四边形为IC芯片，从形成于IC芯片周围的四边带形的槽向壳体内导入压力，通过压力传感器芯片检测该压力。3.本外观设计为针对同一产品的10项相似外观设计，其中指定设计1为基本设计。4.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。5.指定设计1立体图为最能表明设计要点的视图。6.由于设计1至设计10的后视图分别与各设计的主视图相同，故省略设计1至设计10的后视图；由于设计1至设计10的左视图分别与各设计的右视图相同，故省略设计1至设计10的左视图。