公开(公告)号：CN103454450B

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201310203177.7

申请日：2013-05-28

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  大川尚信 ,  高桥亨 ,  菊入胜也

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比能够获得高灵敏度的可动传感器。该可动传感器具有在高度方向上位移且彼此质量不同的第一可动部(2)及第二可动部(3)、转动自如地连结的第一连杆部(10)及第二连杆部(11)。第一连杆部(10)借助第一支点连结弹簧(16)而与支承部(15)连结。第二连杆部(11)借助第二支点连结弹簧(20)而与支承部(19)连结。第一支点连结弹簧(16)位于比第二可动部的左端部(3c)靠左侧的位置，第二支点连结弹簧(20)位于比第二可动部的右端部(3d)靠右侧的位置。

公开(公告)号：CN102792168B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201180013009.0

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆 ,  矢泽久幸 ,  高桥亨

IPC: G01P15/08 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00 ,  G01P15/125 ,  H01L23/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: H01L23/10 ,  B81C1/00269 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/019 ,  B81C2203/035 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。

公开(公告)号：CN102084258B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200980125605.0

申请日：2009-07-02

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  佐藤清 ,  高桥亨 ,  大川尚信

IPC: G01P15/125 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明提供一种薄型且小型并能够高精度地检测可动部的移动量的可动传感器。第一可动部(2)和第二可动部(4)通过连结连杆部(10a)和支承连杆部(20a)连结，以如果第一可动部(2)接近固定部(50)则第二可动部(4)离开固定部(50)的方式进行动作。在固定部(50)上设有第一固定电极(51)和第二固定电极(52)，在第一可动部(2)的表面(2a)上设置与第一固定电极(51)相对向的第一可动电极，在第二可动部(4)的表面(4a)上设置与第二固定电极(52)相对向的第二可动电极。由于第一可动部(2)和第二可动部(4)反向移动，因此通过求出第一固定电极(51)和第一可动电极之间的静电容量的变化、与第二固定电极(52)和第二可动电极之间的静电容量的变化之差，而能够检测第一可动部(2)的移动状态。

公开(公告)号：CN103454450A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310203177.7

申请日：2013-05-28

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  大川尚信 ,  高桥亨 ,  菊入胜也

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明的目的在于提供一种与以往相比能够获得高灵敏度的可动传感器。该可动传感器具有在高度方向上位移且彼此质量不同的第一可动部(2)及第二可动部(3)、转动自如地连结的第一连杆部(10)及第二连杆部(11)。第一连杆部(10)借助第一支点连结弹簧(16)而与支承部(15)连结。第二连杆部(11)借助第二支点连结弹簧(20)而与支承部(19)连结。第一支点连结弹簧(16)位于比第二可动部的左端部(3c)靠左侧的位置，第二支点连结弹簧(20)位于比第二可动部的右端部(3d)靠右侧的位置。

公开(公告)号：CN102792170A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180012940.7

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  高桥亨 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆 ,  矢泽久幸 ,  大川尚信

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/0837

Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够抑制可动部即可动电极与固定电极层间的电短路的物理量传感器。物理量传感器具备：基材，其具有锚定部(29)及在锚定部上经由弹簧部被支承成能够沿高度方向上变位的可动部(34)；对置部(20)，其与基材在高度方向上对置且固定支承锚定部，并且与可动部在高度方向上空出间隔地对置；固定电极层(28)，其形成在对置部的表面上；突起部(23)，其表面为对可动部限位的限位面；固定支承部(22)，其设置在对置部的表面上；接合部(26)，其由将固定支承部和锚定部间接合的金属层构成。突起部(23)从对置部(20)的表面突出，在下凹的对置部的表面上配置有固定电极层(28)，突起部(23)的表面比固定电极层(28)的表面在高度方向上突出。

公开(公告)号：CN104280182B

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201410305822.0

申请日：2014-06-30

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  菊入胜也 ,  高桥亨

IPC: G01L9/04

CPC classification number: G01L9/0054 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0264

Abstract: 本发明的目的在于提供一种探测精度优异的、利用压阻效应来探测物理量的物理量传感器。为此，本发明的物理量传感器(1)利用压阻效应来探测物理量，所述物理量传感器(1)的特征在于，具有：第1导电型的阱层(4)，其形成在第1绝缘层(10)上；多个第2导电型的压阻层(2)，其形成在第1导电型的阱层(4)的表面侧；和第2导电型的分离层(5)，其在多个第2导电型的压阻层第1绝缘层(10)的表面。(2)之间，从第1导电型的阱层(4)的表面贯通至

公开(公告)号：CN105277596A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510308769.4

申请日：2015-06-08

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸 ,  柳修二 ,  遁所淳 ,  大川尚信

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/223

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够构成为小型并且对于气体的湿度变化的响应特性良好的湿度检测装置。为此，在第1对置部件(2)与第2对置部件(3)的间隙搭载了湿度检测部(5)。在第1对置部件(2)与第2对置部件(3)的间隙(4)设置了金属接合体(15)和虚拟接合体(16)，两个对置部件通过金属接合体(15)和虚拟接合体(16)来进行固定。在两个对置部件的间隙(4)中仅存在金属接合体(15)和虚拟接合体(16)，所以要测定的气体容易转移到湿度检测部(5)，在湿度变化时检测响应性良好。

公开(公告)号：CN102792168A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180013009.0

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 宫武亨 ,  小林俊宏 ,  宇都宜隆 ,  矢泽久幸 ,  高桥亨

IPC: G01P15/08 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00 ,  G01P15/125 ,  H01L23/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: H01L23/10 ,  B81C1/00269 ,  B81C2203/0118 ,  B81C2203/019 ,  B81C2203/035 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种MEMS传感器，特别是能够提高密封接合部的Al-Ge共晶接合界面处的接合强度以及密封气密性。所述MEMS传感器构成为具有：第一基材；第二基材；密封接合部，该密封接合部位于所述第一基材与所述第二基材之间，通过使形成在所述第一基材侧的第一连接金属层和形成在所述第二基材侧的第二连接金属层共晶接合而成，所述密封接合部(50)从所述第一基材侧至所述第二基材侧依次层叠有Ti层(52)、Ta层(53)、由Al或Al合金形成的所述第一连接金属层(54)、以及由Ge形成的所述第二连接金属层(55)。

公开(公告)号：CN102770770A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201180011060.8

申请日：2011-02-24

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 大川尚信 ,  矢泽久幸 ,  宫武亨 ,  高桥亨 ,  宇都宜隆 ,  菊入胜也 ,  小林俊宏

IPC: G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/0235

Abstract: 本发明的目的尤其在于提供能够提高重物部相对于对置部的耐碰撞性及防粘性的物理量传感器。该物理量传感器具备弹簧部(21)、与所述弹簧部(21)连结且被支承成沿高度方向可变位的重物部(20)、与所述重物部在高度方向上对置的对置部(22)，在所述对置部(22)与所述重物部(20)之间配置高度不同的多个突起部(23、24)，所述多个突起部(23、24)使得在所述重物部(20)朝向高度方向变位时，所述重物部(20)与所述对置部(21)之间能够阶段性地抵接，并且所述重物部与所述对置部之间还能够阶段性地分离。

公开(公告)号：CN1256718C

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：CN200410045258.X

申请日：2004-06-04

Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社

Inventor： 矢泽久幸

IPC: G11B5/31

CPC classification number: G11B5/33 ,  Y10T29/49032 ,  Y10T29/4906 ,  Y10T29/49064 ,  Y10T29/49146 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49162

Abstract: 一种薄膜结构体及其制造方法，该薄膜结构体，在上层部(86)，侧边缘部(86a)比基底部(81)的侧边缘部(81b)向外侧伸出而形成延出部(86b)，线圈绝缘层(绝缘层)(57)也存在延出部(86b)的下方。由于在突起部(87)的延出部(86b)的下方也存在线圈绝缘层(绝缘层)(57)，所以突起部(87)的周围的机械强度提高。从而，在保护层(绝缘层)(61)不易生成裂纹，而提高导通连接结构的耐蚀性。因此，这种薄膜结构体，机械强度高，并能够用于导通连接。