具有多级隔膜泵的嗅探泄漏探测器

    公开(公告)号:CN105556272B

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201480048598.X

    申请日:2014-09-02

    IPC分类号: G01M3/20

    摘要: 一种嗅探泄漏探测器包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;以及包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:所述嗅探泄漏探测器还包括有包含至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。

    一种改进的压力传感器结构

    公开(公告)号:CN105283745A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201480031498.6

    申请日:2014-06-04

    发明人: 海基·库斯玛

    IPC分类号: G01L19/06 B81B3/00

    摘要: 一种微机电压力传感器结构,包括平面基座、侧壁、和隔膜板。侧壁层围绕地从平面基座延伸到侧壁层的上表面。平面基座、侧壁以及隔膜板彼此附接,以在基准压力下形成密封的闭合间隙,并且侧壁的内表面的上边缘形成隔膜的外围。隔膜板包括一个或更多个平面材料层,平面材料层的第一平面材料层跨隔膜的外围。侧壁的上表面包括至少一个不被第一平面材料层覆盖的隔离区域。

    相对压力测量变送器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1768256A

    公开(公告)日:2006-05-03

    申请号:CN200480008921.7

    申请日:2004-04-06

    IPC分类号: G01L19/06

    摘要: 提供了一种相对压力测量变送器,其抵抗潮气入侵。变送器包括:外壳(7)、安排在外壳(7)中的插入物(17)、外壳(7)和插入物(17)之间存在的间隙(23)、相对压力传感器(5)以及连接至相对压力传感器(5)的参考压力提供线路(29),该线路引入插入物(17),通入插入物(17)的外壁(31)并且具有经由插入物(17)中的开口与间隙(23)相连的内腔;其中外壳(7)具有贯穿孔(43),间隙(23)经由它与相对压力测量变送器的环境相通。

    防潮功能良好的压力仪表

    公开(公告)号:CN106353026A

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:CN201610665077.X

    申请日:2016-08-12

    发明人: 丁立新 曹庆伟

    IPC分类号: G01L9/00 G01L19/06 G01L19/14

    摘要: 本发明提供一种防潮功能良好的压力仪表,包括用于测量压力大小的液位变送器,液位变送器的外侧安装有干燥箱,干燥箱内设有用于冷冻水蒸气的多根冷冻管,冷冻管内装有冷冻剂,冷冻管与液位变送器之间设有隔板,隔板与干燥箱为可拆卸连接,干燥箱的顶部和底部扣合有盖板,干燥箱的侧面设有压力探测孔,远离压力探测孔的干燥箱的侧面上开设有安装孔,安装孔内设置有连接线;连接线一端与液位变送器相连,另一端连接有用于显示测量结果的显示器。本发明的有益效果是:该设计使液位变送器周围的水分子被迅速凝结冷冻,从而达到局部干燥的测量环境,有效避免出现因液位变送器严重受潮而发生锈蚀的情况,提高了液位变送器的使用寿命,降低了使用成本。

    具有多级隔膜泵的嗅探泄漏探测器

    公开(公告)号:CN105556272A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201480048598.X

    申请日:2014-09-02

    IPC分类号: G01M3/20

    摘要: 一种嗅探泄漏探测器包括:用于分析氢气或氦气的质谱仪(12);与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14),所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接;以及包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头;其特征在于:所述嗅探泄漏探测器还包括有包含至少三级的真空泵(28),其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接,其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36),其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接,且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接,以获得不同的气流。

    半导体压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN102706490B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201110415191.4

    申请日:2011-12-13

    发明人: 八幡直树

    IPC分类号: G01L1/22

    摘要: 一种半导体压力传感器及其制造方法,该半导体压力传感器容易安装且能够准确地测定压力。其特征在于,压力导入口(11)及大气导入口12被配置在壳体(10)的同一表面一侧,压力导入口(11)与壳体(10)内连通,并且传感器芯片(20)在壳体(10)内避开与压力导入口(11)相对的位置而配置。另外,该壳体(10)由环氧树脂形成,具有向该壳体(10)内导入被测定对象的外部流体的压力导入口(11)、导入大气的大气导入口(12)、测定流体对大气压的压力的传感器芯片(20)。