公开(公告)号：CN107110727B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201580054213.5

申请日：2015-10-06

Applicant: 日立金属株式会社

Inventor： 铃木健悟 ,  梅山贵博 ,  坂口勇夫

IPC: G01L9/04 ,  G01L13/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01L19/02 ,  A61B5/0008 ,  A61B5/021 ,  A61B5/03 ,  A61B2562/0247 ,  A61B2562/12 ,  G01L1/205 ,  G01L1/22 ,  G01L1/2231 ,  G01L9/0055 ,  G01L9/04 ,  G01L9/125 ,  G01L13/02 ,  G01L13/025 ,  G01L19/04 ,  G01L27/007

Abstract: 即使在膜片采用了不锈钢的情况下，膜片和应变传感器也不会彼此剥离，不易受到使用环境温度的影响，并且，压力传感器的灵敏度不仅仅由构成膜片的材料的力学特性支配，能够提高构成压力传感器的部件的设计自由度。为解决上述技术问题，本发明的压力传感器的特征在于，包括：因流体的压力而变形的膜片；覆盖该膜片的整面的弹性体，该弹性体的一侧与所述膜片接合；和应变传感器，该应变传感器接合设置在该弹性体的另一侧的远离与所述膜片的中心对应的位置的端部侧，将与所述膜片的变形连动的所述弹性体的变形作为应变检测，所述弹性体由具有与形成所述应变传感器的材料的线膨胀系数相近的线膨胀系数的材料构成。

公开(公告)号：CN104662400B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201380050348.5

申请日：2013-09-26

Applicant: 萨甘安全防护公司

Inventor： J-C·利欧 ,  G·里赫

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L19/04

CPC classification number: G01L9/0052 ,  G01L9/0019 ,  G01L9/006 ,  G01L13/025 ,  G01L19/04

Abstract: 一种由半导体材料制成的压力传感器，所述传感器包括盒子(1)，所述盒子在二次真空下限定外壳(2)；至少一个谐振器(3)，所述谐振器被接纳在所述外壳中且通过柔性横梁(4)从至少一个可弹性变形的膜片(3)悬挂，所述膜片封闭还含有用于激励所述谐振器以便将所述谐振器设定成振动的装置(7、12)和用于检测所述谐振器的振动频率的检测器装置的所述外壳。所述检测器装置包括至少一个第一悬挂压阻式应变计(9)，所述应变计使一个端部固定到所述横梁中的一者且使一个端部固定到所述膜片。所述谐振器和所述第一应变计经布置以形成种类和浓度基本上相同的掺杂区域。

公开(公告)号：CN108303209A

公开(公告)日：2018-07-20

申请号：CN201810026621.5

申请日：2018-01-11

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： J.D.佩奇 ,  I.本特利 ,  J.库克 ,  T.埃克哈德特

IPC: G01L19/00

CPC classification number: G01L19/147 ,  F16J15/022 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0038 ,  G01L19/143 ,  G01L19/144 ,  G01L19/00

Abstract: 本发明涉及用于压力传感器的O形环内密封件。更具体地，本发明的实施例涉及用于感测压力和保护传感器组件内的传感器的系统和方法。传感器组件可包括：具有至少一个压力输入端口的传感器；构造成封装所述传感器的第一壳体；构造成附接至所述第一壳体以封装所述传感器的第二壳体；定位于所述第一壳体和所述传感器之间的第一O形环；定位于所述第二壳体和所述传感器之间的第二O形环；和构造成接收来自所述传感器的所探测压力信息的印刷线路板。

公开(公告)号：CN107664554A

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：CN201710590095.0

申请日：2017-07-19

Applicant: 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司

Inventor： 蒂莫·科博 ,  本杰明·莱姆克 ,  拉斐尔·泰伊朋 ,  本雅明·马克

IPC: G01L19/04 ,  G01L13/00

CPC classification number: G01L19/04 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0095 ,  G01L13/025 ,  G01L13/06 ,  G01L19/0007 ,  G01L19/0618 ,  G01L19/0681 ,  G01L13/00

Abstract: 本发明涉及一种用于提供压力测量信号的压差传感器，包括：压差测量单元，该压差测量单元可被供应有第一压力和第二压力并且输出压力测量信号；第一和第二陶瓷加强元件，每个陶瓷加强元件与压差测量单元接合并且具有导管，第一或第二压力经由导管可供应至压差测量单元；平台，该平台具有第一和第二压力输入开口，每个压力输入开口从平台的第一表面延伸到第二表面，其中压力输入开口在第一表面上被密封，每个压力输入开口都具有其自身的隔离隔膜；第一和第二压力管，该第一和第二压力管布置在加强元件与平台之间，并且其中第一压力管和第二压力管中的每一个在平台与相应的压力管的第一或第二连接区域之间的区域中具有至少一个弯曲部。

公开(公告)号：CN103308239B

公开(公告)日：2017-09-15

申请号：CN201310070529.6

申请日：2013-03-06

Applicant: ams国际有限公司

Inventor： 威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林 ,  马丁·古森思 ,  约瑟夫·托马斯·马丁内斯·范贝克 ,  皮特·杰勒德·斯蒂内肯 ,  奥拉夫·温尼克

IPC: G01L9/00

CPC classification number: G01L9/12 ,  G01L1/14 ,  G01L1/142 ,  G01L7/08 ,  G01L7/088 ,  G01L9/0041 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/0072 ,  G01L9/0073 ,  G01L9/125 ,  G01L13/025 ,  G01L13/026 ,  G01L15/00 ,  G01L21/12 ,  G01L21/22 ,  G01L27/00 ,  G01L27/005 ,  Y10T29/49117

Abstract: 压力传感器通过利用电容式读出方法测量MEMS薄膜的挠曲来测量压力。存在两种方式实施本发明。一种方式涉及集成皮拉尼传感器的使用，另一种方式涉及集成谐振器的使用，所述谐振器用作参考压力传感器，用于测量内部腔体压力。

公开(公告)号：CN106840293A

公开(公告)日：2017-06-13

申请号：CN201710168783.8

申请日：2017-03-21

Applicant: 江苏华尔威科技集团有限公司

Inventor： 陈雪中 ,  程来杰 ,  陈光远

IPC: G01F1/88 ,  G01F1/48 ,  G01N9/26 ,  G01L13/02 ,  G01K13/02

CPC classification number: G01F1/88 ,  G01F1/48 ,  G01K13/02 ,  G01K2013/026 ,  G01L13/025 ,  G01N9/26

Abstract: 本发明公开一种多参数质量流量计，包括主测量管，密度测量管与主测量管相连通连接，密度测量管的下端与主测量管的水平管相连接处连接设置有密度节流件；密度测量管侧面连接有密度上取压连接件和密度下取压连接件；密度上取压连接件和密度下取压连接件均通过密度毛细管与密度变送器相连接；主测量管右侧的上部连接设置有流量节流件，主测量管的侧面上连接设置有流量取压连接件，流量取压连接件在流量节流件的两侧通过流量毛细管与流量变送器相连接；主测量管右侧的上部安装设置有压力变送器，密度测量管上连接设置有温度元件底座，温度元件底座上安装设置有温度元件；其能保持很高测量精度，实现稳定测量，功能多样，成本较低。

公开(公告)号：CN106441698A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201611050075.6

申请日：2016-11-24

Applicant: 中国石油大学(北京) ,  北京石大融智科技有限公司

Inventor： 岳湘安 ,  安维青 ,  田文浩 ,  方伟 ,  冯雪钢 ,  方欣 ,  邹积瑞

IPC: G01L13/06

CPC classification number: G01L27/005 ,  G01L13/025 ,  G01L13/06 ,  G01L19/0023 ,  G01L23/10 ,  G01R27/22

Abstract: 本发明公开了一种高压非稳定微压差计及其使用和校核方法，该高压非稳定微压差计包括：一组竖直且连通的测压管，通过信号线与电阻仪连接；电阻仪与数据采集处理控制系统连接；测压管内充满低电导率缓冲液和高电导率测压液；电阻仪用于测量测压管内电阻；数据采集处理控制系统用于将电阻仪测得的电阻转换为压差。本发明的高压非稳定微压差计，可以承受很高的环境压力，达到微压差的测量精度要求；可以实现高压条件下非稳定微压差的实时监测，并且可实时记录实验过程中的压差微小波动。

公开(公告)号：CN106104244A

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201580012617.8

申请日：2015-03-04

Applicant: 阿自倍尔株式会社

Inventor： 濑户祐希

IPC: G01L19/06 ,  G01L13/02

CPC classification number: G01L19/0627 ,  G01L9/0051 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618

Abstract: 本发明的压力传感器芯片中，在阻挡构件（11‑2）的内部的与传感器隔膜（11‑1）的受压面平行的面（PL）的一部分，设置与导压孔（11‑2b）的周部连通的非接合区域（SA），以及与非接合区域（SA）连续的环状的槽（11‑2d）。该环状的槽（11‑2d）的、向夹着包含阻挡构件（11‑2d）的非接合区域（SA）的平面而与传感器隔膜（11‑1）相反的一侧挖入的第1槽（11‑2d1）的剖面形状包含半圆以上的圆弧，向另一侧挖入的第2槽（11‑2d2）的剖面形状包含半圆以下的圆弧。使第2槽（11‑2d2）相对于第1槽（11‑2d1）向导压孔（11‑2b）侧错开。使槽（11‑2d1）与槽（11‑2d1）相互对置的圆弧的端部错开。由此，能够防止向隔膜边缘的应力集中，确保所期待的耐压。

公开(公告)号：CN105953970A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201610389525.8

申请日：2012-09-05

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： I.本特利 ,  L.F.里克斯

IPC: G01L9/06 ,  G01L15/00

CPC classification number: G01L13/025 ,  G01L9/0054 ,  G01L15/00 ,  G01L19/148 ,  G01L9/06

Abstract: 本公开涉及包括多个传感器元件的传感器。在一些情况下，多个传感器元件可被安装在单个基板上并且均可被配置为感测具有不同分辨率、灵敏度、和/或范围的单个参数，和/或多个参数。在一个例子中，多个压力感测管芯可被安装在单个封装中，且根据期望，均可被配置为压力差传感器、绝对压力传感器、和/或表压传感器。

公开(公告)号：CN102840871B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201210212500.2

申请日：2012-06-21

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 藤原秀树 ,  大岛明浩 ,  森川智隆

IPC: G01D3/032 ,  G01D11/00

CPC classification number: G01L13/025 ,  G01L9/0008 ,  G01L9/0016 ,  G01L9/0048 ,  G01L13/00 ,  G01L19/0627 ,  G01L19/0645 ,  G01L19/142 ,  G01L19/147 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明提供一种传感器单元，其具有：陶瓷部件，该陶瓷部件具有第1面以及第2面，它们具有规定厚度而相对；传感器部，其安装在前述第1面侧；多个金属销，它们固定在前述第2面侧；多个内部配线，其贯穿前述陶瓷部件，将前述传感器部和前述金属销连接；以及金属部件，其形成在前述第2面侧的周端部，通过焊接与框体接合。