薄膜传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105393099B

    公开(公告)日:2018-06-19

    申请号:CN201480032502.0

    申请日:2014-05-08

    IPC分类号: G01L9/00 G01L9/04

    CPC分类号: G01L9/0055 G01L9/04

    摘要: 披露了一种传感器(1),该传感器包括一个膜、被安排在该膜上的一个隔离层(3)、包括沉积在该隔离层(3)上的如一个惠斯通电桥形式的一个薄膜电路(4)的测量电子器件以及被安排成向该薄膜电路(4)供应一个准直流电压的一个电源(14)。由于该薄膜电路(4),制造该传感器(1)是成本有效的并且可避免腐蚀影响,由于该准直流电压被供应到该薄膜电路(4),而不必将一个涂层或钝化层应用到该薄膜电路(4)上。

    感测流体介质压力的压力传感器和其制造方法

    公开(公告)号:CN107870054A

    公开(公告)日:2018-04-03

    申请号:CN201710859906.2

    申请日:2017-09-21

    发明人: D·埃特

    IPC分类号: G01L7/08 G01L19/00

    摘要: 本发明涉及一种用于感测测量室中的流体介质的压力的压力传感器(10)和一种用于制造该压力传感器的方法。所述压力传感器包括压力接头(12)和用于感测流体介质的压力的传感器元件(24),借助于压力接头能够将压力传感器(10)安装在测量室上或安装在该测量室中。在压力接头(12)中构造有输入通道(18)。传感器元件(24)布置在衬底(20)上。输入通道(18)由衬底(20)来封闭并且构造用于将流体介质输入至传感器元件(24)。压力接头(12)和衬底(20)一件式地构造,并且传感器元件(24)被印刷到衬底(20)上。

    力检测装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107532952A

    公开(公告)日:2018-01-02

    申请号:CN201680022701.2

    申请日:2016-04-08

    IPC分类号: G01L1/18 G01L9/04 H01L29/84

    CPC分类号: G01L1/18 G01L9/04 H01L29/84

    摘要: 力检测装置具备:基板(2),设有电源布线(26)、基准布线(22)、第1输出布线(24)、第2输出布线(28)、沿第1方向延伸的第1~第4台面型测量仪(12、14、16、18);以及力传递块(4),接合于上述基板。上述第1与上述第2台面型测量仪的组、以及上述第3与上述第4台面型测量仪的组以并联的方式连接于上述电源布线与上述基准布线之间。在上述第1与上述第2台面型测量仪之间连接有上述第1输出布线。在上述第3与上述第4台面型测量仪之间连接有上述第2输出布线。上述力传递块接触上述第1以及上述第4台面型测量仪的第1组的接触面积,与上述力传递块接触上述第2以及上述第3台面型测量仪的第2组的接触面积不同。

    一种MEMS压力计芯片及其制造工艺

    公开(公告)号:CN105241600B

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201510506032.3

    申请日:2015-08-17

    发明人: 周显良 王文

    IPC分类号: G01L9/04

    摘要: 本发明涉及传感器领域,特别涉及一种MEMS压力计芯片以及其制造方法。一种压力计,包括腔体、以及设置在所述腔体内的MEMS压力计芯片;压力计芯片,包括相互连接的衬底、器件部以及盖板,所述衬底与所述器件部之间以及器件部与盖板之间形成有氧化硅层;衬底以及盖板上分别形成有凹陷部,衬底凹陷部与盖板凹陷部形成一空腔,所述器件部位于所述空腔内;所述器件部包括桥接部以及压阻测量元件,所述压阻测量元件设置在桥接部上。本压力计芯片受温度影响较小,可以在高温的环境中使用,而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。

    一种能够屏蔽电磁干扰的压力变送器装置

    公开(公告)号:CN107340094A

    公开(公告)日:2017-11-10

    申请号:CN201710540021.6

    申请日:2017-07-05

    IPC分类号: G01L9/04 G01L9/00 G01L19/06

    摘要: 本发明公开了一种能够屏蔽电磁干扰的压力变送器装置,所述装置包括:压力变送器、第一固定半环、第二固定半环、限位钢板、连接钢杆、第一锁扣、第二锁扣;第一固定半环和第二固定半环套设固定在压力变送器检测的管道外表面,压力变送器的测量导管内安装有过滤网,连接钢杆一端与第一固定半环固定连接,连接钢杆另一端与限位钢板固定连接,压力变送器安装在检测的管道上,限位钢板位于压力变送器正上方,且限位钢板距离压力变送器顶部的距离小于压力变送器插入安装螺孔的长度,通过过滤网防止渣滓进入测试导管,进而防止测试导管内形成沉积,保障测量准确性,并且具有防盗功能的技术效果。

    一种双空腔压力计芯片及其制造工艺

    公开(公告)号:CN106124117A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610412814.5

    申请日:2016-06-14

    IPC分类号: G01L9/06 B81B7/00 B81C3/00

    摘要: 本发明涉及传感器领域,特别涉及一种双空腔压力计芯片以及其制造方法。一种压力计,包括腔体、以及设置在所述腔体内的压力计芯片;所述压力计芯片在所述腔体内受被检测的外界压力均匀压缩并且能够自由的产生形变。所述压力计芯片基本由单晶硅制成,包括相互连接的盖板、基板及底板;所述盖板上形成有凹陷部,并与所述基板形成一个密封的上空腔,所述基板与所述盖板之间形成有氧化硅层;所述基板包括压阻测量元件,所述压阻测量元件位于所述上空腔之内;所述底板上形成有凹陷部,并与所述基板形成一个密封的下空腔。本压力计芯片适合测量超高压力,受温度影响较小,可以在高温的环境中使用,而且具有检测精度高、可靠性高、制造成本低等特点。

    一种人造侧线阵列式压力梯度传感器

    公开(公告)号:CN106017777A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610488205.8

    申请日:2016-06-28

    IPC分类号: G01L9/04 G01L19/00 G01L19/14

    摘要: 本发明新型提供了一种人造侧线阵列式压力梯度传感器,属于水下传感器技术领域,包括封装箱、安装室和传感器,还包括通水孔、纤毛、应变片、外壳、固定座和导线,所述的传感器由纤毛和固定座构成,纤毛内设有应变片,应变片上设有导线连接控制器,固定座通过螺栓固定在壳体的内部。本发明新型的有益效果为:结构简单,布置合理,利用特殊结构的封装箱代替鱼类的侧线管,可以起到滤波保护的左右,能够准确的测量出水流在某个方向上的大小,通过阵列式分布,可以起到对流场环境中压力梯度变化的测量。

    一种水下推进器用测力平台

    公开(公告)号:CN105758580A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610231147.0

    申请日:2016-04-14

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: G01L9/04 G01L9/08

    CPC分类号: G01L9/04 G01L9/08

    摘要: 本发明属于检测装备设计领域,具体涉及一种水下推进器用测力平台。包括测力装置、电池组、传动杆、工作台、水槽、控制模块、连接座、水下推进器和连接轴,测力装置包括基座、垫块、压力传感器、上层滑块、上层导轨、下层滑块、下层导轨、上层导轨基座和测力杆;其特征是还包括舵机、舵机座、舵机法兰、中间法兰和轴端法兰,压力传感器为四个。工作时,对压力传感器进行零位调整,调整舵机转动角度,通过控制模块实时测量水下推进器的水动力参数。本发明能够对真实工作状态下水流方向发生变化时水下推进器的水动力参数进行测量,测力平台结构简单,操作方便,适用于水下推进器力学性能的测量,测量成本低。

    一种耐腐蚀型全金属压力变送器

    公开(公告)号:CN105698983A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201610117435.3

    申请日:2016-03-02

    发明人: 陈怡因

    IPC分类号: G01L1/22 G01L9/04 G01L19/14

    摘要: 本发明提供一种耐腐蚀型全金属压力变送器,包括壳体、探头和电缆接头,所述电缆接头从所述壳体的上部装入,所述电缆接头通过螺母与所述壳体的内壁固定锁紧,所述探头与所述壳体连接,所述塑胶件设置在所述壳体内,所述壳体内设有控制压力变送器工作的电路结构,所述探头的端部中心位置设有内螺纹盲孔一,所述内螺纹盲孔一上装有压圈,所述盲孔的底部设有台阶,所述台阶中心向下设有内螺纹盲孔二,所述内螺纹盲孔二上设有阻尼螺丝。采用透气孔及阻尼螺丝结构,可以在瞬间压力偏大时,及时卸压,提高产品的可靠性;同时,该耐腐蚀型全金属温度传感器还配合有输入键盘,可以根据现场的需要任意设置不同的报警点和输出的延时时间。