-
公开(公告)号：CN112334745A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980040889.7
申请日：2019-06-13
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L3/10
摘要： 本发明的扭矩传感器具备：外筒部(1)；凸缘(2)，其连结于外筒部的一端；凸缘(3)，其连结于外筒部的另一端；内筒部(4)，其与外筒部位于同一轴心上；传感器元件(5)，其设置在内筒部的外周面，具有向轴心方向倾斜的电阻计；扭矩传递部(6)，其为薄板构件，其一端连结于凸缘(2)的内周面，另一端连结于内筒部的一端侧的外周面；以及扭矩传递部(7)，其为薄板构件，其一端连结于凸缘(3)的内周面，另一端连结于内筒部的另一端侧的外周面，扭矩传递部(6)及扭矩传递部(7)中的至少一方在相对于轴心的径向中的除传感器元件(5)所处的方向之外的方向上存在空间，而且在该空间所存在的径向位置的至少一部分具有突出部。
-
公开(公告)号：CN108463704B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201680078792.1
申请日：2016-12-16
申请人： 阿自倍尔株式会社
摘要： 本发明所涉及的压力传感器(100)的特征在于，具有：隔膜(3)；形成有构成应变计的多个电阻(R1～R4)的、俯视时正方形的半导体芯片(1)；在一端与隔膜的第2主面(3B)的区域接合，该区域是指当对隔膜的第1主面(1A)施加压力时发生变形的区域，在另一端分别与半导体芯片的四角连接，并垂直设置于第2主面的四个第1结构体(2a～2d)；以及在一端在俯视时与第2主面中的隔膜的中心(30)接合，在另一端在俯视时与半导体芯片的中心(10)接合，并且垂直设置于第2主面的第2结构体(2e)。
-
公开(公告)号：CN107588882B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201710548035.2
申请日：2017-07-06
申请人： 阿自倍尔株式会社
摘要： 本发明的压力传感器抑制通过夹具来连接管道与压力传感器时的传感器输出的零点的漂移量的偏差。本发明的压力传感器(100)在俯视时在通过膜片(3)的中心(30)而正交的2条直线(21、22)上分别配置半导体芯片(1a、1b)，且在支承半导体芯片(1a)的2个支承构件(2a)和支承构件(2b)之间的区域形成电阻(R1、R2)，在支承半导体芯片(1b)的2个支承构件(2c)和支承构件(2d)之间的区域形成电阻(R3、R4)。
-
公开(公告)号：CN108474704A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680076345.2
申请日：2016-12-15
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L9/00
摘要： 本发明所涉及的压力传感器的特征在于，其具有：隔膜(3)，其具有第1主表面(3A)和其相反侧的第2主表面(3B)；以及至少三个支承构件(2a、2b、2c)，它们垂设在第2主表面而支承半导体芯片，由绝缘材料构成，且一端固定在第2主表面，另一端固定在半导体芯片(1)上，支承构件中的一个支承构件(2a)在俯视下设置在隔膜的中心(30)，其它至少2个支承构件(2b、2c)分别设置在当比第2主表面上施加的压力更大的压力施加到第1主表面上时隔膜发生变形的区域内的、俯视下相对于隔膜的中心呈点对称的位置。
-
公开(公告)号：CN118730373A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410201432.2
申请日：2024-02-23
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L9/00
摘要： [课题]抑制为了防止因过大压力而导致的隔膜破损而将隔膜按压在限制隔膜的位移的保护机构上时的传感器输出的变化。[解决方法]该压力传感器具备膜片(101)、应变测量部(102)、保护机构(103)，在比应变测量部(102)的形成部位靠内侧的区域的应变测量部(102)附近的保护机构(103)的与膜片(101)相对的面上，设置有槽(104)。保护机构(103)上形成的多个凸部(105)，形成在槽(104)的内侧区域的保护机构103的与膜片101相对的面上。
-
公开(公告)号：CN113280970B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202110189900.5
申请日：2021-02-18
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L9/00
摘要： 本发明提供一种压力传感器，其具有高耐压性能，并且通过抑制相对于压力的滞后而使测定误差小，进而灵敏度高、生产率也优异。该压力传感器(1A)具备：隔膜部(10A)，其具有承受被测定流体的压力的第1主面(第3下表面(13b)以及位于该第1主面的相反侧的第2主面(第1上表面(11a)；壳体(20)；以及传感部(30)，其将所述隔膜的变形作为电信号输出，所述隔膜部的至少一部分由通过层叠多个薄板构件(11A、12A、13A)而形成的多层结构构成，这些多个薄板构件以如下方式构成：在所述被测定流体的压力被施加于所述第1主面的受压状态下，至少一部分相互压接且各自独立地变形。
-
公开(公告)号：CN108431570A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201680076144.2
申请日：2016-12-02
申请人： 阿自倍尔株式会社
摘要： 本发明涉及压力传感器，传感器芯片(24)以第1保持构件(24－2)的下表面(24a)为接合面而接合至基座主体(21－1)的内壁面(20a)，使受压隔膜(22)与传感器芯片(24)的接合面(24a)之间的密封室(23)(受压室(23－1)+导压路径(23－2))和第1保持构件(24－2)的导压孔(24－2b)连通。在该状态下，以贯穿基座主体(21－1)的导压路径(23－2)的方式，将不锈钢制的细管(超小径管道)(31)插入固定到第1保持构件(24－2)的导压孔(24－2b)。由此，将被测定流体的压力(P1)引导向传感器隔膜(24－1)的一面(24－1a)的导压路径的受压面积变小，朝向将传感器芯片(24)与基座主体(21－1)的接合剥离的方向的力得以抑制，能够使用软粘接剂。
-
公开(公告)号：CN103728086B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201310479851.4
申请日：2013-10-14
申请人： 阿自倍尔株式会社
CPC分类号： G01L9/0042 , G01L13/026
摘要： 本发明的压力传感器芯片降低因隔膜的约束而产生的应力，确保所期待的耐压。接合于传感器隔膜（11-1）的一个面（11-1A）的保持构件（第一保持构件）（11-6）的周边部（11-6c）的内缘（L1），相比于接合于传感器隔膜的另一个面（11-1B）的挡块构件（第二保持构件）（11-3）的周边部（11-3c）的内缘（L2）位于外侧。将测量压力（Pa）设为高压侧的测量压力，将测量压力（Pb）设为低压侧的测量压力的情况下，高压侧的测量压力（Pa）施加在传感器隔膜的一个面（11-1A）上时，在保持构件（11-6）的周边部（11-6c）的内缘（L1）（隔膜支点）和挡块构件（11-3）的周边部（11-3c）的内缘（L2）（压力外加侧支点）间不会产生由约束而引起的过度拉伸应力就可以弯曲，可降低此部分产生的应力。
-
公开(公告)号：CN103837287A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201310585521.3
申请日：2013-11-19
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L9/04
CPC分类号： G01L13/025 , G01L13/026
摘要： 提供一种压力传感器芯片，减少因传感器隔膜的限制产生的应力，并防止向隔膜边缘的应力集中，确保期待的耐压。在挡块构件（11-2）的周边部（11-2c）形成连接于其周边部（11-2c）的非接合区域（S1b）的、向挡块构件（11-2）的厚度方向突出延伸的环状的槽（11-2d），在挡块构件（11-3）的周边部（11-3c）形成连接于其周边部（11-3c）的非接合区域（S2b）的、向挡块构件（11-3）的厚度方向突出延伸的环状的槽（11-3d）。由此，应力就在环状的槽（11-2d）、（11-3d）的内部分散，防止了应力在隔膜边缘集中。
-
公开(公告)号：CN112313490B
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN201980040722.0
申请日：2019-06-13
申请人： 阿自倍尔株式会社
IPC分类号： G01L3/10
摘要： 本发明的扭矩传感器具备：外筒部(1)；凸缘(2)，其连结于外筒部的一端；凸缘(3)，其连结于外筒部(1)的另一端；内筒部(4)，其与外筒部(1)位于同一轴心上；传感器元件(5)，其设置在内筒部(4)的外周面，具有向轴心方向倾斜的电阻计；扭矩传递部(6)，其为薄板构件，其一端连结于凸缘(2)的内周面，另一端连结于内筒部(4)的一端侧的外周面；以及扭矩传递部(7)，其为薄板构件，其一端连结于凸缘(3)的内周面，另一端连结于内筒部(4)的另一端侧的外周面，扭矩传递部(6)及扭矩传递部(7)中的至少一方在相对于轴心的径向中的除传感器元件(5)所处的方向之外的方向上具有空间。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
29 条记录 (耗时 0.025 秒)
