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公开(公告)号：CN105556272A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480048598.X
申请日：2014-09-02
申请人： 英福康有限责任公司
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205 , F04D19/046 , G01L19/0654
摘要： 一种嗅探泄漏探测器包括：用于分析氢气或氦气的质谱仪(12)；与所述质谱仪(12)连接的涡轮分子泵(14)，所述涡轮分子泵(14)的出口(18)与预真空泵(20)连接；以及包括多个进气管线(38、40)并与所述涡轮分子泵(14)的入口(16)连接的嗅探探头；其特征在于：所述嗅探泄漏探测器还包括有包含至少三级的真空泵(28)，其入口级(22)设有所述预真空泵(20)并通过阻塞式节流阀(34)与所述涡轮分子泵(14)的所述出口(18)连接，其中在所述真空泵(28)的相邻的级(22、24、26)之间都设有中间入口(34、36)，其中每个中间入口(34、36)与所述嗅探探头的不同的进气管线连接，且所述进气管线(38、40)中作为吸气管线(38)的至少一个与所述涡轮分子泵(14)的所述入口(16)连接，以获得不同的气流。
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公开(公告)号：CN109312754B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201780035452.5
申请日：2017-06-13
申请人： 英福康有限责任公司
发明人： 维尔纳·格罗塞·布莱 , 托马斯·博姆 , 亚尔马尔·布鲁恩斯
摘要： 本发明涉及一种质谱检漏仪，包括：多级涡轮分子泵(12)，连接到所述涡轮分子泵(12)的吸入侧的质谱仪(17)，连接到所述涡轮分子泵(12)的压力侧的初级真空泵(18)，以及增压泵级(24)，其中，所述增压泵级(24)的吸入侧具有用于待测试对象的连接器(28)，所述增压泵级(24)的压力侧通过气体管线路径(22)连接到所述涡轮分子泵(12)的所述压力侧和所述初级真空泵(18)的吸入侧。其特征在于：所述涡轮分子泵(12)的泵级(30，32)和所述增压泵级设置在同一个轴上并具有共同的驱动器(34)；以及隔离件(36)中断在适于连接到所述测试对象的所述增压泵级的所述压力侧与连接到所述质谱仪(17)的所述涡轮分子泵(12)的泵级的吸入侧之间的气体传导路径。
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公开(公告)号：CN104040317B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201280056108.1
申请日：2012-10-25
申请人： 英福康有限责任公司
IPC分类号： G01M3/32
CPC分类号： G01M3/02 , G01M3/027 , G01M3/3218 , G01M3/3281
摘要： 本发明涉及一种对检测试样(12)进行泄漏检测的装置，具有用于放置检测试样(12)的可抽真空的测试室(14)。测试室设置有由柔性材料，特别是弹性材料制成的至少一个壁区。为了具有更精确的泄漏检测，对测试室内的总压强增加级数进行测定。
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公开(公告)号：CN109073495A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780021497.7
申请日：2017-03-28
申请人： 英福康有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种气体泄漏搜索装置，包括用于用测试气体喷射测试对象(20)的测试气体喷射装置(12)，用于抽空所述测试对象(20)的真空组件(30)，其中所述真空组件(30)具有真空泵(26)和在所述测试对象(20)下游的用于测量所述测试气体比例的气体检测器(28)，以及用于评估所述气体检测器(28)的测量信号的分析单元(32)。本发明的特征在于在喷射装置(12)和分析单元(32)之间建立数据通信连接(34)；喷射装置(12)设计用于检测喷射过程的至少一个时间点并将其传送到分析单元(32)，并且所述分析单元(32)被设计成在喷涂过程的传输时间点输出相应的测量的测试气体比例。
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公开(公告)号：CN108369151A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680064312.6
申请日：2016-11-10
申请人： 英福康有限责任公司
IPC分类号： G01M3/20
CPC分类号： G01M3/205
摘要： 一种用于测量质谱检漏仪的测试气体入口(18)处的压力的装置，其中，质谱仪(12)连接到高真空泵(14)的入口(22)，所述高真空泵(14)的出口(24)连接到预真空泵(16)的入口(26)，并且其中，所述预真空泵(16)的所述入口(26)连接到所述测试气体入口(18)，其特征在于：所述预真空泵(16)的所述入口(26)和所述高真空泵(14)的至少一个中间入口(34)通过包括流体节流器(42)的连接管线(38)相互连接。
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公开(公告)号：CN104040317A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280056108.1
申请日：2012-10-25
申请人： 英福康有限责任公司
IPC分类号： G01M3/32
CPC分类号： G01M3/02 , G01M3/027 , G01M3/3218 , G01M3/3281
摘要： 本发明涉及一种对检测试样12进行泄漏检测的装置，具有用于放置检测试样12的可抽真空的测试室14。测试室设置有由柔性材料，特别是弹性材料制成的至少一个壁区。为了具有更精确的泄漏检测，对测试室内的总压强增加级数进行测定。
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公开(公告)号：CN109073495B
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN201780021497.7
申请日：2017-03-28
申请人： 英福康有限责任公司
摘要： 本发明涉及一种气体泄漏搜索装置，包括用于用测试气体喷射测试对象(20)的测试气体喷射装置(12)，用于抽空所述测试对象(20)的真空组件(30)，其中所述真空组件(30)具有真空泵(26)和在所述测试对象(20)下游的用于测量所述测试气体比例的气体检测器(28)，以及用于评估所述气体检测器(28)的测量信号的分析单元(32)。本发明的特征在于在喷射装置(12)和分析单元(32)之间建立数据通信连接(34)；喷射装置(12)设计用于检测喷射过程的至少一个时间点并将其传送到分析单元(32)，并且所述分析单元(32)被设计成在喷涂过程的传输时间点输出相应的测量的测试气体比例。
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公开(公告)号：CN108369151B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201680064312.6
申请日：2016-11-10
申请人： 英福康有限责任公司
IPC分类号： G01M3/20
摘要： 一种用于测量质谱检漏仪的测试气体入口(18)处的压力的装置，其中，质谱仪(12)连接到高真空泵(14)的入口(22)，所述高真空泵(14)的出口(24)连接到预真空泵(16)的入口(26)，并且其中，所述预真空泵(16)的所述入口(26)连接到所述测试气体入口(18)，其特征在于：所述预真空泵(16)的所述入口(26)和所述高真空泵(14)的至少一个中间入口(34)通过包括流体节流器(42)的连接管线(38)相互连接。
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公开(公告)号：CN105659062B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201480051739.3
申请日：2014-09-15
申请人： 英福康有限责任公司
摘要： 本发明涉及用于使用泵系统抽空薄膜室(28)的装置(10)，其包括至少两个被设计用于交替地抽空所述薄膜室(28)的真空泵(20、22)。在所述装置中所述第一真空泵(20)的抽吸容量大于所述第二真空泵(22)的抽吸容量，并且用所述第一真空泵(20)可以获得的最终压力小于用所述第二真空泵(22)可以获得的最终压力。
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