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公开(公告)号：CN104713675A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201410560619.8
申请日：2014-10-21
Applicant: 大陆汽车系统公司
IPC: G01L9/06
CPC classification number: B81B7/008 , B81B2201/0264 , G01L9/0055 , G01L9/06 , G01L9/065 , G01L19/0084 , G01L19/142
Abstract: 一种具有两个或更多个压力范围的高精度压力传感器由多个微机电系统(MEMS)压力转换器形成，所述压力转换器安装在外壳内部且联接以感测加压流体。MEMS压力转换器的非线性输出由对应的多个处理器(优选DSP)线性化，每个处理器联接到对应的MEMS压力转换器并且从其接收MEMS压力转换器输出信号。每个处理器生成被施加压力输出信号，该信号表示施加到MEMS压力转换器的压力，其为来自MEMS压力转换器的输出信号的线性化和数字化版本。从多个处理器输出的数据在串行数据总线上串行地传输，其中每个处理器输出与不同压力范围有关的压力数据。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104977122B
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201510165736.9
申请日：2015-04-09
Applicant: 大陆汽车系统公司
CPC classification number: G01L19/0654 , B81B2201/0264 , B81C1/00793 , G01L9/0054
Abstract: 本发明提供一种压力传感器装置，其使用适当钝化材料/图案使得装置更结实并且抵抗热和潮湿环境。压力传感器装置使用覆盖玻璃区包括侧壁和结合界面的（多种）防潮钝化材料以避免玻璃和结合界面吸收潮气并与潮气起反应，因此在潮湿/热环境中暴露之后维持了装置输出的完整性。用于本文所描述的MEMS装置的这些钝化材料/图案可以适用于使用玻璃作为一类制造材料的任何基于MEMS的传感器和促动器。压力传感器装置可以是前侧绝对压力传感器、差压传感器或背侧绝对压力传感器。
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公开(公告)号：CN105910736B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201610093428.4
申请日：2016-02-19
Applicant: 大陆汽车系统公司
Abstract: 本发明涉及一种用于高玻璃强度和稳健包装的嵌入结构。传感器设备构造成保持高玻璃强度以避免在低爆破压力下的玻璃失效，其起因于位于作为用于构造传感器的材料中的一个的玻璃底座的临界高应力区域中的锯切缺陷。这通过在锯切槽区域的临界高应力区域中形成抛光的凹槽结构来实现。传感器设备还构造成通过在玻璃底座的安装表面上产生多个微柱来与芯片附接材料稳健的结合。
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公开(公告)号：CN104977122A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510165736.9
申请日：2015-04-09
Applicant: 大陆汽车系统公司
CPC classification number: G01L19/0654 , B81B2201/0264 , B81C1/00793 , G01L9/0054
Abstract: 本发明提供一种压力传感器装置，其使用适当钝化材料/图案使得装置更结实并且抵抗热和潮湿环境。压力传感器装置使用覆盖玻璃区包括侧壁和结合界面的（多种）防潮钝化材料以避免玻璃和结合界面吸收潮气并与潮气起反应，因此在潮湿/热环境中暴露之后维持了装置输出的完整性。用于本文所描述的MEMS装置的这些钝化材料/图案可以适用于使用玻璃作为一类制造材料的任何基于MEMS的传感器和促动器。压力传感器装置可以是前侧绝对压力传感器、差压传感器或背侧绝对压力传感器。
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公开(公告)号：CN104713675B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201410560619.8
申请日：2014-10-21
Applicant: 大陆汽车系统公司
IPC: G01L9/06
Abstract: 一种具有两个或更多个压力范围的高精度压力传感器由多个微机电系统(MEMS)压力转换器形成，所述压力转换器安装在外壳内部且联接以感测加压流体。MEMS压力转换器的非线性输出由对应的多个处理器(优选DSP)线性化，每个处理器联接到对应的MEMS压力转换器并且从其接收MEMS压力转换器输出信号。每个处理器生成被施加压力输出信号，该信号表示施加到MEMS压力转换器的压力，其为来自MEMS压力转换器的输出信号的线性化和数字化版本。从多个处理器输出的数据在串行数据总线上串行地传输，其中每个处理器输出与不同压力范围有关的压力数据。
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公开(公告)号：CN105910736A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201610093428.4
申请日：2016-02-19
Applicant: 大陆汽车系统公司
CPC classification number: B81C1/00888 , B81B7/0019 , B81B2201/0264 , B81C1/00182 , B81C2201/019 , B81C2203/031 , B81C2203/032 , G01L13/025 , G01L19/0654 , G01L1/18 , B81B7/0058 , B81C1/00325
Abstract: 本发明涉及一种用于高玻璃强度和稳健包装的嵌入结构。传感器设备构造成保持高玻璃强度以避免在低爆破压力下的玻璃失效，其起因于位于作为用于构造传感器的材料中的一个的玻璃底座的临界高应力区域中的锯切缺陷。这通过在锯切槽区域的临界高应力区域中形成抛光的凹槽结构来实现。传感器设备还构造成通过在玻璃底座的安装表面上产生多个微柱来与芯片附接材料稳健的结合。
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