-
公开(公告)号：CN110771036B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201880040579.0
申请日：2018-03-26
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 在本发明的谐振器中，改善DLD。具有：基部；以及3根以上的振动臂，具有第一电极以及第二电极、和压电膜，该压电膜设置于第一电极与第二电极之间，且具有与第一电极对置的上表面，并在电压施加于第一电极以及第二电极之间时以规定的振动模式振动，上述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向远离前端的方向延伸的开放端，3根以上的振动臂具有：2根第一臂，在3根以上的振动臂排列的方向上位于最外侧，且以同相位振动；以及1根以上的第二臂，夹在2根第一臂之间，第一臂与第二臂相比质量较大。
-
公开(公告)号：CN111095796B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN201880060663.9
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置。能够抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。该谐振子具有：振动部，具有振动臂和基部，该振动臂具备固定端和开放端并弯曲振动，该基部具有与振动臂的固定端连接的前端以及与该前端对置的后端的；保持部，被设置为包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有：上部电极以及下部电极；压电膜，被设置在上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极以及下部电极之间被施加电压时使振动臂弯曲振动；保护膜，由绝缘体构成，该保护膜隔着上部电极与压电膜的主面对置设置，并在振动臂的第一区域露出；导电膜，隔着保护膜与压电膜的主面对置设置，并在第二区域露出，该第二区域是振动臂中的与第一区域相邻的开放端附近的区域；以及导通电极，形成在保护膜上，并使导电膜与上部电极以及下部电极的任意一方电连接，在俯视压电膜的主面时，导通电极位于振动臂的第二区域内且比开放端更靠近第一区域的部分。
-
公开(公告)号：CN115428336A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202080099972.4
申请日：2020-11-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及谐振器以及谐振装置。本发明提供一种能够进一步改善DLD的谐振器以及谐振装置。谐振器(10)具备：振动部(110)，包括多个振动臂(121A～121D)和基部(130)，该多个振动臂(121A～121D)是分别具有固定端的三个以上的多个振动臂(121A～121D)，且至少两个以不同的相位进行面外弯曲，该基部(130)具有供多个振动臂(121A～121D)各自的固定端连接的前端部(131A)、和与前端部(131A)对置的后端部(131B)；保持部(140)，构成为保持振动部(110)；以及两个支承臂(151A、151B)，各自的一端与保持部(140)连接，两个支承臂(151A、151B)各自的另一端与基部(130)的后端部(131B)的一个部位连接。
-
公开(公告)号：CN109155615B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780028887.7
申请日：2017-03-16
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置，抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112740550A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980061641.9
申请日：2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 提供能够减少保持部的绝缘膜所带电的电荷给予谐振频率的影响的谐振装置。谐振装置(1)具备：谐振子(10)，包括振动部(120)和保持部(140)，上述保持部(140)配置于振动部(120)四周的至少局部且包括将振动部(120)保持为能够振动的保持体和形成在该保持体上的绝缘膜(235)；和下盖(20)，其包括形成振动部(120)的振动空间的至少局部的凹部(21)，绝缘膜235的内侧面相对于规定凹部(21)的侧壁(23)的内表面(23a)隔开第1距离D1配置。
-
公开(公告)号：CN112640302A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201980057531.5
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/253 , H01L41/29
Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。
-
公开(公告)号：CN112335178A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN201980041750.4
申请日：2019-07-30
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明提供一种能够抑制构成连接部的共晶合金的一部分金属沿着连接布线扩散的MEMS设备。谐振装置(1)具备：MEMS基板(50)，包含谐振器(10)、和与谐振器(10)电连接的连接布线(75)；以及连接部(70)，与连接布线(75)电连接，由第一金属层(71)和设置于MEMS基板(50)侧的第二金属层(72)的共晶合金构成，在俯视MEMS基板(50)的主面时，连接布线(75)的线宽(WL)比连接部的宽度(WC)小。
-
公开(公告)号：CN111095796A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880060663.9
申请日：2018-04-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置。能够抑制谐振子上的绝缘体层或者，绝缘体层上的导电层所带电的电荷给予谐振频率的影响，并且实现强度的提高。该谐振子具有：振动部，具有振动臂和基部，该振动臂具备固定端和开放端并弯曲振动，该基部具有与振动臂的固定端连接的前端以及与该前端对置的后端的；保持部，被设置为包围振动部的至少一部分；以及保持臂，将振动部和保持部连接，振动部具有：上部电极以及下部电极；压电膜，被设置在上部电极与下部电极之间，具有与上部电极对置的主面，在上部电极以及下部电极之间被施加电压时使振动臂弯曲振动；保护膜，由绝缘体构成，该保护膜隔着上部电极与压电膜的主面对置设置，并在振动臂的第一区域露出；导电膜，隔着保护膜与压电膜的主面对置设置，并在第二区域露出，该第二区域是振动臂中的与第一区域相邻的开放端附近的区域；以及导通电极，形成在保护膜上，并使导电膜与上部电极以及下部电极的任意一方电连接，在俯视压电膜的主面时，导通电极位于振动臂的第二区域内且比开放端更靠近第一区域的部分。
-
公开(公告)号：CN108141197A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680060159.X
申请日：2016-08-01
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/24
CPC classification number: H03H9/0595 , H03H9/10 , H03H9/1057 , H03H9/13 , H03H9/17 , H03H9/2489 , H03H2009/155
Abstract: 本发明提供谐振子和谐振装置。能够在面外折曲的谐振子中抑制寄生模式的产生。谐振子具备：基部；多个振动臂，它们具有压电体和之间隔着该压电体相互对置的一对电极层，被设置为一端与基部的前端连接，且相互空开规定空间地向离开基部的方向延伸；以及连结部，其将多个振动臂中的在施加了电场的情况下向相同方向折曲的振动臂的局部彼此连结起来。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
29
records
(took 0.03 seconds)
