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公开(公告)号：CN102950594A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201210039943.6
申请日：2012-02-20
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: B25J9/103 , Y10S901/23 , Y10S901/25 , Y10T74/19684 , Y10T74/20305 , Y10T74/20317
Abstract: 本发明涉及一种机器人和机器人系统。根据实施方式的机器人包括减速器、第一轴、旋转电机、第二轴和制动器。所述减速器减小待输入至输入单元的旋转并将该旋转输出。所述第一轴与所述输入单元连接。所述旋转电机使所述第一轴旋转。所述第二轴与所述输入单元连接。所述制动器限制所述第二轴的旋转。
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公开(公告)号：CN101484281B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200780025598.8
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J19/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J19/0029 , B25J9/042 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种提高了生产效率将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人(1)，具备：载置搬运物的手部(8)；与所述手部(8)连接，具备至少2个以上的旋转关节(3)、(4)、(5)，使所述手部(8)向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上相对的多关节臂(21)、(22)；对所述多关节臂(21)、(22)和上下移动的移动机构(11)进行连接的支撑构件(10)；及安装于所述移动机构(11)具有旋转功能的台座(13)，其为，在至少一个所述旋转关节(3)、(4)、(5)的旋转中心具有中空连接孔(23)。
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公开(公告)号：CN101471274A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810176589.5
申请日：2008-12-25
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种基板搬运系统及利用其的半导体制造装置，其防尘效果高，即使成为多个臂部也可以对应。其为，具备：在支撑装载基板的臂部的同时，通过设置在支柱外面的直线状开口部连接在设置于所述支柱内的导向机构，并按照所述导向机构在所述开口部的开口移动的支撑构件；及封闭所述开口部并隔离所述支柱的内部与外部的密封皮带，构成为即使所述支撑构件由于所述导向机构而移动，所述支柱的内部也由于所述密封皮带而不暴露于外部，所述密封皮带的两端固定在所述支柱内部的同时，卷装在可转动地支撑于所述支撑构件的滚轮上，并张架成封闭所述开口部。
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公开(公告)号：CN112566760B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201880096393.7
申请日：2018-08-08
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 机器人具备具有一体成型的一体型壳体的至少一个臂。一体型壳体具有外皮部和骨架部。骨架部在外皮部的内表面具有骨架形状，壁厚比外皮部厚，其中，所述骨架形状在沿着外皮部的面的方向上重复着基本形状，该基本形状是包围空隙的形状。此外，一体型壳体在至少一部分具有省略外皮部的开口部。开口部设置于周围为大致平面的部位，具有一体型壳体的臂具备从外侧覆盖开口部的能够拆装的罩。
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公开(公告)号：CN101844359B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201010188567.8
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J19/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/042 , B25J18/04 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。
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公开(公告)号：CN102922519A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210272868.8
申请日：2012-08-02
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: B25J19/0004 , B25J9/042 , B25J9/047
Abstract: 本发明提供一种机器人，其能够更可靠地防止手臂等部位的位置偏移。内部制动器具有：制动板，其与伺服电动机的轴一体地旋转；多个按压部件（73a、73b），其能够向制动板移动；压缩螺旋弹簧（78a、78b），其对按压部件（73a、73b）朝向制动板施力；以及电磁线圈，其在通电时克服压缩螺旋弹簧（78a、78b）的作用力而电磁吸引按压部件（73a、73b），压缩螺旋弹簧（78a、78b）对两个按压部件（73a、73b）施加不同的作用力。
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公开(公告)号：CN102825598A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201210080406.6
申请日：2012-03-23
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J9/06 , B25J15/08 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67766 , B25J5/02 , B25J9/042 , B25J9/047
Abstract: 本发明涉及一种搬运机器人，该搬运机器人包括回转基座、支柱、第一升降臂、第二升降臂和水平臂单元。所述回转基座包括基部和延伸部，所述基部绕竖直轴线回转，所述延伸部沿一个水平方向从所述基部延伸。所述支柱从所述延伸部的前端竖直地延伸。所述第一升降臂和所述第二升降臂被设置成绕水平轴线旋转。所述水平臂单元支撑在所述第二升降臂的所述前端部上，以绕水平轴线旋转。
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公开(公告)号：CN101360589B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200780001478.4
申请日：2007-06-15
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B25J19/00 , B25J9/06 , H01L21/677
CPC classification number: B25J9/042 , B25J18/04 , H01L21/68707
Abstract: 本发明提供一种防止上下移动轴的灰尘产生所引起的基板的污染，同时提高了生产效率的将液晶用玻璃基板、半导体晶圆等薄板状的工件取出送入储料器的多关节机器人。具体为，一种多关节机器人，具备：载置搬运物的手部；与所述手部连接，具备至少2个以上的旋转关节，使所述手部向一个方向移动地进行伸缩，配置为在轴向上对向的多关节臂；对所述多关节臂和上下移动的移动机构进行连接的支撑构件；及安装于所述移动机构的具有旋转功能的台座，所述移动机构在与所述手部的移动方向相同的方向上配置在支柱上，配置于所述移动机构的支撑构件在与所述手部的移动方向正交的方向上突出，与所述多关节臂连接。
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