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公开(公告)号:CN110945332B
公开(公告)日:2021-04-20
申请号:CN201780093357.0
申请日:2017-07-27
Applicant: 株式会社安川电机
Abstract: 抑制生产率降低及成本增大,并且提高扭矩传感器的检测精度。扭矩传感器(1)具有:圆环部件(2)和圆环部件(3);连结部件(4),其将圆环部件(2)和圆环部件(3)连结成:能够绕Z轴相对地旋转与扭矩的大小相应的量,并且将圆环部件(2)和圆环部件(3)连结成:能够借助扭矩以外的力绕与Z轴垂直的X轴相对地旋转;标尺(5),其被配置于圆环部件(2);发光部(17a),其被配置于圆环部件(3),从X轴上的位置向标尺(5)射出光;以及受光部(16),其被配置于圆环部件(3),接收从发光部(17a)射出且被标尺(5)反射的光。
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公开(公告)号:CN112240781A
公开(公告)日:2021-01-19
申请号:CN202010439653.5
申请日:2020-05-22
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/36 , G01D5/347 , H02K11/215
Abstract: 编码器、伺服电机、伺服系统。减小传感器部的位置偏移对绝对位置检测精度的影响。编码器具有盘和光学模块,盘具有第一绝对图案的狭缝轨道(SA1)和第二绝对图案的狭缝轨道(SA2)。光学模块具有:受光阵列(PA1),接收由狭缝轨道(SA1)反射的光,由多个第一受光元件与多个第二受光元件交替配置而成,多个第一受光元件输出第一相位的第一绝对信号,多个第二受光元件输出第二相位的第一绝对信号;受光阵列(PA2),配置成在与受光阵列(PA1)之间隔着光轴(Op),接收由狭缝轨道(SA2)反射的光,由多个第三受光元件与多个第四受光元件交替配置而成,多个第三受光元件输出第一相位的第二绝对信号,多个第四受光元件输出第二相位的第二绝对信号。
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公开(公告)号:CN104613994B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201410602653.7
申请日:2014-10-31
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G05B1/04 , G01D5/34792 , G01D5/36 , H02K11/22
Abstract: 本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。一种编码器(100),包括:分别包括沿着测量方向设置的多个反射狭缝的多个狭缝轨道(SA,SI1,SI2);被构成为向多个狭缝轨道(SA,SI1,SI2)射出扩散光的光源(121);被构成为接收被具有增量图案的狭缝轨道(SI2)反射的光的受光阵列(PI2);被构成为接收被具有比其他增量图案的间距更长的间距的增量图案的狭缝轨道(SI1)反射的光、并且被配置在配置有光源(121)而不是配置有受光阵列(PI2)的方向侧的位置处的受光阵列(PI2);以及被构成为接收被具有绝对图案的狭缝轨道(SA)反射的光、并且被配置在配置有所述光源(121)而不是配置有受光阵列(PI2)的方向侧的位置处的受光阵列(PA)。
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公开(公告)号:CN104613995B
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201410610511.5
申请日:2014-11-03
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/34776 , G01D5/3473 , G01D5/34738
Abstract: 本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。一种编码器(100),包括:分别具有沿着测量方向并排设置的多个反射狭缝的多个狭缝轨道(SA,SI1,SI2);被配置为向多个狭缝轨道(SA,SI1,SI2)射出扩散光的光源(121);被配置为接收被具有增量图案的狭缝轨道(SI2)反射的光的受光阵列(PI2);被配置为接收被具有比其他的增量图案具有更长的间距的增量图案的狭缝轨道(SI1)反射的光的受光阵列(PI1);以及被配置为接收被具有绝对图案的狭缝轨道(SA)反射的光的受光阵列(PA)。
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公开(公告)号:CN103348219B
公开(公告)日:2015-08-19
申请号:CN201180067262.4
申请日:2011-09-27
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/34776 , G01D5/145 , G01D5/34715 , G01D5/3473 , G01D5/34792
Abstract: 提供了包括沿着测量轴布置的多个反射狭缝的狭缝阵列(SA1、SA2)以及能够在面对狭缝阵列的一部分的同时在测量轴(C)上相对移动的光学模块(130),其中光学模块包括用光照射狭缝阵列的光源(131)和包括沿着测量轴并排布置的多个光接收元件并且在与狭缝阵列平行的平内面布置在点光源周围的光接收阵列(PA1、PA2、PI1、PI2),光接收元件分别接收从点光源照射的并且从反射狭缝反射的反射光,光源(131)和光接收阵列(PA1、PA2、PI1、PI2)被布置为光源(131)与光接收阵列(PI1、PI2)之间的最短距离(d1)小于光源(131)与光接收阵列(PA1、PA2)之间的最短距离(d2)。
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公开(公告)号:CN103210284B
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201180053537.9
申请日:2011-11-08
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/3473 , G01D5/34715 , G01D5/34792 , G05D3/125 , H02K11/22
Abstract: 通过增大受光面积能够有效利用反射光。将光源夹在中间来将增量用受光元件组在旋转盘的圆周方向上分割配置,将第1和第2绝对用受光元件组相对于光源配置在旋转盘的半径方向上的外侧和内侧双方。由此,能够在连续配置第1和第2绝对用受光元件的同时,以从4个方向包围光源的周围的方式配置增量用受光元件组和绝对用受光元件组。
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公开(公告)号:CN102918363B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201180026694.0
申请日:2011-01-24
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/34 , G01D5/24438 , G01D5/3473 , G01D5/38 , G05B11/011
Abstract: 一种编码器,包括:圆盘形的盘,所述盘能绕旋转轴线旋转地布置,并且具有一个呈环形的轨迹,在该轨迹上分别形成有旋转光栅,该盘具有在其一部分中形成的一个或多个原点检测区域;以及以固定方式面向盘设置的掩模,在所述掩模中形成有两个或更多个固定光栅,以便与所述旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统。包括在至少一个旋转光栅中的多个狭缝沿弯曲线形成,该弯曲线是使以该旋转轴线为中心的多条放射状线以预定的曲率沿周向方向弯曲而形成的;狭缝形成为使得狭缝的间距可被设定为预定的值。
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公开(公告)号:CN104614000A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201410637563.1
申请日:2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/347
CPC classification number: G01D5/3473 , G01D5/2458 , G01D5/34792 , G05B1/04
Abstract: 本发明涉及编码器、具有编码器的电机、和伺服系统。一种光学模块,包括:被配置为向多个轨道射出扩散光的光源;在与测量方向大致垂直的宽度方向上夹着点光源配置的一个受光阵列和另一个受光阵列;配置在一个受光阵列与点光源之间并且被配置为接收在具有第一增量图案的轨道上反射的光的受光阵列;以及配置在另一个受光阵列与光源之间并且被配置为接收在具有间距比第一增量图案的间距长的第二增量图案的轨道上反射的光的受光阵列。
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公开(公告)号:CN104613992A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201410616551.0
申请日:2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/30
Abstract: 编码器、带编码器的马达、伺服系统。能够提高编码器的可靠性。编码器具有:多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI),它们分别具备在沿着测定方向的轨道上配置的1个以上的槽隙;光源(121),其构成为向多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI)射出光;受光阵列(PA1、PA2),其接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SA1、SA2)反射的光,输出与位置数据相关的绝对信号;以及受光元件(PD1、PD2),它们构成为接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SI)反射的光,输出光量调整信号,受光元件(PD1、PD2)被配置在如下位置:相对于间隔(G)的变动和编码器(100)的周围温度的变动中的至少一方,光量调整信号的振幅的变化方式与绝对信号的振幅的变化方式实质上相等。
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公开(公告)号:CN103718004A
公开(公告)日:2014-04-09
申请号:CN201180072458.2
申请日:2011-07-22
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: H02K11/22 , G01D5/34 , G01D5/3473 , G01D5/38 , H02K15/00 , Y10T29/49004
Abstract: [问题]:为了能够在高精度地执行光学模块的位置调整的同时容易制造伺服马达。[解决手段]:光学模块(120)包括用于接收来自旋转盘(110)的同心圆隙缝(CS1)的发射光的位置调整用受光元件(150UL、150UR);和在径向上与位置调整用受光元件(150UL、150UR)不同的位置处、用于接收来自同心圆隙缝(CS2)的反射光的位置调整用受光元件(150D)。通过以位置调整用受光元件(150UL、150UR)的输出大致相等的方式驱动旋转马达(175),来执行光学模块(120)的倾斜方向的位置调整。而且,还通过以已经变为大致相等的位置调整用受光元件(150UL、150UR)的输出中的任意一个变为大致等于位置调整用受光元件(150D)的输出的方式驱动线性马达(174),来执行光学模块(120)的径向的位置调整。
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