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公开(公告)号:CN102023028B
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201010287102.8
申请日:2010-09-16
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/3473 , G01D5/38
Abstract: 本发明提供旋转编码器及其制造方法、旋转电机、旋转电机系统和转盘。旋转编码器具有:圆板状的转盘,其配置为能够绕旋转轴线旋转,且具有分别形成有光学的旋转光栅的环状的1个以上的轨道;以及光学的1个以上的固定光栅,其以与旋转光栅构成衍射干涉光学系统的方式,与转盘相对地固定配置,其中,至少1个旋转光栅中包含的多个狭缝是沿着弯曲线而形成的,该弯曲线是以能够将该狭缝的间距设定为规定值的方式,使以旋转轴线为中心的多个放射状线分别以规定的弯曲程度朝周向弯曲而成的。
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公开(公告)号:CN102918363A
公开(公告)日:2013-02-06
申请号:CN201180026694.0
申请日:2011-01-24
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/34 , G01D5/24438 , G01D5/3473 , G01D5/38 , G05B11/011
Abstract: 本发明提供一种旋转编码器、旋转马达以及旋转马达系统,其中通过使用衍射干涉光能以提高的检测精度检测原点的位置,并利于减小尺寸以及制造等。编码器包括:圆盘形的盘(110),所述盘能绕旋转轴线旋转地布置,并且具有一个呈环形的轨迹(TC),在该轨迹上分别形成有旋转光栅,该盘具有在其一部分中形成的一个或多个原点检测区域(h);以及以固定方式面向盘(110)设置的掩模,在所述掩模中形成有两个或更多个固定光栅,以便与所述旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统。包括在至少一个旋转光栅中的多个狭缝(SLA,SLB)沿弯曲线形成,该弯曲线是使以该旋转轴线为中心的多条放射状线以预定的曲率沿周向方向弯曲而形成的;狭缝(SLA,SLB)形成为使得狭缝(SLA,SLB)的间距(pLA,pLB)可被设定为预定的值。
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公开(公告)号:CN104613992B
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201410616551.0
申请日:2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/30
Abstract: 编码器、带编码器的马达、伺服系统。能够提高编码器的可靠性。编码器具有:多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI),它们分别具备在沿着测定方向的轨道上配置的1个以上的槽隙;光源(121),其构成为向多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI)射出光;受光阵列(PA1、PA2),其接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SA1、SA2)反射的光,输出与位置数据相关的绝对信号;以及受光元件(PD1、PD2),它们构成为接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SI)反射的光,输出光量调整信号,受光元件(PD1、PD2)被配置在如下位置:相对于间隔(G)的变动和编码器(100)的周围温度的变动中的至少一方,光量调整信号的振幅的变化方式与绝对信号的振幅的变化方式实质上相等。
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公开(公告)号:CN102288210B
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201110113423.0
申请日:2011-05-03
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/38 , G01D5/3473 , H02K11/22 , Y10T29/49895
Abstract: 本发明提供一种编码器、伺服单元及编码器的制造方法,能够利用衍射干涉光使分辨率提高,并使制造等变得容易。具体为,具有:圆盘(110),具备形成有旋转格栅的环状第1码道(TA)及第2码道(TB);以及第1检测部(130A)及第2检测部(130B),固定配置为与第1码道及第2码道对置,具有固定格栅并检测衍射干涉光,第1码道的多个狭缝作为弯曲狭缝而形成,与第1码道对置的第1检测部被配置在第1码道的旋转格栅所包括的狭缝的切线(LINEA)相对于第2检测部所对置的位置上的狭缝的切线(LINEB)平行的位置上。
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公开(公告)号:CN102636195B
公开(公告)日:2015-12-02
申请号:CN201210033248.9
申请日:2012-02-14
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/24452 , G01D5/34746 , Y10T29/49009
Abstract: 本发明涉及伺服马达及其制造方法和制造设备以及编码器。伺服马达制造方法包括:在旋转盘(110)待被固定到马达(M)的轴(SH)的情况下用于调节所述旋转盘(110)相对于所述轴(SH)的位置的盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25),至少一个同心图案(CP)围绕盘中心(O)形成到所述旋转盘(110),其中,在所述盘位置调节步骤(S5,S10,S12,S15,S17,S20,S25)中,所述同心图案(CP)被用作线性编码器(160)的标度,以调节所述旋转盘(110)的偏心。
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公开(公告)号:CN102288210A
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN201110113423.0
申请日:2011-05-03
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/38 , G01D5/3473 , H02K11/22 , Y10T29/49895
Abstract: 本发明提供一种编码器、伺服单元及编码器的制造方法,能够利用衍射干涉光使分辨率提高,并使制造等变得容易。具体为,具有:圆盘(110),具备形成有旋转格栅的环状第1码道(TA)及第2码道(TB);以及第1检测部(130A)及第2检测部(130B),固定配置为与第1码道及第2码道对置,具有固定格栅并检测衍射干涉光,第1码道的多个狭缝作为弯曲狭缝而形成,与第1码道对置的第1检测部被配置在第1码道的旋转格栅所包括的狭缝的切线(LINEA)相对于第2检测部所对置的位置上的狭缝的切线(LINEB)平行的位置上。
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公开(公告)号:CN102918363B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201180026694.0
申请日:2011-01-24
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G01D5/34 , G01D5/24438 , G01D5/3473 , G01D5/38 , G05B11/011
Abstract: 一种编码器,包括:圆盘形的盘,所述盘能绕旋转轴线旋转地布置,并且具有一个呈环形的轨迹,在该轨迹上分别形成有旋转光栅,该盘具有在其一部分中形成的一个或多个原点检测区域;以及以固定方式面向盘设置的掩模,在所述掩模中形成有两个或更多个固定光栅,以便与所述旋转光栅一起构成衍射干涉光学系统。包括在至少一个旋转光栅中的多个狭缝沿弯曲线形成,该弯曲线是使以该旋转轴线为中心的多条放射状线以预定的曲率沿周向方向弯曲而形成的;狭缝形成为使得狭缝的间距可被设定为预定的值。
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公开(公告)号:CN104613992A
公开(公告)日:2015-05-13
申请号:CN201410616551.0
申请日:2014-11-05
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: G01D5/30
Abstract: 编码器、带编码器的马达、伺服系统。能够提高编码器的可靠性。编码器具有:多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI),它们分别具备在沿着测定方向的轨道上配置的1个以上的槽隙;光源(121),其构成为向多个槽隙轨道(SA1、SA2、SI)射出光;受光阵列(PA1、PA2),其接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SA1、SA2)反射的光,输出与位置数据相关的绝对信号;以及受光元件(PD1、PD2),它们构成为接受从光源(121)射出并被槽隙轨道(SI)反射的光,输出光量调整信号,受光元件(PD1、PD2)被配置在如下位置:相对于间隔(G)的变动和编码器(100)的周围温度的变动中的至少一方,光量调整信号的振幅的变化方式与绝对信号的振幅的变化方式实质上相等。
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