陶瓷电路基板的制造方法
    23.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110999553B

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN201880053736.1

    申请日:2018-09-07

    Abstract: 关于本发明,在陶瓷基板的至少一个面介由含有Ag、Cu及活性金属的钎料层接合铜板而得到的陶瓷电路基板的制造方法中,其具备以下工序:准备在陶瓷基板上介由钎料层而接合铜板、上述钎料层的一部分在上述铜板的图案形状间变得裸露的陶瓷电路基板,对上述钎料层的上述一部分进行化学研磨的第一化学研磨工序;和用含有选自过氧化氢及过氧二硫酸铵中的1种或2种的pH6以下的蚀刻液,对化学研磨后的上述钎料层的上述一部分进行蚀刻的第一钎料蚀刻工序。

    处理装置、处理方法及电子设备的制造方法

    公开(公告)号:CN105321854A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510458287.7

    申请日:2015-07-30

    Abstract: 有关实施方式的处理装置具备:第1供给部,向多个被处理物的表面供给第1流动体;第2供给部,向被供给了上述第1流动体的上述多个被处理物的表面供给含有升华性物质的流动体;气体供给部,向被供给了含有上述升华性物质的流动体的上述多个被处理物的表面供给气体;以及升华部,使形成在上述多个被处理物的各自的表面上的含有升华性物质的层升华。上述气体供给部通过控制上述多个被处理物的各自的表面上的上述气体的流速,来控制形成在上述多个被处理物的各自的表面上的含有上述升华性物质的层的厚度。

    模板、模板的表面处理方法、模板的表面处理装置和图案形成方法

    公开(公告)号:CN102692817B

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201210076341.8

    申请日:2012-03-21

    CPC classification number: G03F7/0002 B82Y10/00 B82Y40/00

    Abstract: 本发明涉及模板、模板的表面处理方法、模板的表面处理装置和图案形成方法。具体地,涉及一种包括具有凹凸图案的转写面的模板。所述模板被构造成在树脂的表面中形成反映所述凹凸图案的结构。所述树脂通过将处于在光固化性树脂液用光固化之前的状态下的光固化性树脂液充填入所述凹凸图案的凹部并使用光来固化所述光固化性树脂液而形成。所述模板包括基材和表面层。所述基材包括具有凹凸的主表面。所述表面层覆盖所述基材的凹凸并用于形成反映所述凹凸的结构的凹凸图案。所述表面层与处于在光固化性树脂液用光固化之前的状态下的光固化性树脂液之间的接触角不大于30度。

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