公开(公告)号：CN100467224C

公开(公告)日：2009-03-11

申请号：CN200510078598.7

申请日：2001-10-03

Applicant: 株式会社东芝 ,  日油株式会社

Inventor： 平林英明 ,  斋藤晶子 ,  樱井直明 ,  押部义宏 ,  石户谷昌洋

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明披露了一种具有擦光层的抛光布，所述擦光层包含在含水介质中可水解的聚合物材料并且在没有进行必须的整修处理下能够显示出相对长时间的稳定的抛光性能。

公开(公告)号：CN1237582C

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN01818564.9

申请日：2001-10-03

Applicant: 株式会社东芝 ,  日本油脂株式会社

Inventor： 平林英明 ,  斋藤晶子 ,  樱井直明 ,  押部义宏 ,  石户谷昌洋

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00

CPC classification number: H01L21/3212 ,  B24B37/042 ,  B24B37/24 ,  B24B49/16 ,  B24D3/28 ,  B24D3/344 ,  B24D11/001

Abstract: 本发明披露了一种具有擦光层的抛光布，所述擦光层包含在含水介质中可水解的聚合物材料并且在没有进行必须的整修处理下能够显示出相对长时间的稳定的抛光性能。

公开(公告)号：CN1699017A

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN200510078598.7

申请日：2001-10-03

Applicant: 株式会社东芝 ,  日本油脂株式会社

Inventor： 平林英明 ,  斋藤晶子 ,  樱井直明 ,  押部义宏 ,  石户谷昌洋

IPC: B24B37/04 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明披露了一种具有擦光层的抛光布，所述擦光层包含在含水介质中可水解的聚合物材料并且在没有进行必须的整修处理下能够显示出相对长时间的稳定的抛光性能。

公开(公告)号：CN1473358A

公开(公告)日：2004-02-04

申请号：CN01818564.9

申请日：2001-10-03

Applicant: 株式会社东芝 ,  日本油脂株式会社

Inventor： 平林英明 ,  斋藤晶子 ,  樱井直明 ,  押部义宏 ,  石户谷昌洋

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00

CPC classification number: H01L21/3212 ,  B24B37/042 ,  B24B37/24 ,  B24B49/16 ,  B24D3/28 ,  B24D3/344 ,  B24D11/001

Abstract: 本发明披露了一种具有擦光层的抛光布，所述擦光层包含在含水介质中可水解的聚合物材料并且在没有进行必须的整修处理下能够显示出相对长时间的稳定的抛光性能。