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公开(公告)号：CN107271721B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201710190187.X
申请日：2017-03-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01P15/125
Abstract: 公开了高准确度且对温度和老化具有低灵敏度的MEMS加速度传感器。一种加速度传感器，具有：悬置区域(21)，该悬置区域相对于支撑结构(24)可移动；以及感测组件(37)，该感测组件耦合至该悬置区域并且被配置成用于检测该悬置区域相对于该支撑结构的移动。该悬置区域(21)具有在与各自的质心相关联的彼此不同的至少两个构型之间可变的几何形状。该悬置区域(21)由可旋转地锚定至该支撑结构(24)的第一区域(22)以及通过弹性连接元件(25)耦合至该第一区域(22)的第二区域(23)形成，该弹性连接元件被配置成用于允许该第二区域(23)相对于该第一区域(22)相对移动。驱动组件(40)耦合至该第二区域(23)，以便控制该第二区域相对于该第一区域的相对移动。
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公开(公告)号：CN107404697B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201611227014.2
申请日：2016-12-27
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 一种MEMS声换能器，其设置有：半导体材料的衬底，具有背表面和相对于垂直方向相反的前表面；形成在衬底内的第一腔，其从背表面延伸到前表面；膜，其布置在上表面处，悬置在第一腔的上方并沿着其周界锚定到衬底；以及梳齿状电极布置，其包括耦接到膜的多个可移动电极以及耦接到衬底并面向相应的可移动电极以形成感测电容器的多个固定电极，其中作为入射声波压力波的结果的膜的变形引起感测电容器的电容变化。特别地，梳齿状电极布置相对于膜垂直地放置并且平行于膜延伸。
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公开(公告)号：CN107270883A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201610875869.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5712 , G01C19/58
Abstract: 多轴MEMS陀螺仪(42)设置有微机械检测结构(10)，其具有：基板(12)；驱动块布置(14a-14b)；具有中心窗口(22)的从动块布置(20)；感测块布置(20；35a-35b、37a-37b)，其在存在关于第一水平轴(x)和第二水平轴(x)的角速度的情况下经历感测运动；感测电极布置(29a-29b、30a-30b)，其相对于基板固定并且被设置在感测块布置下面；和锚定组件(24)，其被设置在中心窗口(22)内以用于在锚定元件(27)处将从动块布置约束到基板。锚定组件包括刚性结构(25a-25b)，其悬挂在基板上方、在中心部分处通过弹性连接元件(26a-26b)弹性地连接到从动块，并且在其端部处通过弹性解耦元件(28)弹性地连接到锚定元件。
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公开(公告)号：CN102997905B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201210323167.2
申请日：2012-08-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5719 , G01P15/14
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/574 , G01P15/125
Abstract: 本发明的实施例涉及一种含有陀螺仪和加速计的微机电设备。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。
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公开(公告)号：CN105222766A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510372392.9
申请日：2015-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5776 , B81B7/02
CPC classification number: G01C19/5712 , B81B3/0018 , B81B3/0086 , B81B2201/025 , B81B2203/0163 , G01C19/5733 , G01C19/5747 , G01C19/5776 , B81B7/02
Abstract: MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102997905A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210323167.2
申请日：2012-08-28
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: G01C19/5719 , G01P15/14
CPC classification number: G01P15/18 , G01C19/574 , G01P15/125
Abstract: 本发明的实施例涉及一种含有陀螺仪和加速计的微机电设备。该微机电设备包括：支撑结构；两个感测质量体，根据第一轴和相应第二轴相对于所述支撑结构可移动；驱动设备，用于将感测质量体维持于相位相反的沿着第一轴的振荡；感测单元，用于供应感测信号，感测信号指示感测质量体分别根据相应第二轴的移位；处理部件，用于组合感测信号以便：在第一感测模式中放大感测质量体的协调移位对感测信号的影响并且衰减不协调移位的影响；并且在第二感测模式中放大感测质量体的不协调移位对感测信号的影响并且衰减协调移位的影响。
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公开(公告)号：CN109987569B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201910215984.8
申请日：2015-06-30
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B3/00 , G01C19/5733 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及具有对由于诸如正交分量之类的扰动力所致的误差补偿的微机电设备。MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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公开(公告)号：CN115083847A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202210254048.X
申请日：2022-03-15
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例总体上涉及防水MEMS按钮装置、封装外壳、以及制造按钮装置的方法。一种按钮装置包括：固定支撑结构；被上述支撑结构横向包围并且被配置为在外力的作用下至少部分变形的可移动结构；以及不透水的保护帽。可移动结构包括活塞元件、其上布置有压电换能器的可变形元件、以及将活塞元件耦合到可变形元件的锚固件元件。当外力作用在活塞元件上时，锚固件元件将该力传递给可变形元件和压电换能器，从而感测该力的大小。
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公开(公告)号：CN111212370B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN201911143036.4
申请日：2019-11-20
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开涉及具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。
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公开(公告)号：CN114113679A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110863147.3
申请日：2021-07-29
Applicant: 意法半导体股份有限公司
Abstract: 本公开的各实施例涉及用于检测振动的宽带宽MEMS加速度计，包括：支撑结构、至少一个可变形组和至少一个第二可变形组，至少一个可变形组和至少一个第二可变形组分别包括第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件，第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件各具有相应第一端部和相应第二端部，第一端部被固定到支撑结构。第一可变形组和第二可变形组还分别包括第一压电检测结构和第二压电检测结构。MEMS加速度计还包括：第一移动质量块和第二移动质量块，分别被固定到第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件的第二端部并且分别相对于第一可变形悬臂元件和第二可变形悬臂元件垂直交错；以及第一弹性结构，将第一移动质量块和第二移动质量块弹性地耦合。
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