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公开(公告)号：CN110997232B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201880050338.4
申请日：2018-08-03
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/013 , B24B37/20 , B24B37/24
Abstract: 本公开的实施例提供包括至少一终点检测(EPD)窗口设置穿过抛光垫材料的抛光垫及其形成方法。在一实施例中，形成抛光垫的方法包括通过分配第一前驱物组成物和窗口前驱物组成物，以形成抛光垫的第一层，第一层包含第一抛光垫元件和窗口特征中的每一者的至少部分，及使置于第一层内的所分配的第一前驱物组成物与所分配的窗口前驱物组成物部分硬化。
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公开(公告)号：CN110142687B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201910516558.8
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , D·莱德菲尔德 , M·C·奥里拉利 , B·福 , A·J·康纳 , J·G·方 , M·科尔内霍 , A·乔卡里汉 , M·F·雅玛木拉 , R·卡基雷迪 , A·库马 , V·哈里哈兰 , G·E·蒙柯 , F·C·雷德克 , N·B·帕蒂班德拉 , H·T·恩古 , R·达文波特 , A·辛哈
Abstract: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
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公开(公告)号：CN112088069A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN201980030585.2
申请日：2019-04-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/22 , B24B37/24 , B29C64/112 , B33Y10/00 , B33Y70/10
Abstract: 在一个实施方式中，提供了一种形成多孔抛光垫的方法。所述方法包含用3D打印机沉积多个复合层以达到目标厚度。沉积多个复合层包含将可固化树脂前驱物组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上。沉积多个复合层进一步包含将孔隙度形成组成物的一个或多个液滴分配到支撑件上，其中孔隙度形成组成物的至少一种成分是可移除的，以在多孔抛光垫中形成孔。
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公开(公告)号：CN112045555A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010961929.6
申请日：2016-10-06
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/22 , B24B37/24 , B24B37/26 , B24D3/28 , B24D11/00 , B24D11/04 , B24D18/00 , B33Y10/00 , B33Y80/00
Abstract: 本公开涉及使用增材制造工艺形成先进抛光垫的方法和设备。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改良特性的抛光垫可由诸如三维(3D)打印工艺之类的增材制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的先进抛光垫，该等不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂、加成聚合物前体化合物、催化剂及固化剂。举例而言，该先进抛光垫可通过自动化连续沉积至少一种聚合物前体组成物，继之以至少一个固化步骤而由多个聚合层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。本公开的实施例进一步提供一种具有可以是互穿型聚合物网状结构的聚合层的抛光垫。
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公开(公告)号：CN107107306B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201580069624.1
申请日：2015-10-19
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , D·莱德菲尔德 , M·C·奥里拉利 , B·付 , A·J·康纳 , J·G·方 , M·科尔内霍 , A·乔卡里汉 , M·F·雅玛木拉 , R·卡基雷迪 , A·库马 , V·哈里哈兰 , G·E·蒙克 , F·C·雷德克 , N·B·帕蒂班德拉 , H·T·恩古 , R·达文波特 , A·辛哈
Abstract: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111633556A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010532089.1
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , D·莱德菲尔德 , M·C·奥里拉利 , B·福 , A·J·康纳 , J·G·方 , M·科尔内霍 , A·乔卡里汉 , M·F·雅玛木拉 , R·卡基雷迪 , A·库马 , V·哈里哈兰 , G·E·蒙柯 , F·C·雷德克 , N·B·帕蒂班德拉 , H·T·恩古 , R·达文波特 , A·辛哈
Abstract: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
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公开(公告)号：CN111633555A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010531656.1
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , D·莱德菲尔德 , M·C·奥里拉利 , B·福 , A·J·康纳 , J·G·方 , M·科尔内霍 , A·乔卡里汉 , M·F·雅玛木拉 , R·卡基雷迪 , A·库马 , V·哈里哈兰 , G·E·蒙柯 , F·C·雷德克 , N·B·帕蒂班德拉 , H·T·恩古 , R·达文波特 , A·辛哈
Abstract: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
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公开(公告)号：CN111633554A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010531179.9
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , D·莱德菲尔德 , M·C·奥里拉利 , B·福 , A·J·康纳 , J·G·方 , M·科尔内霍 , A·乔卡里汉 , M·F·雅玛木拉 , R·卡基雷迪 , A·库马 , V·哈里哈兰 , G·E·蒙柯 , F·C·雷德克 , N·B·帕蒂班德拉 , H·T·恩古 , R·达文波特 , A·辛哈
Abstract: 本公开的实施例是关于具有可调谐化学特性、材料特性及结构特性的高级研磨垫，及制造所述研磨垫的新方法。根据本公开的一或多个实施例，已发现具有改善特性的研磨垫可由诸如三维(3D)打印工艺的积层制造工艺来产生。因此，本公开的实施例可提供具有离散特征及几何形状、由至少两种不同材料形成的高级研磨垫，所述不同材料包括官能性聚合物、官能性寡聚物、反应性稀释剂及固化剂。举例而言，该高级研磨垫可通过自动化依序沉积至少一种树脂前体组成物，随后以至少一个固化步骤而由多个聚合物层形成，其中各层可表示至少一种聚合物组成物和/或不同组成物的区域。
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公开(公告)号：CN110997236A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201880051442.5
申请日：2018-07-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： A·库马 , A·乔卡里汉 , S·嘎纳帕西亚潘 , R·巴贾杰 , 傅博诣 , D·莱德菲尔德 , N·B·帕蒂班德拉 , M·D·科尔内霍 , A·辛哈 , Y·赵 , R·R·阿内帕利 , F·C·雷德克
Abstract: 本文所述的实施例涉及整合研磨(IA)抛光垫，以及制造IA抛光垫的方法，所述方法在增材制造工艺(诸如3D喷墨打印工艺)中至少部分使用表面官能化的研磨颗粒。在一个实施例中，形成抛光制品的方法包括：分配第一前驱物的第一多个液滴；固化所述第一多个液滴以形成第一层，所述第一层包括子抛光元件的一部分；将所述第一前驱物及第二前驱物的第二多个液滴分配至所述第一层上；以及固化所述第二多个液滴以形成第二层，所述第二层包括所述子抛光元件的部分与多个抛光元件的部分。在此，所述第二前驱物包括官能化的研磨颗粒，所述官能化的研磨颗粒具有化学结合至所述官能化的研磨颗粒的表面的可聚合基团。
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公开(公告)号：CN107078048A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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