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公开(公告)号：CN113579992A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110880110.1
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN107078048A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN107078048B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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