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公开(公告)号：CN107078048B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN105706217B
公开(公告)日：2020-03-06
申请号：CN201480060461.6
申请日：2014-10-22
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , B24B37/20
Abstract: 一种制造抛光垫的抛光层的方法包括以下步骤：确定将嵌入在所述抛光层的聚合物母体内的颗粒的期望的分布。利用3D打印机相继地沉积所述聚合物母体的多个层，所述聚合物母体的所述多个层中的每一个层通过从喷嘴喷出聚合物母体前体来沉积。根据所述期望的分布、利用所述3D打印机来相继地沉积所述颗粒的多个层。使聚合物母体前体凝固成具有以所述期望的分布嵌入的颗粒的聚合物母体。
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公开(公告)号：CN107073677A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580056353.6
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种制造研磨垫的研磨层的方法，该方法包括用3D打印机依次沉积多个层，该多个研磨层的各层是通过自第一喷嘴喷射基材料并且自第二喷嘴喷射添加材料并将基材料与添加材料固化以形成固化的垫材料而沉积的。
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公开(公告)号：CN105706217A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201480060461.6
申请日：2014-10-22
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , B24B37/20
Abstract: 一种制造抛光垫的抛光层的方法包括以下步骤：确定将嵌入在所述抛光层的聚合物母体内的颗粒的期望的分布。利用3D打印机相继地沉积所述聚合物母体的多个层，所述聚合物母体的所述多个层中的每一个层通过从喷嘴喷出聚合物母体前体来沉积。根据所述期望的分布、利用所述3D打印机来相继地沉积所述颗粒的多个层。使聚合物母体前体凝固成具有以所述期望的分布嵌入的颗粒的聚合物母体。
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公开(公告)号：CN111300261B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010106777.1
申请日：2014-10-22
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/22 , B24B37/24 , B29C64/20 , B29C64/209 , B29C64/393 , B29C64/314 , B33Y30/00 , B33Y40/10 , B33Y50/02
Abstract: 一种制造抛光垫的抛光层的方法包括以下步骤：确定将嵌入在所述抛光层的聚合物母体内的颗粒的期望的分布。利用3D打印机相继地沉积所述聚合物母体的多个层，所述聚合物母体的所述多个层中的每一个层通过从喷嘴喷出聚合物母体前体来沉积。根据所述期望的分布、利用所述3D打印机来相继地沉积所述颗粒的多个层。使聚合物母体前体凝固成具有以所述期望的分布嵌入的颗粒的聚合物母体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107078048A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN110238752B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201910517080.0
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开涉及抛光制品。抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN107073677B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201580056353.6
申请日：2015-10-16
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种制造研磨垫的研磨层的方法，该方法包括用3D打印机依次沉积多个层，该多个研磨层的各层是通过自第一喷嘴喷射基材料并且自第二喷嘴喷射添加材料并将基材料与添加材料固化以形成固化的垫材料而沉积的。
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公开(公告)号：CN107073679B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201580056366.3
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/24 , B24B37/26 , H01L21/304 , H01L21/306 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN107073679A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580056366.3
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/24 , B24B37/26 , H01L21/304 , H01L21/306 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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