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公开(公告)号：CN107078048B
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN107078048A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580060603.3
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
IPC: H01L21/304
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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公开(公告)号：CN113579992A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110880110.1
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
Inventor： R·巴贾杰 , K·克里希南 , M·C·奥里拉利 , D·莱德菲尔德 , F·C·雷德克 , N·B·帕迪班德拉 , G·E·蒙柯 , J·G·方 , R·E·帕里 , R·E·达文波特
Abstract: 本公开的实施例大体而言提供包括复合衬垫主体的研磨垫及形成该研磨垫的方法。一个实施例提供包括复合衬垫主体的研磨垫。该复合衬垫主体包括由第一材料或第一材料组成物形成的一个或更多个第一特征，及由第二材料或第二材料组成物形成的一个或更多个第二特征，其中该一个或更多个第一特征和该一个或更多个第二特征是通过沉积多个包含该第一材料或第一材料组成物和第二材料或第二材料组成物的层所形成的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110238752A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910517080.0
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开涉及抛光制品。抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN106716604A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580050626.6
申请日：2015-04-24
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/683
Abstract: 提供了一种用于化学机械研磨的研磨垫。研磨垫包括具有支撑表面的基底区。研磨垫进一步包括多个研磨特征，该等特征形成研磨表面，该研磨表面与支撑表面相对。研磨垫进一步包括一个或多个通道，该等通道形成于研磨垫的内部区域中，且至少部分地围绕研磨垫的中心延伸，其中每一通道流体耦接至至少一个端口。
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公开(公告)号：CN110238752B
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN201910517080.0
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 本公开涉及抛光制品。抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN107073679B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201580056366.3
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/24 , B24B37/26 , H01L21/304 , H01L21/306 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN107073679A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580056366.3
申请日：2015-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: B24B37/24 , B24B37/26 , H01L21/304 , H01L21/306 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
Abstract: 抛光制品制造系统包含：进料段和卷取段，所述卷取段包含供应辊，所述供应辊具有抛光制品，所述抛光制品设置在所述供应辊上并用于化学机械抛光工艺；打印段，所述打印段包含设置在所述进料段与所述卷取段之间的多个打印头；以及固化段，所述固化段设置在所述进料段与所述卷取段之间，所述固化段包括热固化装置和电磁固化装置中的一者或两者。
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