公开(公告)号：CN107073677A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580056353.6

申请日：2015-10-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： M·C·奥里拉尔 ,  T·麦克尔森 ,  K·克里希南 ,  R·巴贾杰 ,  N·B·帕迪班德拉 ,  D·莱德菲尔德 ,  F·C·雷德克 ,  G·E·孟克

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  B24D18/00 ,  B33Y80/00

Abstract: 一种制造研磨垫的研磨层的方法，该方法包括用3D打印机依次沉积多个层，该多个研磨层的各层是通过自第一喷嘴喷射基材料并且自第二喷嘴喷射添加材料并将基材料与添加材料固化以形成固化的垫材料而沉积的。

公开(公告)号：CN107073677B

公开(公告)日：2020-05-15

申请号：CN201580056353.6

申请日：2015-10-16

Applicant: 应用材料公司

Inventor： M·C·奥里拉尔 ,  T·麦克尔森 ,  K·克里希南 ,  R·巴贾杰 ,  N·B·帕迪班德拉 ,  D·莱德菲尔德 ,  F·C·雷德克 ,  G·E·孟克

IPC: B24B37/22 ,  B24B37/24 ,  B24B37/26 ,  B24D18/00 ,  B33Y80/00

Abstract: 一种制造研磨垫的研磨层的方法，该方法包括用3D打印机依次沉积多个层，该多个研磨层的各层是通过自第一喷嘴喷射基材料并且自第二喷嘴喷射添加材料并将基材料与添加材料固化以形成固化的垫材料而沉积的。