公开(公告)号：CN110997236A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201880051442.5

申请日：2018-07-24

Applicant: 应用材料公司

Inventor： A·库马 ,  A·乔卡里汉 ,  S·嘎纳帕西亚潘 ,  R·巴贾杰 ,  傅博诣 ,  D·莱德菲尔德 ,  N·B·帕蒂班德拉 ,  M·D·科尔内霍 ,  A·辛哈 ,  Y·赵 ,  R·R·阿内帕利 ,  F·C·雷德克

IPC: B24D11/00 ,  B29C64/112 ,  B24B37/22 ,  B24D11/04 ,  B33Y10/00 ,  B33Y80/00 ,  C09G1/16

Abstract: 本文所述的实施例涉及整合研磨(IA)抛光垫，以及制造IA抛光垫的方法，所述方法在增材制造工艺(诸如3D喷墨打印工艺)中至少部分使用表面官能化的研磨颗粒。在一个实施例中，形成抛光制品的方法包括：分配第一前驱物的第一多个液滴；固化所述第一多个液滴以形成第一层，所述第一层包括子抛光元件的一部分；将所述第一前驱物及第二前驱物的第二多个液滴分配至所述第一层上；以及固化所述第二多个液滴以形成第二层，所述第二层包括所述子抛光元件的部分与多个抛光元件的部分。在此，所述第二前驱物包括官能化的研磨颗粒，所述官能化的研磨颗粒具有化学结合至所述官能化的研磨颗粒的表面的可聚合基团。