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公开(公告)号：CN118835196A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410879839.0
申请日：2024-07-02
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及PVD涂层生产工艺技术领域，具体涉及一种离子刻蚀工艺控制PVD沉积涂层缺陷的方法，该方法采用柱弧(Ti靶材)，在辅助阳极的作用下对试样进行离子刻蚀，惰性气体(氩气)作为反应气体，产生的等离子体达到离子刻蚀的作用，减少涂层沉积缺陷。使用表征设备对离子刻蚀前后的微观组织进行分析，并对不同涂层在3.5wt.％NaCl溶液条件下的腐蚀行为进行深入的分析。通过引入离子刻蚀的方法有效降低了缺陷的数量，同时改善涂层的电化学性能。
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公开(公告)号：CN114959575A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210589861.2
申请日：2022-05-26
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。
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公开(公告)号：CN114196909A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111478989.3
申请日：2021-12-03
Applicant: 广东振华科技股份有限公司 , 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种改善绝缘基体表面耐磨防护涂层结合力的方法，基体清洗；强束流氩离子轰击；制备纯金属Ti过渡层；制备AlTiN耐磨防护涂层；本发明用柱弧辅助增强氩离子复合清洗，实现弧光和辉光协同放电，提高等离子体密度和能量，改善涂层与绝缘基体的界面结合问题，同时利用纯金属过渡层，补偿基体的残余应力，缓解涂层和基体之间的晶格错配问题；最后利用脉冲偏压电弧离子镀方式制备耐磨防护涂层，通过动态调节等离子体鞘层，减小绝缘表面充电效应，同时有效控制沉积离子能量，降低涂层应力，实现绝缘基片硬质涂层的高质量制备。
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公开(公告)号：CN109666904A
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201811615661.X
申请日：2018-12-27
Applicant: 安徽多晶涂层科技有限公司 , 安徽工业大学
CPC classification number: C23C14/325 , C23C14/021 , C23C14/025 , C23C14/028 , C23C14/0641 , C23C14/16
Abstract: 本发明公开了一种低应力高耐磨抗冲蚀涂层、制备方法及应用，低应力高耐磨抗冲蚀涂层包括基体、粘结层、工作层，粘结层为铬层，工作层为Cr/Cr2N/CrN纳米多层结构，粘结层位于基体与工作层之间；粘结层厚度为0.15～2μm，工作层厚度为2～3μm；低应力高耐磨抗冲蚀涂层的制备方法，包括如下步骤：对基体进行研磨抛光，然后用碱性溶液超声清洗后用去离子水冲洗并烘干，再用酸性溶液超声清洗后用去离子水冲洗并烘干；将清洗后的基体放入多弧离子镀膜室内，用辉光放电清洁表面；用多弧离子镀沉积粘结层；用多弧离子镀沉积工作层；该涂层具有很好的韧性、硬度和抗腐蚀性，各界面结合良好，相互匹配，增加了钛合金材料的硬度、耐磨性和抗冲蚀性。
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公开(公告)号：CN109609905A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811615657.3
申请日：2018-12-27
Applicant: 安徽工业大学 , 安徽多晶涂层科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度抗冲蚀耐磨复合涂层、制备方法及应用，依次包括基材、粘结层和工作层，基材为Ti-6Al-4V钛合金，粘结层为金属Cr，工作层为Cr/CrSiN纳米多层结构，粘结层厚度为0.15～0.2μm，工作层厚度为2～3μm，高硬度抗冲蚀耐磨复合涂层的制备方法，包括以下步骤：对基材材料进行化学表面处理；对基材材料进行辉光放电清洗；Cr粘结层的沉积；工作层沉积；该涂层各界面结合良好，相互匹配，增加了钛合金材料的硬度、耐磨性和抗冲蚀性；多层交替循环，增加了界面结构，减少物理气相沉积涂层针孔缺陷，阻碍裂纹扩展，提高涂层的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108070813A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201711394432.5
申请日：2017-12-21
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明公开一种结晶器铜板表面耐腐蚀Cr3C2-NiCr-铝硅复合硅氧烷复合涂层的制备方法，属于金属表面工程技术领域。本发明复合涂层包括热喷涂Cr3C2-NiCr层和铝硅复合硅氧烷涂层；其制备方法包括采用超音速火焰喷涂和浸渍提拉法方法在结晶器铜板表面依次合成数百微米的Cr3C2-NiCr涂层和数十微米的铝硅复合硅氧烷涂层。本发明制备的复合涂层具备致密度高，耐腐蚀性能好，可有效作为结晶器铜板表面的防护涂层，能够显著提高了结晶器铜板的使用寿命。
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公开(公告)号：CN118600421A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410672234.4
申请日：2024-05-28
Applicant: 安徽工业大学
IPC: C23C28/00 , C23C14/16 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C16/40 , C23C16/455 , G01K7/02 , G01L1/00 , G01L9/00
Abstract: 本发明涉及功能薄膜制备技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜、制备方法及其应用，该多层复合绝缘薄膜自下而上依次包括金属基体、Cr过渡层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层、原子层沉积Al2O3绝缘层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层。通过Cr过渡层提高了膜基结合强度，采用磁控溅射与原子层沉积(ALD)技术相复合制备了多层Al2O3薄膜，原子层沉积技术制备的Al2O3薄膜生长致密，填充了磁控溅射沉积的Al2O3薄膜中微孔等组织结构缺陷，从而达到绝缘封孔目的，“三明治”结构Al2O3薄膜有效地阻断了传感层与金属基体之间的电子传导，同时采用合适的刻蚀清洗工艺和金属过渡层，各层薄膜间具有良好的结合强度，可应用于金属表面薄膜传感器制备。
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公开(公告)号：CN115125486B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202210893289.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及硬质涂层制备技术领域，具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法，使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层，由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层，多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层，支撑层中TiSiN涂层Si含量为3～7％，工作层TiSiN中Si含量为8～15％。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力，采用多层支撑层降低涂层内应力，提高涂层韧性，同时引入多层界面结构，降低涂层缺陷，提高涂层致密度；通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量，提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性，制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单，膜层光滑致密，具有较高的硬度和膜基结合力，良好的抗磨损性能。
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公开(公告)号：CN115233164A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210867294.2
申请日：2022-07-22
Applicant: 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及电弧离子镀技术领域，具体涉及一种金刚石增强复合材料的电弧离子镀方法，包括下列步骤：(1)衬底准备：衬底是作为复合材料依附其上，完成生长的支撑；(2)金刚石颗粒的准备；(3)抽真空；(4)加热；(5)通入工艺气体；(6)膜层沉积；(7)衬底表面布置金刚石颗粒；(8)重复步骤(6)至(7)；(9)热处理，本发明利用电弧离子镀技术制备金刚石增强复合材料的基体，使基体材料种类从金属扩展至氮化物、碳化物等陶瓷材料，提高了金刚石增强复合材料的性能。
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公开(公告)号：CN112962053A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110139073.9
申请日：2021-02-01
Applicant: 广东振华科技股份有限公司 , 安徽工业大学
Abstract: 本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种自润滑防粘铝复合涂层、制备方法及其应用，这种自润滑防粘铝复合涂层，模具基体到表面依次包括离子渗氮层、CrN打底层、CrVN中间层、CrVCN工作层，所述模具基体为热作模具钢，述离子渗氮层的厚度为50～100μm，组织结构主要包含面向立方结构γ‑Fe4N硬质相，CrN打底层的厚度为0.5～1μm，CrVN中间层的厚度为2～3μm，组织结构为粗大柱状晶，CrVCN工作层的厚度为2～5μm，由细小的纳米晶镶嵌在非晶基体中构成纳米复合结构；这种自润滑防粘铝复合涂层的制备方法，提升复合涂层的抗粘铝性能，解决如何实现多元复合涂层的自润滑以及抗粘铝性能的问题。
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