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公开(公告)号：CN101574780B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200910117306.4
申请日：2009-06-04
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 一种磁控溅射环件用钽凸结体生产方法，以钽棒为原料，采用模具冲压成型结合精密机械加工的方式完成，其工艺过程依次为：钽棒锯料、车端面、冲压成型、精修、钻中心孔、攻丝、钻侧孔。其冲压模具包括上模板(1)和下模板(9)，两者之间有导向柱(3)，下模板(9)上装有凹模(7)，凹模之上配有凸模(6)，凸模上配有退料杆(5)；本发明具有材料利用率高和加工效率高的优点。
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公开(公告)号：CN103757592B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201410054777.6
申请日：2014-02-19
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供了一种制备铌靶材的方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行热处理，将热处理后的铌锭钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料，将得到的铌锭抽真空；c）将步骤b）得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料；d）将步骤c）得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中，通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料，有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧，并且易于铌靶材的加工。
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公开(公告)号：CN102990234B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210291461.X
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明涉及一种溅射钽环件凸台和环件的焊接方法，其特征是：首先将凸台和环件分别酸洗，然后采用激光点焊的方法将所有凸台固定在环件上，用酸液进行表面处理，最后将固定好凸台的环件装夹在三爪卡盘上，通过W轴的旋转依次完成多个凸台的焊接。本发明首先采用点焊的方法将所有凸台固定在环件上，然后再进行电子束焊接，这样只需要抽一次真空即可完成所有凸台的焊接，最大限度的简化了加工工艺，从而大大提高了加工效率，降低了加工成本，同时由于先将凸台全部固定，避免电子束焊接时凸台变形，减少了废品的产生，提高了加工质量。
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公开(公告)号：CN103009000B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210551253.9
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
IPC: B23P15/00
CPC classification number: C23C14/14 , C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，首先将铌管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌管坯进行内孔的加工，从而得到铌靶材。本发明在制备铌靶材的过程中，首先在铌管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌管坯晶粒的细化与均匀化；最后将挤压后的铌管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀和表面粗糙度值较低的铌靶材。本发明还提供了一种铌靶材。
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公开(公告)号：CN103862073A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210551254.3
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B23B27/005 , B23B1/00
Abstract: 本发明提供了一种车削方法，包括：采用车刀对铌靶材或铌合金靶材的外表面进行车削，所述车刀的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。本发明通过对车刀的前角、后角、主偏角、副偏角与刃倾角的选择，使切屑自已加工面排出，避免了切屑粘刀的情况，降低了切削加工的难度。本发明还提供了一种车刀，所述车刀的的前角为20°~40°，后角为4°~15°，主偏角为45°~60°，副偏角为45°~90°，刃倾角为10°~25°。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103757596A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410031940.7
申请日：2014-01-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。
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公开(公告)号：CN103028898A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210292279.6
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414 , B21B1/024 , B21B1/026 , B21B15/0007 , B21B45/004 , C22C27/02 , C22F1/18 , C23C14/14 , H01J37/3426 , H01J37/3491 , H01J2237/3323 , H01L21/2855
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的制备方法，其特征是：首先将钽锭采用冷锻结合热锻的方法制成锻造坯料，然后再采用热轧法进行轧制，最后校平，再根据成品尺寸下料、铣削和表面处理得到钽靶材。本发明采用冷锻结合热锻工艺对钽锭进行锻造，然后再采用热轧工艺对锻造坯料进行轧制，从而得到满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材。该高性能钽靶材：第一，结晶均匀，晶粒尺寸在50－120μm之间；第二，在靶材厚度方向获得（100）织构占优的织构组分（所占比例在50%以上），并且在厚度方向均匀一致。与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN102909299A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210291657.9
申请日：2012-08-16
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: B21J5/06
Abstract: 本发明涉及一种高性能钽靶材的热锻工艺，其工艺步骤为：首先将钽锭采用冷锻法进行一次锻造，随后酸洗、热处理后采用热锻法进行二次锻造，再次酸洗和热处理后采用热锻法进行三次锻造。本发明对应用于高性能钽靶材的大直径（直径大于等于160mm）钽锭通过冷锻结合热锻工艺进行锻造，并配以合适的热处理工艺，得到产品需要的晶粒尺寸和织构组分。利用本发明所生产的轧制坯料可获得靶材厚度方向（100）织构比例在50％以上，并且均匀一致，满足高端溅射基台使用要求的高性能钽靶材，与普通钽靶材相比较，高性能钽靶材不但实现了靶材厚度方向（100）织构达到50％以上的织构组分，而且对织构均匀性也提出更高的要求，从而确保了在使用中溅射速率一致。
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公开(公告)号：CN103757596B
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201410031940.7
申请日：2014-01-23
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法，包括以下步骤：a）将铌锭进行退火处理，将退火后的铌锭进行钻孔；b）将步骤a）得到的铌锭进行预热，在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉；c）将步骤b）得到的铌锭进行加热，将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉；d）将步骤c）得到的铌锭进行扩孔；将热扩孔后的铌管进行加热，将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中，通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔，避免了长时间钻孔原料浪费的问题，同时缩短了铌靶材的制孔周期。
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公开(公告)号：CN103866245B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210551195.X
申请日：2012-12-18
Applicant: 宁夏东方钽业股份有限公司
CPC classification number: C23C14/3414
Abstract: 本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法，首先将铌合金管坯进行热挤压，然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工，从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中，首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉，由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉，使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果，从而使铌合金管坯的表面质量较好；随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化；最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工，通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣，使断屑能够连续自内孔排出，避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题，从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。
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