公开(公告)号：CN119265699A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411789664.0

申请日：2024-12-06

Applicant: 季华实验室

Inventor： 高桑田 ,  仇礼钦 ,  唐卓睿 ,  王鑫

IPC: C30B25/16 ,  C30B25/10 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52

Abstract: 本申请涉及外延设备技术领域，具体提供了一种用于外延设备的温度补偿系统及方法，该系统包括：第一温度采集组件；第二温度采集组件；压力采集组件；流量采集组件；控制器，用于根据组分气体类型信息和预设转换关系获取各条进气通道的组分气体的自由系数信息，还用于根据进气压力信息、进气流量信息和进气温度信息获取各条进气通道的组分气体的单位时间气体摩尔数信息，还用于根据反应室温度信息、进气温度信息、所有自由系数信息和所有单位时间气体摩尔数信息计算热量总缺口，然后基于热量总缺口调节加热组件的功率；该系统能够有效地避免出现由于通入反应室的工艺气体会带走外延片的热量而导致外延片的温度发生波动或难以达到目标温度的情况。

公开(公告)号：CN119221110A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411742042.2

申请日：2024-11-29

Applicant: 季华实验室

Inventor： 王鑫 ,  仇礼钦 ,  高桑田 ,  盛飞龙

IPC: C30B25/16 ,  C30B25/02

Abstract: 本申请涉及外延炉技术领域，具体提供了一种外延炉维护系统及方法，该系统包括：反应室；维护室；图像采集组件；传送室；控制器，用于在完成外延生长工艺后，控制第一开关阀打开，然后利用机械臂将上半月反应腔体移动至图像采集组件上方，还用于利用图像采集组件采集反应腔体底面图像信息，然后根据反应腔体底面图像信息获取沉积颗粒参数信息，并根据沉积颗粒参数信息和预设颗粒参数分析是否需要对上半月反应腔体进行维护，若是，则控制第一开关阀关闭，生成提醒维护信息；该系统能够有效地解决由于反应室内的石墨件和气路元件与空气接触而导致反应室内的石墨件和气路元件氧化的问题以及有效地提高维护效率。

公开(公告)号：CN119194603A

公开(公告)日：2024-12-27

申请号：CN202411715094.0

申请日：2024-11-27

Applicant: 季华实验室

Inventor： 盛飞龙 ,  郭嘉杰 ,  梁启恒 ,  王鑫 ,  孔倩茵 ,  仇礼钦

IPC: C30B25/16 ,  C23C16/52 ,  F16K37/00 ,  F16K1/22

Abstract: 本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种双蝶阀控压系统、方法及外延炉，该系统包括：排气管道，其上依次设有门阀、第一压力采集组件、第一蝶阀和工艺泵；调压管，其上设有第二蝶阀；第二压力采集组件；控制器，用于根据第一预设开度范围、第一压力信息和第一预设压力调节第一蝶阀的开度，并在第一蝶阀的开度变化量位于第一预设开度范围内且第一压力信息与第一预设压力的差值位于第一预设压力范围内时，根据第二预设开度范围、第二压力信息和第一预设压力调节第二蝶阀的开度；该系统能够有效地减少第一蝶阀的开度的调整次数，从而有效地延长第一蝶阀的使用寿命，进而有效地降低外延炉的维护周期。

公开(公告)号：CN115125619B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202210815561.1

申请日：2022-07-12

Applicant: 季华实验室

Inventor： 仇礼钦 ,  高桑田 ,  戴科峰 ,  郭嘉杰 ,  王鑫

IPC: C30B29/36 ,  C30B23/02 ,  C30B25/14

Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种外延片的冷却系统、方法、电子设备及存储介质，外延片的冷却系统用于对冷却室内的外延片进行吹扫冷却，包括旋转装置、监测装置、吹扫装置和控制器，控制器用于根据平面度信息和/或温度分布信息获取外延片的冷却异常区域；根据平面度信息和/或温度分布信息判断冷却异常区域是否靠近吹扫装置的送气端，并在冷却异常区域靠近吹扫装置的送气端时，调节吹扫装置的吹扫流量以消除冷却异常区域，通过本方案可实时监测外延片表面的温度及应力分布情况，从而消除已发生翘曲的区域，且能预防外延片发生翘曲。

公开(公告)号：CN115481538A

公开(公告)日：2022-12-16

申请号：CN202211173620.6

申请日：2022-09-26

Applicant: 季华实验室

Inventor： 高桑田 ,  戴科峰 ,  毛朝斌 ,  王鑫 ,  仇礼钦

IPC: G06F30/20 ,  G06F113/08 ,  G06F119/02 ,  G06F119/12

Abstract: 本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种外延设备反应腔排气结构的寿命预测方法、设备及介质；该方法用于预测外延设备排气结构中的蝶阀的橡胶圈剩余使用寿命以获取排气结构可使用时间，方法包括以下步骤：获取反应腔内排出的气体流量信息、气体组分信息；根据气体流量信息、气体组分信息、排气结构管路半径获取反应气体的气体常数信息；根据气体常数信息、反应类型信息、反应温度信息获取老化反应速率常数信息；根据老化反应速率常数信息及橡胶圈老化常数获取橡胶圈疲劳变化参数关于时间的疲劳模型；基于疲劳模型根据橡胶圈使用时长、预设的疲劳极限信息计算橡胶圈的剩余使用寿命，该方法能有效预测蝶阀的橡胶圈剩余使用寿命。

公开(公告)号：CN114622277A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210173699.6

申请日：2022-02-24

Applicant: 季华实验室

Inventor： 高桑田 ,  王鑫 ,  毛朝斌 ,  仇礼钦 ,  黄吉裕 ,  刘欣然

IPC: C30B25/12 ,  C30B25/14 ,  C30B25/16

Abstract: 本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种用于反应腔的气浮系统及方法，其包括：托盘，用于放置晶圆；供气装置，用于供应气浮气体；悬浮气路，与所述供气装置连接，用于朝所述托盘底面释放所述气浮气体以驱动所述托盘浮起；旋转气路，与所述供气装置连接，用于朝所述托盘侧面释放所述气浮气体以驱动所述托盘旋转；控制器，用于在外延生长开始前，控制所述悬浮气路驱动所述托盘悬浮，并在经过第一预设时间后，控制所述旋转气路驱动所述托盘旋转；只有在托盘悬浮后，控制器才会控制旋转气路释放气浮气体以驱动托盘旋转，从而实现先使托盘悬浮再使托盘旋转，避免出现由于托盘未浮起就开始旋转而造成托盘与底座磨损的情况。