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公开(公告)号：CN113917798A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111110721.4
申请日：2021-09-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明的实施例提供了一种用于工作台Z轴方向宏动的运动装置，包括：工作台；四个校正模块，所述校正模块与所述工作台相连接，所述校正模块包括可发生柔性形变的柔性结构；以及四个驱动模块，所述驱动模块的顶部与所述校正模块一一对应连接，各所述驱动模块底部与宏动台相连接；其中，四个所述驱动模块的投影的连线构成四边形，各所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动；当任意两个所述驱动模块驱动对应的所述校正模块沿Z轴方向移动时，所述柔性结构发生柔性形变，实现所述工作台的位置调整。
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公开(公告)号：CN117444978B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202311626768.5
申请日：2023-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动软体机器人的位置控制方法及其系统、设备，所述方法通过随机策略得到包含若干状态以及对应动作数据组的初始数据集，再将上述数据集作为训练输入，使用代表高斯过程功能映射与实际状态之间差异的差分变量作为训练目标，利用贝叶斯推断所获得的差分变量的后验预测分布表示动力学模型中的传递动力学函数，最后利用所学习的动力学模型计算预测状态分布，并以预期长期损失最小为目标优化策略参数，实现更新策略。本发明利用概率模型代替实际动力学模型，进而减轻模型偏差，解决了现有方法过度依赖精确动力学模型的问题。
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公开(公告)号：CN117444978A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311626768.5
申请日：2023-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种气动软体机器人的位置控制方法及其系统、设备，所述方法通过随机策略得到包含若干状态以及对应动作数据组的初始数据集，再将上述数据集作为训练输入，使用代表高斯过程功能映射与实际状态之间差异的差分变量作为训练目标，利用贝叶斯推断所获得的差分变量的后验预测分布表示动力学模型中的传递动力学函数，最后利用所学习的动力学模型计算预测状态分布，并以预期长期损失最小为目标优化策略参数，实现更新策略。本发明利用概率模型代替实际动力学模型，进而减轻模型偏差，解决了现有方法过度依赖精确动力学模型的问题。
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公开(公告)号：CN114296323B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114264448B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541828.4
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种复眼单元工作环境模拟及性能评估系统及其使用方法，属于精密仪器以及精密测量技术领域，本发明为了解决现有技术中缺乏针对复眼单元性能测试及其稳定测试环境构建设备的问题，本发明所述的评估系统包括真空单元、温控单元、隔振底座、测量单元和复眼单元，同时考虑了复眼单元的真空和高温的工作环境。在真空环境模拟系统中，利用真空泵和真空规管组成闭环系统，同时在温控系统中利用温度传感器的电热膜、水冷板组成闭环系统，保证复眼单元所处环境的真空度和温度在目标值在一定的误差范围内，满足测试要求，同时采用了一种基于光敏位移传感器的测量系统，相比于利用干涉仪的测量系统，简化了系统组成，进一步提高了测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114153126B
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202111541826.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
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公开(公告)号：CN114296323A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111651845.3
申请日：2021-12-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种长行程准零刚度柔性导向机构，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有柔性导向机构无法保证大行程恒力输出的问题。它包括间接驱动部件、直接驱动部件、第一正刚度簧片组件、第二正刚度簧片组件、负刚度簧片组件和直线电机驱动模块，直接驱动部件左右两侧分别通过两个第一正刚度簧片组件与两个间接驱动部件相连，两个间接驱动部件前后两侧分别通过两个第二正刚度簧片组件与两个固定组件相连，第一正刚度簧片组件和第二正刚度簧片组件结构相同，直接驱动部件左右两侧均与负刚度簧片组件一端相连，两个负刚度簧片组件的另一端均连接有负刚度簧片固定组件，直线电机驱动模块与直接驱动部件相连。
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公开(公告)号：CN114217509A
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202111542248.7
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。
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公开(公告)号：CN114200782A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111542240.0
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种柔性二维导向机构，包含二维线性运动平台，还包含外壳、驱动杆、输入端二维同位柔性铰链、直线解耦补偿结构和输出端二维同位柔性铰链；所述二维线性运动平台的固定部安装在所述外壳上，所述输入端二维同位柔性铰链下端安装在二维线性运动平台的活动平台上，输入端二维同位柔性铰链的中部插装有一根驱动杆，输出端二维同位柔性铰链布置在外壳的外部，其下端固定在外壳上，另一根驱动杆插装在输出端二维同位柔性铰链的中部，并伸入外壳内，直线解耦补偿结构连接在两根驱动杆之间，以补偿在运动过程中，两个二维同位柔性铰链旋转中心之间的相对距离变化。本发明占用空间小，运动精度高，并具有较高的可行性。
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公开(公告)号：CN114153126A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111541826.5
申请日：2021-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提出了一种基于轴承定心的微型镜面组驱动装置，属于半导体加工设备技术领域。解决了现有的镜面驱动结构尺寸较大，不能在避免运动干涉的问题。它包括底座、微型镜面驱动单元和反射镜，所述微型镜面驱动单元包括第一驱动部件、第二驱动部件、滑块部件、传动部件和定心部件，所述滑块部件设置在底座内部，所述第一驱动部件带动滑块部件沿x轴作线性运动，所述第二驱动部件带动滑块部件沿y轴作线性运动，所述传动部件上部与定心部件相连，所述定心部件通过固定架与底座相连，所述传动部件和定心部件将滑块部件的平面移动转化为反射镜围绕顶部镜面几何中心的旋转运动。它主要用于微型镜面组的驱动。
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