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公开(公告)号：CN102096036A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010571941.2
申请日：2010-12-03
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成三极管阵列电路测试装置，集成三极管阵列电路测试装置包括：一个两层分体式结构的测试盒，下层主要分布单片机、AD转换器、继电器、模拟开关、稳压电源、恒流源、运算放大器和转接口；上层主要分布数码管、开关、选择按键、被测电路夹具、发光二极管、蜂鸣器、通用仪表接口，上下层电路通过转接口连接。测试盒是该装置的核心部分，测试盒下层板主要实现数据采集、数据处理、数据判断、接口功能；测试盒上层板主要实现信号输入输出、判断结果显示、参数测试数据显示、判断步骤显示功能。本发明装置能完成全管子、全参数的单步、自动测试，高温、低温和常温测试。
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公开(公告)号：CN115876439A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202211515348.5
申请日：2022-11-30
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种用于MOEMS扫描微镜的光学偏转角测试方法，包括以下步骤：将不施加驱动信号的MOEMS扫描微镜放置在载台上，将其调整定位并固定，使MOEMS扫描微镜镜面处于水平状态，MOEMS扫描微镜定位位置对应于PSD位置模块标定的0°点；给MOEMS扫描微镜施加驱动信号，使其发生顺逆方向往复偏转；激光器射出光束照射在MOEMS扫描微镜上，经过反射后，由PSD位置模块接收反射的激光，并识别受光点位置，通过数据处理转换得到MOEMS扫描微镜的顺逆光学偏转角。本发明有效测量相对于MOEMS扫描微镜的镜面处于水平状态时顺逆偏转的具体角度，准确评估其镜面偏转情况，同时，还可以快速准确的定位MOEMS扫描微镜，提高整个测试效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112345119A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011024236.0
申请日：2020-09-25
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种半导体晶圆温度标定系统，包括高低温探针平台，以及相互电连接的温度采集器与上位机，标定系统还包括矩阵开关与五只半导体温度传感器，五只半导体温度传感器分别焊接在晶圆表面的五个不同区域；晶圆置于高低温探针平台内，五只半导体温度传感器通过矩阵开关与温度采集器相连；高低温探针台对晶圆由低到高、间隔设置施加一组传导温度；在每个传导温度点，五只半导体温度传感器分别将晶圆自身的五个区域温度通过矩阵开关、温度采集器依次传递至上位机；上位机绘制晶圆各区域高低温探针台的设置传导温度与晶圆自身温度的对应关系图；得到晶圆的温度标定数据。
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公开(公告)号：CN110703065A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201910793428.9
申请日：2019-08-27
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明公开一种EMCCD动态老炼监控系统，包括老炼箱、单片机、电源板卡、驱动板卡、信号采集卡与上位机，老炼箱内设有用于放置EMCCD器件的老炼板卡，老炼板卡上方设有可调节光源；单片机输出接口分别连接驱动板卡与可调节光源，上位机通过单片机控制驱动板卡与可调节光源给放置于老炼板卡的EMCCD器件提供脉冲驱动信号和光信号，同时还向EMCCD器件提供动态成像向量信号、垂直转移信号与水平转移信号；EMCCD器件的输出变化信号通过老炼板卡传输给信号采集卡，信号采集卡将EMCCD器件的输出变化信号反馈给上位机，上位机对接收的信号进行成像显示与数据处理。
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公开(公告)号：CN105004362B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201510375989.9
申请日：2015-06-27
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01D18/00
Abstract: 本发明公开一种电容式传感器静电力驱动装置，包括MCU模块、交流信号发生模块、直流偏压单元、程控放大单元、第一数据采集单元、第二数据采集单元与选择开关，程控放大单元由增益调节单元、第一仪表放大器与第二仪表放大器相连并构成增益可调的同相放大器与反相放大器；MCU模块分别控制交流信号发生模块与直流偏压单元产生交流信号与直流信号，并由增益调节单元进行增益调节；采用数据采集单元获取输入电容式传感器的双路驱动信号，并根据反馈值对同相放大器与反相放大器的输入信号进行调整修正，避免因增益过大或直流偏压不当导致的驱动信号失真现象，能够适应不同电容式传感器的要求，输出满足要求的各种静电力驱动信号，通用性强。
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公开(公告)号：CN103529372A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201310506791.0
申请日：2013-10-24
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开一种MEMES压阻式加速度传感器晶圆自动检验系统，包括固定连接MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)的探针台(8)及与探针台(8)相连的MCU模块(1)，MCU模块(1)外围设有与其相连的计算机(7)、矩阵开关电路(2)与A/D转换模块(5)；矩阵开关电路(2)外围分别连接有电流源电路(3)与信号调理电路(4)，矩阵开关电路(2)还与探针台(8)相连；所述测试装置还包括为MCU模块(1)、矩阵开关电路(2)、电流源电路(3)、信号调理电路(4)与A/D转换模块(5)供电的直流稳压电源(6)；给MEMS压阻式加速度传感器晶圆(9)施加电流源激励，通过MCU模块(1)对传感器晶圆反馈的电信号进行处理，进而将被检测传感器晶圆的性能参数在计算机上进行显示。
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公开(公告)号：CN102096036B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201010571941.2
申请日：2010-12-03
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成三极管阵列电路测试装置，集成三极管阵列电路测试装置包括：一个两层分体式结构的测试盒，下层主要分布单片机、AD转换器、继电器、模拟开关、稳压电源、恒流源、运算放大器和转接口；上层主要分布数码管、开关、选择按键、被测电路夹具、发光二极管、蜂鸣器、通用仪表接口，上下层电路通过转接口连接。测试盒是该装置的核心部分，测试盒下层板主要实现数据采集、数据处理、数据判断、接口功能；测试盒上层板主要实现信号输入输出、判断结果显示、参数测试数据显示、判断步骤显示功能。本发明装置能完成全管子、全参数的单步、自动测试，高温、低温和常温测试。
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