真空排气系统用阀
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100357642C

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200480004084.0

    申请日:2004-02-09

    CPC classification number: F16K7/14 F16K27/003 F16K51/02

    Abstract: 本发明提供一种阀,这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应,并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说,将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件,来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解,从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件,特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。

    等离子体加工设备
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1296975C

    公开(公告)日:2007-01-24

    申请号:CN01142940.2

    申请日:2001-11-30

    CPC classification number: H01J37/32192 H01J37/32211

    Abstract: 一隙缝天线板(7)放置在一用来将微波辐射入一加工腔(13)内的第二电介质(5)上,所述隙缝天线板(7)设置在第二电介质(5)的那一面朝着所述腔室内部(13)的侧面上。隙缝天线板(7)由导体制成,并且包括用来使微波从其中通过以进入腔室内部(13)的各隙缝(7a)。以此方式,可以提供一种藉助微波来产生等离子体的等离子体加工设备,所述等离子体加工设备能对用于待加工材料的离子辐射能很方便地进行调节,以在所述材料的平面内对所述材料进行均匀的等离子体加工。

    真空排气系统用阀
    30.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1748102A

    公开(公告)日:2006-03-15

    申请号:CN200480004084.0

    申请日:2004-02-09

    CPC classification number: F16K7/14 F16K27/003 F16K51/02

    Abstract: 本发明提供一种阀,这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应,并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说,将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件,来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解,从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件,特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。

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