公开(公告)号：CN107923554B

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN201680049671.4

申请日：2016-07-25

申请人： VAT控股公司

发明人： 弗洛里安·恩尔奈 ,  马丁·内策尔

IPC分类号： F16K51/02 ,  F16K3/18

CPC分类号： F16K3/18 ,  F16K3/0281 ,  F16K3/029 ,  F16K3/3165 ,  F16K51/02

摘要： 总和。一种真空阀，包括：阀壳体(1)，该阀壳体带有内腔(2)和第一与第二阀开口(3、4)；设置在阀壳体(1)的内腔(2)中的关闭单元(10)，该关闭单元具有第一板(11)、第二板(12)、设置在第一板轮对和至少一个弹簧(30、31)，这些滚轮对分别由第一扩张滚轮(14)和第二扩张滚轮(15)构成。在所述滚轮支架(13)平行于移动方向(16)从打开位置移动至中间位置时，第一和第二板(11、12)被滚轮支架(13)带动，在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二板(11、12)沿移动方向(16)的进一步移动被锁止。在滚轮支架(13)从中间位置移动至关闭位置时，第一和第二扩张滚轮(14、15)沿着内凹(23)的上升的边沿(23a)移动，在这种情况下，第一和第二板(11、12)平行于扩张方向(22)彼此分开。相应滚轮对的第一和第二扩张滚轮(14、15)的转动轴(28、29)参照移动方向(16)彼此错开，并参照扩(11)与第二板(12)之间的滚轮支架(13)、多个滚

公开(公告)号：CN105580106B

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201480053210.5

申请日：2014-09-25

申请人： 应用材料公司

发明人： 布莱恩·威德

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： F16K51/02 ,  F16K1/42 ,  F16K3/0209 ,  F16K27/044 ,  H01L21/67126 ,  Y10T137/7062

摘要： 提供种改进的隔离阀,以及用于隔离阀的可移除式屏蔽插入组件。在个实施方式中,提供用于隔离阀的屏蔽插入组件,屏蔽插入组件包含形状为平环的石墨第屏蔽插入件。第屏蔽插入件具有圆形外径。形成穿过第屏蔽插入件的长孔。形成穿过第屏蔽插入件的至少两个紧固件孔,紧固件孔配置为将第屏蔽插入件耦接至第屏蔽支撑件。

公开(公告)号：CN105008779B

公开(公告)日：2018-06-12

申请号：CN201480005081.2

申请日：2014-01-16

申请人： (株)尤恩爱搜路斯 ,  慎敬顺

发明人： 徐晙荣

IPC分类号： F16K17/22

CPC分类号： F16K3/316 ,  F16K3/0218 ,  F16K3/0281 ,  F16K3/188 ,  F16K51/02

摘要： 本发明涉及一种回压关断阀，该回压关断阀在维持应用于半导体及LCD等的半导体制造过程或化学产品制造过程等的一定压力或者将气体等流体的流动维持正方向的配管系统突然发生大气流入或流体反向流动现象时迅速地关断而能够予以防止，更具体地说，涉及如下的滑动式回压关断阀：其包括：阀主体，其由流体流入部、流体流出部及流体通过空间部构成；移送体，其上部安装了所述流体回压时关断流体流动的关断板，且在回压关断时，该移送体向所述流体通过空间部水平移动；以及移送体移动单元，其使所述移送体水平移动，平时由于阀的流体空间通路没有阻碍物而像直管一样地不妨碍流体的流动，当配管内发生回压时所述移送体水平移动到关断位置，在所述关断位置，安装在所述移送体的关断板浮起而关断流体的流动，从而在发生粉末的制程也能顺利地运行。

公开(公告)号：CN107921186A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680048948.1

申请日：2016-08-29

申请人： 梅德拉控股公司

发明人： 雷蒙德·霍尔茨

IPC分类号： A61M1/06

CPC分类号： A61M1/062 ,  A61M1/0035 ,  A61M1/06 ,  A61M39/22 ,  F16K51/02 ,  G05D16/06

摘要： 本公开涉及一种用于设计成从哺乳期母亲抽取乳汁的真空泵系统的机械过真空安全系统和方法。所述过真空安全系统包含至少一个机械安全阀，所述至少一个机械安全阀配置成在过真空条件情况下减小所述泵系统中的真空。所述机械安全阀能够响应于例如范围在负350mmHG到负300mmHG之间的过真空条件的特定真空范围而自动启动。所述机械安全阀能够允许通过折叠进行流体流送。

公开(公告)号：CN105745478B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201480060565.7

申请日：2014-11-06

申请人： MKS ,  仪器公司

发明人： Y·顾 ,  M·C·格鲁

IPC分类号： F16K1/16 ,  B01D53/00

CPC分类号： B08B9/0321 ,  B08B9/00 ,  C23C16/4412 ,  F16K1/22 ,  F16K27/02 ,  F16K27/0218 ,  F16K27/0263 ,  F16K51/02 ,  Y10T137/0419 ,  Y10T137/4259

摘要： 节流阀(10)中的粉末和沉积物控制包括阀体(32)中的形成环形集气室(46、146)的喷嘴插件(50、150)，及用于以与该阀体(32)的内壁表面(31)相邻的方式喷射清洁气体的环形流(54、154)的环形喷嘴(52、152)，用于将粉末和沉积物从该阀体(32)中的表面及从该节流阀(10)的关闭构件(14)清洁出去。该清洁气体的环形流(54、154)可以是间歇的、周期性的或呈脉冲喷发的形式或处于稳态流速，以将粘附到该节流阀(10)的内表面的粉末颗粒剥离掉，以蚀刻或反应性地清洁固态沉积物，或以防止或减少粉末颗粒或固态沉积物在该节流阀(10)中的累积。

公开(公告)号：CN107429857A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680019045.0

申请日：2016-03-07

申请人： VAT控股公司

发明人： 克里斯托夫·伯姆 ,  罗曼·斯特芬

IPC分类号： F16K31/528 ,  F16K51/02 ,  F16K3/02 ,  F16K3/18 ,  F16K31/04

CPC分类号： F16K3/184 ,  F16K3/0218 ,  F16K31/043 ,  F16K31/047 ,  F16K31/5286 ,  F16K51/02

摘要： 一种真空阀，包括：封闭件(4)，该封闭件可平行于纵向移位方向(14)在打开位置与中间位置之间移位，该封闭件在打开位置将阀开口(2)释放，该封闭件在中间位置遮盖阀开口(2)，但从阀座(5)提升离开，并且，该封闭件可平行于横向移位方向(15)在中间位置与关闭位置之间移位，该封闭件在关闭位置贴靠在阀座(5)上；承载着封闭件(4)的阀杆(9)，该阀杆可平行于纵向移位方向(14)以及平行于横向移位方向(15)移动地安置；与阀杆(9)刚性地连接的移动部件(13)；和驱动电动机(25、26)，为了使得封闭件(4)在打开位置、中间位置和关闭位置之间移位，由该驱动电动机可使得传动轴(21、22)围绕平行于纵向移位方向(14)的旋转轴线(23)转动。传动轴(21、22)在第一区段中具有纵向移动凸轮传动机构的纵向移动凸轮件(31)，且在第二区段中具有横向移动凸轮传动机构的横向移动凸轮件(33、34、43)，为了使得封闭件在打开位置与中间位置之间移位，该纵向移动凸轮件与纵向移动凸轮传动机构的纵向移动接合件(32)配合作用，为了使得封闭件在中间位置与关闭位置之间移位，该横向移动凸轮件与横向移动凸轮传动机构的横向移动接合件(35、36、44)配合作用。

公开(公告)号：CN107407443A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680014901.3

申请日：2016-02-19

申请人： VAT控股公司

发明人： 弗洛里安·恩尔奈

IPC分类号： F16K51/02 ,  F16K3/18

CPC分类号： F16K51/02 ,  F16K3/18

摘要： 一种真空阀，该真空阀包含有阀体(1)，该阀体具有由阀座(5)围绕的阀开口(2)，该阀开口具有轴线(3)，该真空阀还包含有关闭机构(4)，该关闭机构可以平行于纵向移动方向(16)在打开位置与中间位置之间移动，其中在打开位置中其露出该阀开口(2)，在中间位置中其覆盖该阀开口(2)但从阀座(5)上取下，并且该关闭机构可以平行于横向移动方向(30)在中间位置和关闭位置之间移动，其中在关闭位置中其位于该阀座(5)上，该真空阀还包含有承载该关闭机构(4)的阀杆(9)、纵向行程线性导向装置(13)，纵向行程线性导向装置具有与该阀杆(9)相连接的纵向行程滑块(14)和纵向行程导向部件(15)，其中纵向行程滑块(14)由纵向行程导向部件在纵向移动方向(16)线性可偏移地导向，该真空阀还包含有横向行程线性导向装置(17)，横向行程线性导向装置包含有与纵向行程导向部件(15)相连接的横向行程滑块(18)和横向行程导向部件(19)，其中横向行程滑块(18)由横向行程导向部件在于纵向移动方向(16)相倾斜的倾斜移动方向(20)上线性可偏移地导向。

公开(公告)号：CN106499873A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201710022669.4

申请日：2017-01-12

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  合肥京东方光电科技有限公司

发明人： 钟亮 ,  韩勉 ,  刘轩 ,  方锦国 ,  刘祖宏 ,  董康旭 ,  毛晓伟 ,  项文斌

IPC分类号： F16K51/02

CPC分类号： F16K51/02

摘要： 本发明涉及真空反应装置技术领域，公开一种真空阀门及真空设备，其中，真空阀门用于连接于真空设备中相互邻接且贯通的两个真空腔室之间；该真空阀门包括：呈方形设置的密封壳体，壳体相对的两个侧壁上分别设有门型开口，两个门型开口相对设置；位于壳体内的门体，该门体可分别与两个门型开口开关配合；传动模块，用于：驱动门体在两个侧壁之间水平移动、以实现门体在两个门型开口之间的切换；以及，驱动门体沿侧壁的延展方向运动、以实现门体与侧壁上的门型开口之间的开关配合。上述真空阀门中，在对一侧门型开口的密封圈进行清理和更换操作时，不会影响另一侧门型开口所连通的真空腔室的工作；因此，该真空阀门可以提高真空设备的稼动率。

公开(公告)号：CN106286975A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201510295014.5

申请日：2015-06-02

申请人： 上海万泰汽车零部件有限公司

发明人： 胡志恒

IPC分类号： F16K51/02 ,  F16K31/122 ,  B22D17/22 ,  B22D17/20

CPC分类号： F16K51/02 ,  B22D17/20 ,  B22D17/22 ,  F16K31/122

摘要： 本发明涉及铝基合金的压力铸造领域，具体为一种用于压铸的抽芯式真空阀及其使用方法。一种用于压铸的抽芯式真空阀，包括动模块(1)和阀杆(2)，其特征是：还包括阀头(3)、压紧块(8)，阀杆(2)设于管道(11)内；阀头(3)开有连接孔以及和连接孔贯通的抽气孔(31)；阀杆(2)的后杆套设于阀头(3)的连接孔内，阀杆(2)的前杆设有排气口，阀杆(2)的后杆通过压紧块(4)抵住阀头(3)连接孔的孔壁。一种用于压铸的抽芯式真空阀的使用方法，其特征是：按如下步骤依次实施：压铸准备；压射；冷却开模；复用。本发明排气截面积大，铸件质量高。(4)、后座(5)、油缸支座(6)、连接块(7)和油缸

公开(公告)号：CN104321569B

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201380018569.4

申请日：2013-04-08

申请人： 普利西斯株式会社

发明人： 池晨瑛

IPC分类号： F16K3/18 ,  F16K51/02 ,  H01L21/02

CPC分类号： F16K3/184 ,  F16K31/122 ,  F16K31/52475 ,  F16K51/02 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/67742

摘要： 本发明涉及一种闸阀(100)，其特征在于，所述闸阀包括：阀片(120)，在阀壳(110)能够密封开口部(112)；阀杆(130)，连接于所述阀片(120)，能够进行上下及水平运动；导座(140)，连接于所述阀壳(110)的外侧；L动作块(L‑Motion Block)(150)，结合并连接于所述阀杆(130)，在两侧面设置有导辊(151)；驱动块(160)，设置于所述导座(140)内部；驱动杆结合辊(172)，设置于所述阀杆(130)的下侧末端；驱动杆(170)，其形成有随着朝向下方而向密封方向(c)倾斜的驱动杆倾斜槽(171)，并且所述驱动杆结合辊(172)被插入而被引导；弹性提供单元(175)，设置于所述L动作块(L‑Motion Block)(150)与所述驱动杆(170)之间以提供弹力；上下驱动单元(180)，用于上下驱动所述驱动杆(170)。