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公开(公告)号：CN111580205B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010488461.3
申请日：2020-06-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种适用于54度～62度入射使用的宽谱脉宽压缩光栅，包括衬底以及所述衬底上的弦形光栅结构。所述弦形光栅结构的外形轮廓可由特定公式进行定义。所述的弦形光栅结构包括光敏材料光栅层和覆盖在光敏材料光栅层上的金属层。所述光栅的周期Λ为600～750纳米，占空比f1为0.4～1。所述弦形光栅层结构的槽深h为170～260纳米。所述金属层材料为金或者银(Au/Ag)，其厚度为100～220纳米。本发明的光栅中心波长为910纳米，在入射角θ为大角度54度～62度入射时，光栅的TM偏振光的‑1级衍射效率在200纳米(810～1010纳米)以上带宽范围内大于90％。本发明中的脉宽压缩光栅在拍瓦级啁啾脉冲压缩技术中具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN110879433B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201911167157.2
申请日：2019-11-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法，包括步骤：(1)曝光面进行精抛光；采用双束紫外平行光形成的干涉条纹对PTR玻璃进行曝光；采用450‑550℃的温度进行热显影；沿垂直于曝光入射面方向切割；对切割面精抛光处理后镀上对使用波长λ使透过率大于99.5％的全介质减反膜，完成反射式体光栅的制备。本发明通过调节曝光角度θ可实现对使用波长的调控，通过对曝光时长、热处理温度和时长实现对反射式体光栅的衍射效率(10％～99％)进行调控，通过切割厚度(0.3mm～30mm)调控实现对光谱半高宽(0.02nm～1nm)进行调控。通过工艺参数调节实现自由调控，且有利于实现规模化量产。
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公开(公告)号：CN111769425A
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN202010580234.3
申请日：2020-06-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于1064纳米波段的全介质反射式光谱合束光栅，由上而下依次是三明治结构光栅层、位相匹配层和高反射层构成。本发明具有易于制备、偏振无关、宽带、高衍射效率的特点，可以使无偏激光在80纳米(1030纳米-1100纳米)波长带宽内的-1级衍射效率高于97.5％；在40纳米(1042纳米-1082纳米)波长带宽内的-1级衍射效率高于99％。本发明在高功率、高能激光光谱合束以及激光脉冲压缩等领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号：CN110736561A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201911012197.X
申请日：2019-10-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光系统中反射光学元件的制备及其测温方法，反射光学元件的制备包括步骤：在基底材料上利用磁控溅射镀制一层VO2相变薄膜；在VO2相变薄膜上镀制高反膜。由于VO2的相变特性，反射光学元件的透过率会随温度发生变化，高功率激光系统中测温方法包括利用接触式测温的方法测试反射光学元件在某一波长处透过率随温度变化的曲线；高功率激光系统中，增加该波长的探测激光入射至反射光学元件表面的辐照区域，并利用功率计测试探测激光的透过率；结合上述透过率随温度变化曲线利用透射率计算光学元件的表面温度。本发明相比红外热像仪测温的方法不仅成本较低，而且可以高精度的测试光学元件表面微米深度的温度变化。
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公开(公告)号：CN108873316A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810746871.6
申请日：2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多块多通道复用体布拉格光栅级联角度偏转器，构成是：沿入射光方向依次是第1块复用体布拉格光栅的前表面的第1增透膜、第1块复用透射式体布拉格光栅、第2块复用透射式体布拉格光栅、…、第N块复用透射式体布拉格光栅和第N块复用透射式体布拉格光栅的后表面的第2增透膜，N为2以上的正整数。所包含的所有光栅通道的最小偏转角度从小到大依次级联。本发明提高了入射光束的绝对衍射效率，具有性能优越，结构简单，可大批量生产，在激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119148273A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411130596.7
申请日：2024-08-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种反射式全介质二维平面计量光栅，其特征在于该光栅由下而上依次分别是光栅基底、周期膜系、位相匹配层和顶部二维光栅层，相邻膜层高低折射率交替堆叠。本发明全介质二维平面计量光栅具有偏振不敏感、高化学稳定性和长使用寿命等特点，适用于浸没式曝光条件下的平面光栅测量系统。
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公开(公告)号：CN114815025A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210596749.1
申请日：2022-05-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种大占宽比亚波长周期光栅结构制备方法，采用Bosch刻蚀技术在硅衬底上制备出侧壁带有锯齿状结构的光栅母版，使用纳米压印技术将光栅母版结构转移到压印胶中，然后采用镀膜技术沉积一层薄膜材料作为掩膜，最后通过lift‑off工艺将压印胶图形剥离并形成大占宽比光栅结构。本发明利用Bosch刻蚀技术形成的光栅侧面锯齿状结构替代传统负性光刻胶的倒梯形结构，避免了因镀膜过程中薄膜材料对光栅结构的包裹导致的lift‑off剥离困难问题，并解决了因负性光刻胶光刻胶分辨率不足导致的大占宽比、亚波长周期光栅结构制备难题，为大占宽比、亚波长周期光栅结构的制备提供了一种新的思路。
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公开(公告)号：CN114464336A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210089312.9
申请日：2022-01-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种金属网格支撑结构、多层膜透射滤光元件及制备，所述支撑结构包括金属网格(1)和填充物(2)，所述金属网格(1)中规则分布圆柱形通孔(3)，所述填充物(2)填充在通孔(3)中。所述多层膜透射滤光元件包括金属网格(1)以及镀覆在金属网格(1)上的多层膜(5)。与现有技术相比，本发明的金属网格结构稳定且易于制备，有效提高多层膜滤光元件的通光面积占比，优化过滤性能，更有利于极紫外和X射线波段的透射率。同时，多层膜结构有效的改善应力和表面针孔结构的存在，有效提升机械性能和环境稳定性。
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公开(公告)号：CN111854291A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010704210.4
申请日：2020-07-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高效主动换热光谱合束光栅集成化模块及其制备方法，整个模块包括光栅结构层、光栅基板、微通道冷却层、导流层、密封板和冷却液进出口部分组成，首先利用高热导、低膨胀材料制备光栅基板、微通道冷却层和密封板，然后利用共晶焊料在真空焊炉中将所有部件焊接在一起并进行退火处理，随后对光栅基板再次抛光修正其面形，并最终在其表面完成合束光栅结构制备。本发明解决了传统的冷却方案因冷却模块和合束光栅相互独立而导致的整个光栅冷却模块装配复杂、体积大、重量重、冷却效果不理想的问题，十分有利于高功率光谱合束系统的小型化、轻量化。
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公开(公告)号：CN108873316B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810746871.6
申请日：2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多块多通道复用体布拉格光栅级联角度偏转器，构成是：沿入射光方向依次是第1块复用体布拉格光栅的前表面的第1增透膜、第1块复用透射式体布拉格光栅、第2块复用透射式体布拉格光栅、…、第N块复用透射式体布拉格光栅和第N块复用透射式体布拉格光栅的后表面的第2增透膜，N为2以上的正整数。所包含的所有光栅通道的最小偏转角度从小到大依次级联。本发明提高了入射光束的绝对衍射效率，具有性能优越，结构简单，可大批量生产，在激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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