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公开(公告)号:CN113881926B
公开(公告)日:2022-06-28
申请号:CN202111123009.8
申请日:2021-09-24
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种提升光学薄膜沉积精度的方法,包括以下步骤:1)选取敏感度最低的膜层结构进行制备;2)镀膜;3)通过光性反演技术得到膜层结构在实际制备过程中存在的偏差;4)考虑膜层制备偏差后,重新修改设计膜层厚度,并进行第二次镀膜;5)制备得到光性曲线与设计光性高度吻合的薄膜。本发明通过选择低敏感度膜层结构、光性反演、厚度误差修正,提高光学薄膜在制备过程中的准确性和稳定性,得到沉积精度更高的光学薄膜元件。
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公开(公告)号:CN112733375B
公开(公告)日:2022-05-31
申请号:CN202110056317.7
申请日:2021-01-15
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G06F30/20
摘要: 一种基于多波长效应下的薄膜元件时域动态电场仿真方法,包括:计算单波长的时域动态电场,测试实际入射的激光脉宽和光谱,在波长域上对各频率分量的时域电场进行叠加。本方法能够弥补传统膜系设计软件电场计算的不足,准确得到薄膜元件在超短激光脉冲作用下的实际电场分布,为后续设计高抗损伤性能的薄膜元件提供了有效的分析模型。
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公开(公告)号:CN113881926A
公开(公告)日:2022-01-04
申请号:CN202111123009.8
申请日:2021-09-24
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种提升光学薄膜沉积精度的方法,包括以下步骤:1)选取敏感度最低的膜层结构进行制备;2)镀膜;3)通过光性反演技术得到膜层结构在实际制备过程中存在的偏差;4)考虑膜层制备偏差后,重新修改设计膜层厚度,并进行第二次镀膜;5)制备得到光性曲线与设计光性高度吻合的薄膜。本发明通过选择低敏感度膜层结构、光性反演、厚度误差修正,提高光学薄膜在制备过程中的准确性和稳定性,得到沉积精度更高的光学薄膜元件。
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公开(公告)号:CN113758947A
公开(公告)日:2021-12-07
申请号:CN202110917742.0
申请日:2021-08-11
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G01N23/00
摘要: 本发明属于航天器空间环境效应试验技术领域,具体涉及一种电离总剂量诱导航天器舱内分子污染的试验装置与方法。该方法提出了一种真空、温度、空间辐射多因素诱发污染在光学器件表面沉积的试验装置,以及舱内敏感光学材料表面分子污染的试验和评价方法,可以快速确定电离总剂量效应对舱内敏感材料的分子污染效应的影响和机理,对航天工程的材料选择和在轨性能评估提供了帮助。
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公开(公告)号:CN111722311A
公开(公告)日:2020-09-29
申请号:CN202010729510.8
申请日:2020-07-27
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 复合功能色散镜结构,其中色散镜结构由下到上依次为基底、增透结构单元、色散补偿结构单元,其中增透结构单元包括增透腔和第一高反层,色散补偿结构单元包括G-T腔和第二高反层,基本表达式:G/[(HxL)^m(HL)^a]^p[(HyL)^n(HL)^b]^q。本发明通过增透结构单元取代标准镜的高反射膜层,G-T腔与增透腔形成串联形式,调节G-T腔和增透腔的周期数以及腔厚度,设计不同色散量、反射率以及带宽的高色散镜,并且作为谐振腔的输出镜,能够在实现泵浦波长高透的同时,在激光响应波段保持一定的反射率且具备色散补偿功能,结构更加简单紧凑。
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公开(公告)号:CN111221063A
公开(公告)日:2020-06-02
申请号:CN202010063287.8
申请日:2020-01-20
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G02B5/08
摘要: 本发明提出一种中红外宽带高反射超快激光薄膜,其结构由下而上分别是基底材料G,过渡层M1,金属膜层M,过渡层M2,啁啾介质膜系C,空气层A。本发明的目的是为了扩宽中红外色散镜的反射带宽和提高反射率。所述金属膜层为单层金属膜,目的是为了提供宽反射带宽和保证一定的反射率,所述的啁啾介质膜系结构由高低折射率材料交替沉积组成,啁啾介质膜系能够提供色散补偿并且提高反射率。本发明利用金属优异的反射带宽,结合啁啾介质膜系的色散补偿作用,设计中红外超快激光器中用于脉冲压缩的超宽带高反射色散镜。
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公开(公告)号:CN105973849B
公开(公告)日:2018-08-14
申请号:CN201610529562.4
申请日:2016-07-07
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号: G01N21/59
摘要: 一种光学材料损耗的测量装置和测量方法,本发明通过测量仅厚度不同的样品组在同一入射角下的透过率差异来去除表面损耗的影响,从而获得样品的材料损耗。测量时通过消除光束偏移和表面缺陷影响提高测量精度。通过增加样品的组数,提高整体损耗量,同时利用锁相放大技术抑制噪声,提高信噪比,从而进一步提高材料损耗的测量精度。本发明装置和方法具有结构简易、调整方便和精度较高的特点。
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公开(公告)号:CN101435767B
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN200810204471.9
申请日:2008-12-12
申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要: 一种应用于大口径激光薄膜的薄膜吸收多通道测量装置及其测量方法,该装置由激励激光器、探测激光器、激励光衰减器、第一电子快门、激励光透镜组、探测光衰减器、反射镜、第二电子快门探测光衰减器、探测光透镜组、样品夹具、步进电机、滤波片、聚焦透镜、面阵CCD相机、快门驱动器、图像采集卡、数据卡以及计算机组成,本发明具有测量准确、快速、高效、运行稳定和数据处理自动化的特点。
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