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公开(公告)号：CN119148273A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411130596.7
申请日：2024-08-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种反射式全介质二维平面计量光栅，其特征在于该光栅由下而上依次分别是光栅基底、周期膜系、位相匹配层和顶部二维光栅层，相邻膜层高低折射率交替堆叠。本发明全介质二维平面计量光栅具有偏振不敏感、高化学稳定性和长使用寿命等特点，适用于浸没式曝光条件下的平面光栅测量系统。
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公开(公告)号：CN118732111A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410998742.1
申请日：2024-07-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于球面波干涉体全息光栅结构的角度放大器，所述的球面波干涉体全息光栅的光栅矢量在通光面上不同的位置有着不同的大小和方向，并且满足特定的表达式。本发明采用球面波干涉体全息光栅作为光束角度放大器件，结构简单，无需堆叠或复用即可实现偏转角度的连续放大，且具有低损耗、偏振无关、无源工作的特性。本发明可以与多种光束偏转器配合使用以提升角度偏转的能力，且对多种全息记录材料都有良好的兼容性，是理想的非机械式角度放大器件，在激光光束偏转技术领域具有良好的实用前景。
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公开(公告)号：CN119002147A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410665068.5
申请日：2024-05-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于非对称Treacy压缩器构型的反射式巨色散量啁啾平面光栅脉冲展宽器，即第一光栅与第二光栅互相平行放置，第三光栅与第四光栅互相平行放置。其中，所述的第一光栅和第四光栅是光栅周期恒定的光栅，所述的第二光栅和第三光栅是光栅周期变化的啁啾平面光栅。与Martinez展宽器或Offner展宽器相比，在等量光栅间距的条件下，所述的反射式巨色散量啁啾平面光栅脉冲展宽器能够提供更巨量的正色散以对入射光实现更显著的脉宽展宽。调整所述的第二光栅和第三光栅的光栅周期范围、第三光栅的有效区域宽度、位置和第四光栅的位置，可实现所述的反射式巨色散量啁啾平面光栅脉冲展宽器输出色散的调节。本发明提出的结构与涉及原理简单，所提供的技术方案能够有力支撑脉冲展宽器产生巨量色散，进而实现对入射光脉冲宽度的显著展宽。
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公开(公告)号：CN114879293A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210388807.1
申请日：2022-04-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 兼容大方位角、超400nm带宽大底宽小尖角金属脉冲压缩光栅，包括光栅参数优化设计和制备工艺。所述的光栅其底宽占比需大于0.6，形状因子为0.5～2.5，槽深为160～250nm，线密度为1300～1650g/mm。所述的制备工艺包括基底清洗、涂胶、烘烤、曝光、显影和金属膜镀制。本发明的宽带高效率光栅具有大底宽小尖角结构，在正负15或20°的大方位角内，TM偏振光以‑1级Littrow角入射时，光栅在超400nm带宽内效率超过90％。本发明的光栅及相关工艺参数可支撑数百拍瓦单周期脉冲压缩光栅储备。
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公开(公告)号：CN112327398B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202011311195.3
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出了一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法。本发明根据入射光束锥角设计样品架，使用该样品架对样品进行曝光，曝光后使用马弗炉对样品进行热处理，热处理后将样品前后表面抛光，在样品前后表面镀制1064nm标准增透膜，制成矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器。本发明方法可对记录在样品中的体布拉格光栅进行矢量补偿，使锥角入射光束满足布拉格条件，可以有效提高体布拉格光栅角度偏转器对于锥角入射光束的衍射效率，应用于二维光束扫描系统中可实现高效率的二维方向的光束扫描，具有制备方法简单，可大批量生产的优点，在二维激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117406328A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311626430.X
申请日：2023-11-30
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 中长波红外波段的火山状衍射光栅及其制造方法，包括光栅衬底上的火山状光栅结构和外部反射层，所述火山状光栅结构由特定的结构函数描述，是一种新的全息式衍射光栅结构。该结构能够提供宽光谱和高效率的衍射光栅，在中长波红外波段具有通用性，在中长波红外脉冲压缩、光谱合束和光谱仪等领域具有重要的研究和应用价值。
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公开(公告)号：CN117233878A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311151009.8
申请日：2023-09-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于光学技术领域，公开了一种弯曲叉形光栅结构，所述的弯曲叉形光栅中，所有处于各自周期相同相对位置的点所构成的曲线呈弯曲叉形分布，以使照射在弯曲叉形光栅的入射光转变为贝塞尔高斯光。本发明提供的弯曲叉形光栅相比于现有技术中获得贝塞尔高斯光的方法，光路更为简单，适用于宽波段。这种弯曲叉形可通过各种光栅实现，如金属光栅、介质光栅、或金属介质混合光栅，同时不影响它们的本征特性，如衍射效率、使用波段、衍射角度、偏振特性等，仅使衍射光场携带高阶贝塞尔相位。
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公开(公告)号：CN116449472A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310262902.1
申请日：2023-03-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种用于脉冲压缩金光栅衍射效率带宽拓展的方法，其特征在于利用光栅镀膜的自遮挡效应和超短脉冲激光辐照的局部熔化，对光栅脊迎光面结构进行调控。包括以下步骤：光栅掩模制备、磁控溅射金膜镀制生成槽底凸起结构、构建光栅槽形和衍射效率与镀膜参数数据集、超短脉冲激光辐照、构建光栅槽形和衍射效率与辐照参数数据集、激光二维平面扫描光栅。本发明的可以精密调控光栅槽底的凸起结构、斜面结构，使原光栅的高衍射效率区向短波处拓展。本发明的方法兼容全息干涉光刻金光栅的全套工艺，产品口径可拓展至米级，在高能激光领域具有重要的经济和实用价值。
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公开(公告)号：CN112327398A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011311195.3
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出了一种矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器的制备方法。本发明根据入射光束锥角设计样品架，使用该样品架对样品进行曝光，曝光后使用马弗炉对样品进行热处理，热处理后将样品前后表面抛光，在样品前后表面镀制1064nm标准增透膜，制成矢量补偿体布拉格光栅角度偏转器。本发明方法可对记录在样品中的体布拉格光栅进行矢量补偿，使锥角入射光束满足布拉格条件，可以有效提高体布拉格光栅角度偏转器对于锥角入射光束的衍射效率，应用于二维光束扫描系统中可实现高效率的二维方向的光束扫描，具有制备方法简单，可大批量生产的优点，在二维激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号：CN118707780A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410665060.9
申请日：2024-05-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种巨色散量全啁啾平面光栅脉冲压缩装置，包括色散发生器、由两块平行放置的光栅周期变化的啁啾平面光栅组成的光栅对、光束反射系统。色散发生器能够在不引入相位差的基础上使待压缩光束的各光谱分量在空间上分离并平行出射，由啁啾平面光栅组成的光栅对可显著增加各光谱分量间的光程差，光束反射系统的配合使用可令光束原路返回，有助于构建结构紧凑的脉冲压缩器。在与传统脉冲压缩器具有等量光栅间距的前提下，本发明能够引入更显著的相位差，输出量值更高的色散，进而展现出更优越的脉宽压缩性能，因此本发明提供的技术方案有效促进高性能脉冲压缩器的发展。
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