-
公开(公告)号：CN102674004A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210061866.4
申请日：2012-03-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种基板浮起搬送方法，使浮起台中的基板的浮起高度和姿势最优化，并改善浮起用高压气体的消耗效率。该抗蚀剂涂敷装置中的浮起台(10)，在搬送方向上将在涂敷区域(MCT)的前后延伸的搬入区域(MIN)和搬出区域(MOUT)的浮起面各自划分为多个浮起区域。在这些浮起面配置有多个喷出口(12)。各个浮起区域中的高压气体的喷出压力通过喷出压力控制部能够进行独立地变化或者开启·关闭控制。
-
公开(公告)号：CN102358516A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110164551.8
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , C03C17/00
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
-
公开(公告)号：CN102161026A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110044887.0
申请日：2011-02-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板输送装置。其中，涂覆装置能够在装置内随时或适时地、自动且有效率地去除上浮工作台上的吸引口的堵塞。在上浮工作台吸引口扫除动作中，控制器在将与涂覆处理相关的动作暂时全部设为停止状态后使第2供气部工作。通过使第2供气部工作，从而将来自正压气体供应源的空气(压缩空气)经由第1供气管线和第2歧管(64)而送入到涂覆区域内的各吸引口(18)。在发生了堵塞的吸引口(18)中，利用来自第2歧管(64)侧的空气压力而将夹入在气体通路(18a)中的异物(Q)以挤出的方式朝上方排出。这时，由于第1供气部(44)也工作，因此不必担心由吸引口(18)排出的异物(Q)进入到附近的喷出口(16)中。
-
公开(公告)号：CN101211756A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710160567.5
申请日：2007-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G49/00 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种浮起搬送式的基板处理装置。从搬送方向(X方向)看，在台(80)的左右两侧沿搬送方向分别以成一列的方式以一定间距配置有多个滚轮或侧面滚轮(110)。在台(80)上，基板(G)利用从正下方(台上面)的喷出口(100)获得的气体的压力浮在空中，同时其左右两侧端部搭载在台两侧的侧面滚轮(110)的上面。通过侧面滚轮(110)的旋转运动，在台(80)上浮起的基板(G)在侧面滚轮(110)上辗转传送并向搬送方向(X方向)平流移动。
-
公开(公告)号：CN101107186A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002991.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109923639B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
-
公开(公告)号：CN113257732A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110152066.2
申请日：2021-02-03
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供使基板的定位精度提高的基板定位装置、基板定位方法以及接合装置。本公开的基板定位装置具备保持部和旋转机构。保持部保持基板。旋转机构使保持部旋转。另外，旋转机构具备旋转轴部、轴承部、基座部、驱动部、以及阻尼机构。旋转轴部固定于保持部。轴承部以未接触状态支承旋转轴部。基座部固定轴承部。驱动部使旋转轴部旋转。阻尼机构包括与基座部连接的轨道和与旋转轴部连接的滑动件，利用在轨道与滑动件之间产生的阻力产生针对旋转轴部与基座部之间的相对动作的阻尼力。
-
公开(公告)号：CN109923639A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780069249.X
申请日：2017-10-10
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/02 , B23K20/00 , H01L21/683
Abstract: 将基板彼此接合的接合装置具有：第一保持部，其对第一基板进行抽真空来将该第一基板吸附保持于所述第一保持部的下表面；第二保持部，其设置于该第一保持部的下方，对第二基板进行抽真空来将该第二基板吸附保持于所述第二保持部的上表面；旋转机构，其使第一保持部与第二保持部相对旋转；移动机构，其使第一保持部与所述第二保持部沿水平方向相对移动；三个位置测量部，所述三个位置测量部设置于通过旋转机构进行旋转的第一保持部或第二保持部，并且测量该第一保持部或第二保持部的位置；以及控制部，其基于该三个位置测量部的测量结果来控制旋转机构和移动机构。
-
公开(公告)号：CN102671821B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201210050161.2
申请日：2012-02-29
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供悬浮式涂敷装置。本发明的课题是以短时间简便地进行可分解的悬浮台的再组装作业中的高度调整。在该抗蚀剂涂敷装置的悬浮台(10)，出口侧的工作台块(SBa)通过多个支柱(18)和调节器(20)被安装在能够独立输送的台座(FLA)上。中间的三个工作台块(SBb)、(SBc)、(SBd)通过多个支柱(22)、(24)、(26)和调节器(28)、(30)、(32)被分别安装在能够独立输送的台座(FLB)上。出口侧的工作台块(SBe)通过多个支柱(34)和调节器(36)被安装在能够独立输送的台座(FLC)上。
-
公开(公告)号：CN102358516B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201110164551.8
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , C03C17/00
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
35
records
(took 0.022 seconds)
