一种含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼计算方法

    公开(公告)号:CN117454592A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311230706.2

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明涉及一种含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼计算方法,该方法为:将位于MEMS器件中心位置处的中心凸起表面压膜阻尼力与相同位置不含凸起结构时的压膜阻尼力相减,得到中心凸起对MEMS器件整体压膜阻尼造成的增量,用该增量近似表示平均每个凸起结构产生的压膜阻尼增量,并与MEMS器件所含凸起总数相乘得到所有凸起结构产生的总压膜阻尼增量,将不含任何凸起结构的MEMS器件压膜阻尼与总压膜阻尼增量相加得到含微凸起结构MEMS器件的总压膜阻尼值;该计算方法简单高效,能够在保证计算效率的同时精确计算含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼,精准预测此类MEMS结构的动态性能,大大节省计算时间和设计成本。

    一种含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼计算方法

    公开(公告)号:CN117395582A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311230661.9

    申请日:2023-09-22

    Abstract: 本发明涉及一种含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼计算方法,包括:固定平板上均匀打满孔隙结构时,计算固定平板受到的压膜阻尼力Ff;固定平板上不含任何孔隙结构时,计算固定平板受到的压膜阻尼力Fp;将Ff除以Fp得到归一化后的压膜阻尼力 固定平板上均匀打满孔隙结构时,计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sf;将Sf除以固定平板面积Sp得到归一化后的孔径面积的总和 固定平板上打有任意数量n的孔隙结构时,计算孔隙结构的上孔径面积的总和Sn;将Sn除以Sp得到归一化后的孔径面积的总和 计算含任意数量孔隙结构的MEMS器件的压膜阻尼力Fn;该方法弥补了传统含孔隙MEMS器件压膜阻尼计算方法的缺陷,突破了经典理论对孔隙结构数量的限制,极大的提升了理论的应用范围。

    一种基于航迹拟合的连续时间目标跟踪方法

    公开(公告)号:CN111896946B

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202010602081.8

    申请日:2020-06-29

    Abstract: 本发明涉及一种基于航迹拟合的连续时间目标跟踪新方法,该方法巧妙地运用时序量测数据,将系统外在信息建模为系统约束,进而提出一种约束最小二乘法对量测数据进行拟合,通过拟合得到的目标曲线函数对目标的状态进行预测和估计。该方法设计简便,计算效率和跟踪精度高。

    半球谐振陀螺力平衡模式校准电信号的生成方法

    公开(公告)号:CN116412837A

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202310122421.0

    申请日:2023-02-16

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺力平衡模式校准电信号的生成方法,获取输入电压信号;将输入电压信号转换成谐振子振动的初始位移信息;对初始位移信息进行迭代计算,直至满足迭代终止条件,得到的最终位移信息;基于初始位移信息和最终位移信息计算半球谐振陀螺的误差;本发明通过利用电压信号转换成位移信息,再对位移信息进行迭代计算,等到趋于稳定后即可得到半球谐振陀螺的误差信息;通过利用电信号可代替模拟转台对半球谐振陀螺进行校验,可以提升校验精度。

    半球谐振陀螺误差力补偿方法和装置

    公开(公告)号:CN116086485A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211012047.0

    申请日:2022-08-23

    Abstract: 本发明实施例公开了一种半球谐振陀螺误差力补偿方法和装置。该方法包括:在力平衡模式下,利用静电驱动力、静电反馈力、拟正交控制力和虚拟哥氏力,完成陀螺仪误差自激励;依据静电驱动力和静电反馈力的比例关系,获得敏感角速度信息的HRG误差演化模型,得到速率HRG标度因数和零偏误差参数;依据标度因数和零偏误差参数与非等阻尼误差系数的关系,得到非等阻尼误差系数;依据非等阻尼误差系数,通过自激励控制模块产生静电补偿力,作用于x轴和y轴方向,完成陀螺误差力补偿。本发明解决现有技术中陀螺仪每次使用前需要重新转台标定且测试环境和实际使用环境存在差异,严重影响陀螺仪反应速度,并导致陀螺仪角速度输出精度低的问题,达到了提升陀螺仪角速度输出精度的技术效果。

    半球谐振陀螺虚拟哥氏效应生成方法和装置

    公开(公告)号:CN115451999A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211012028.8

    申请日:2022-08-23

    Abstract: 本发明实施例公开了一种半球谐振陀螺虚拟哥氏效应生成方法和装置。该方法包括:提取谐振子的驱动模态振动速度信息;依据驱动模态振动速度信息生成虚拟哥氏力;将虚拟哥氏力作用于检测模态,以使得陀螺完成由无外界角速度输入的开环模式向检测模态受虚拟哥氏力作用的全角模式的切换。本发明解决了相关技术中由于半球谐振陀螺的误差特性与传统陀螺仪差异较大,标定与补偿方法难以解决,导致速率积分半球谐振陀螺存在敏感角速度死区和输出角速度中存在角度依赖性漂移误差成分的问题。

    一种半球谐振陀螺标定因数和零偏自标定方法

    公开(公告)号:CN114964306A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210421859.4

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 本发明公开了一种半球谐振陀螺标定因数和零偏自标定方法,第一步是速率半球谐振陀螺自激励。利用内部信号处理,完成虚拟哥氏力在检测模态上的施加,等效于外部角速度激励所产生哥氏力的影响;第二步是速率半球谐振陀螺误差自标定。利用基于自激励的速率半球谐振陀螺误差自标定方法,完成常值标度因数和零偏误差的免拆卸快速标定,对带有陀螺内部误差的静电反馈力输出进行补偿,以获得高精度的陀螺敏感角速度输出信号。本发明是标定方法体系上的创新,能有效解决陀螺误差参数时空动态快变性所导致的诸多瓶颈性问题。

    一种加速度敏感测量装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN114859075A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210421743.0

    申请日:2022-04-21

    Abstract: 本发明提供了一种加速度敏感测量装置及其制造方法,加速度敏感测量装置为无源器件,充当微加速度计中的加速度敏感模块,加速度敏感测量装置包括敏感质量块和框架,敏感质量块上连接有若干个用于支撑敏感质量块的悬臂梁,悬臂梁一端与敏感质量块连接,悬臂梁另一端连接有用于挤压悬臂梁的加载机构,加载机构连接在框架上,框架内设有通槽,敏感质量块可活动地设置在通槽内,框架与敏感质量块之间设有用于放大敏感质量块位移量的放大器,框架固定安装在具有凹槽的衬底上。本技术方案的装置及其制造方法的有益效果是实现低弹性系数以及超高的加速度位移灵敏度,保证很高的流片率和加工精度。

    一种半球谐振子参数辨识方法

    公开(公告)号:CN114858184A

    公开(公告)日:2022-08-05

    申请号:CN202210407091.5

    申请日:2022-04-18

    Abstract: 本发明涉及一种半球谐振子参数辨识方法,包括自激励角速度施加、陀螺内部控制力信号输出、陀螺误差演化模型与谐振子参数反解辨识模型构建和单轴正反转自标定等环节;构建了一套带有自激励控制模块的速率HRG控制系统仿真模型,能够完成自激励角速度施加、陀螺误差自标定以及两种反解模型下的谐振子参数自主辨识。本发明能够在陀螺仪工作环境下,全生命周期内任意阶段,利用自激励完成谐振子非等阻尼误差幅值和主轴偏角快速自主辨识,为利用各种方法手段,如基于自激励的速率/速率积分HRG自补偿(力补偿),抑制非等阻尼误差,降低谐振振型漂移误差,提高陀螺输出角速度/角增量精度,创造了应用条件,提供了解决方案。

    一种基于Group-G0模型的合成孔径雷达图像舰船检测方法

    公开(公告)号:CN112597815A

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN202011418137.0

    申请日:2020-12-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于Group‑G0模型的合成孔径雷达图像舰船检测方法,获取多个训练用的包含舰船类目标的SAR图像;其中,SAR图像中每个舰船均被标记了标记框;通过包含舰船类目标的SAR图像训练SAR舰船检测网络;获取待检测SAR图像,并使用SAR舰船检测网络提取待检测SAR图像的特征图;依次使用RPN网络和Fast RCNN网络对特征图进行检测,得到带有舰船检测框的SAR图像;本发明通过标记了标记框的包含舰船类目标的SAR图像对SAR舰船检测网络进行训练,并且分别结合模型分支和检测分支的检测结果对SAR舰船检测网络的网络参数进行联合优化,关注区域级信息和像素级信息的特征关联关系,仅需要较少的训练样本即可完成优化,可以提升舰船检测的召回率,减少漏检的发生。

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