转速传感器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103630127A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310165983.X

    申请日:2013-05-08

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5747

    Abstract: 本发明涉及转速传感器,其衬底具有主延伸平面,用于探测围绕或与主延伸平面平行地或垂直地延伸的第一方向的转速,转速传感器具有驱动装置、第一和第二科里奥利质量,第一科里奥利质量的至少一部分和第二科里奥利质量的至少一部分在围绕第一方向的转速的情况下经受与垂直于驱动方向和第一方向延伸的探测方向平行的科里奥利加速度,转速传感器具有第一和第二均衡质量,第一均衡质量通过衬底上的第一连接件具有与第一科里奥利质量的耦合并且第二均衡质量通过衬底上的第二连接件具有与第一科里奥利质量的耦合,第一科里奥利质量的由科里奥利加速度引起的与探测方向平行的偏转导致第一和第二均衡质量的分别反向的偏转。

    用于汽车应用的双轴超稳健转速传感器

    公开(公告)号:CN107923751B

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN201680050404.9

    申请日:2016-06-27

    Abstract: 提出转速传感器,具有衬底、第一转速传感器结构、第二转速传感器结构,衬底具有主延伸平面,第一转速传感器结构用于探测第一转速、第二转速传感器结构用于探测第二转速,第一轴线平行于主延伸平面延伸,第二轴线垂直于主延伸平面延伸,其中,转速传感器包括驱动装置,既用于偏转第一转速传感器结构的至少一个第一结构,以及第一转速传感器结构的至少一个第二结构,而且驱动装置也用于偏转第二转速传感器结构的至少一个第三结构,以及第二转速传感器结构的至少一个第四结构,使得第一结构、第二结构、第三结构以及第四结构能够被激励到机械耦合的振动。

    微机械构件和用于调节可调节元件的方法

    公开(公告)号:CN108351509A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680066341.6

    申请日:2016-10-19

    Abstract: 本发明涉及一种具有致动器装置的微机械构件,该致动器装置设计为用于使可调节元件(10)相对于保持件(14)置于围绕第一旋转轴线(20)的第一调节运动(20a)中和围绕倾斜于第一旋转轴线(20)定向的第二旋转轴线(28)的第二调节运动(28a)中;其中,该致动器装置包括至少一个在第一弹簧元件(12a)上布置的第一永磁体(16a)和至少一个在第二弹簧元件(12b)上布置的第二永磁体(16b),其中,所述至少一个第一永磁体(16a)能够被激励出相对于第一旋转轴线(20)倾斜的并且相对于第二旋转轴线(28)倾斜的第一平移运动,并且所述至少一个第二永磁体(16b)够被激励出与第一平移运动反向指向的第二平移运动,由此能够引起可调节元件(10)围绕第二旋转轴线(28)的第二调节运动(28a)。本发明同样涉及一种用于调节可调节元件的方法。

    转速传感器和转速传感器在不同频率和沿不同方向的运行

    公开(公告)号:CN107850432A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680041375.X

    申请日:2016-05-24

    CPC classification number: G01C19/5733

    Abstract: 提出一种转速传感器,其具有带有主延伸平面的衬底和相对于衬底可运动的结构,其中,所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向的第一轴线基本上平行地偏移的第一激励单元,使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第一轴线的方向的运动分量在第一频率振动,其中,所述转速传感器如此包括用于使所述结构从静止位置中与平行于所述主延伸平面走向并且垂直于所述第一轴线走向的第二轴线基本上平行地偏移的第二激励单元,使得所述结构可以被激励以基本上沿着平行于所述第二轴线的方向的运动分量在第二频率振动。

    通过多频率运行进行多次分析处理的转速传感器

    公开(公告)号:CN107850431A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680042101.2

    申请日:2016-05-24

    CPC classification number: G01C19/5726 G01C19/574

    Abstract: 本发明涉及一种转速传感器,具有带有主延伸平面的衬底、至少一个相对于所述衬底能运动的第一结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构能运动的第二结构、至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于第二结构能运动的第三结和至少一个相对于所述衬底并且相对于所述第一结构并且相对于所述第二结构并且相对于所述第三结构能运动的第四结构,其特征在于,所述转速传感器如此包括驱动装置用于使所述第一结构从所述第一结构的静止位置中基本上平行于驱动方向地偏移并且用于使所述第二结构从所述第二结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第三结构从所述第三结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移并且用于使所述第四结构从所述第四结构的静止位置中基本上平行于所述驱动方向地偏移,使得所述第一结构和所述第四结构能够在第一频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第二结构和所述第三结构基本上反相地振动,其中,所述第一结构和所述第二结构能够在第二频率被激励而相对彼此基本上同相地振动并且相对于所述第三结构和所述第四结构基本上反相地振动。

    转速传感器
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103512571B

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201310246606.9

    申请日:2013-06-20

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5747

    Abstract: 提出一种转速传感器,其中转速传感器的第一科里奥利质量具有第一和第二分区,转速传感器的第二科里奥利质量具有第三和第四分区,在第一分区对面设置与其构成第一电容的第一电极,在第二分区对面设置与其构成第二电容的第二电极,在第三分区对面设置与其构成第三电容的第三电极,在第四分区对面设置与其构成第四电容的第四电极,第一和第二科里奥利质量在衬底或驱动装置上的连接和各电极的布置和构造使得在围绕第一方向的旋转加速度下通过各分区的与探测方向平行的偏转或对各分区的与探测方向平行的力作用引起的第一和第三电容以及第二和第四电容的变化或者第一和第二电容以及第三和第四电容的变化相互补偿。

    具有三个敏感轴的转速传感器以及制造转速传感器的方法

    公开(公告)号:CN104280565A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201410457665.5

    申请日:2014-06-24

    Abstract: 一种用于探测转速传感器的转动运动的转速传感器,其中,所述转速传感器具有第一传感器结构、第二传感器结构以及驱动结构,所述第一传感器结构具有第一振动质量,所述第二传感器结构具有第二振动质量,所述驱动结构与所述第一振动质量和所述第二振动质量耦合,其中,所述第一传感器结构配置用于探测围绕第一旋转轴的第一转速,并且所述第二传感器结构配置用于探测围绕第二旋转轴的第二转速,其中,能够驱动所述第一振动质量进行沿着第一振动方向的第一驱动振动,其中,能够驱动所述第二振动质量进行沿着不同于所述第一振动方向的第二振动方向的第二驱动振动,其中,所述第一旋转轴垂直于所述第一振动方向地布置,并且所述第二旋转轴垂直于所述第二振动方向地布置,其特征在于,所述第二传感器结构配置用于探测围绕不同于所述第二旋转轴的并且垂直于所述第二振动方向的第三旋转轴的第三转速。

    微机械式旋转速率传感器
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101963505A

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN201010236921.X

    申请日:2010-07-21

    CPC classification number: G01C19/5712 G01C19/5747

    Abstract: 本发明提供一种微机械式旋转速率传感器(100,200,300,400,500),具有:第一旋转速率传感器元件(20),它输出第一传感器信号(S1),该第一传感器信号含有关于绕第一旋转轴的旋转的信息;第二旋转速率传感器元件(30),它输出第二传感器信号(S2),该第二传感器信号含有关于绕第二旋转轴的旋转的信息,该第二旋转轴垂直于该第一旋转轴;驱动装置(10),它驱动所述第一旋转速率传感器元件(20);和耦合部件(40),它使所述第一旋转速率传感器元件(20)和所述第二旋转速率传感器元件(30)机械地相互耦合,使得对所述第一旋转速率传感器元件(20)的驱动也引起对所述第二旋转速率传感器元件(30)的驱动。

    运行器设备、转速传感器和用于运行转速传感器的方法

    公开(公告)号:CN118049980A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202311529045.3

    申请日:2023-11-16

    Abstract: 本发明涉及一种用于转速传感器的运行器设备,借助运行器设备的电子装置,在考虑关于转速传感器的振动质量的谐波驱动振荡的驱动固有频率的至少一个驱动频率参量的情况下并在附加地考虑关于被置于谐波驱动振荡中的振动质量的由科里奥利力引起的偏转振荡运动的探测固有频率的或关于驱动固有频率与探测固有频率之间的差的至少一个探测频率参量的情况下,能够确定偏转振荡运动的机械增益和/或偏转振荡运动相对于振动质量的谐波驱动振荡的相移,至少一个驱动频率参量保存在运行器设备的存储器装置上或被提供给电子装置,至少一个探测频率参量由运行器设备自行确定被提供给运行器设备。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于运行转速传感器的方法。

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