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    压电装置以及液体喷射头
    11.
    发明公开
    压电装置以及液体喷射头 审中-实审

    公开(公告)号：CN115139650A

    公开(公告)日：2022-10-04

    申请号：CN202210305385.7

    申请日：2022-03-25

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘 ,  山崎泰志 ,  外村修 ,  沢崎立雄 ,  西智寻

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种对水分向振动板内部的侵入进行抑制并对出现振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况进行抑制的压电装置以及液体喷射头。压电装置具备：基板，其具有凹部；振动板；压电致动器，振动板具有：第一层，其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方；第三层，其被配置在第二层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含锆，在第三层的压电致动器侧具有第四层，第四层作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方。

    压电装置
    12.
    发明公开
    压电装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN115139649A

    公开(公告)日：2022-10-04

    申请号：CN202210305324.0

    申请日：2022-03-25

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  沢崎立雄 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种抑制了水分的向振动板内部的侵入，并抑制了产生振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况的压电装置。该压电装置具备：基板(12)，其具有凹部(12)；振动板(50)；压电致动器(300)，所述振动板(50)具有：第一层(51)，其作为结构元素而包含硅；第三层(53)，其被配置于所述第一层(51)和所述压电致动器(300)之间，并且作为结构元素而包含锆，所述第一层(51)和所述第三层(53)的层叠侧面覆盖有包含从由氧化物、氮化物、金属以及类金刚石碳构成的组中选择的至少一种的耐湿保护膜(210)。

    液体喷射头以及液体喷射装置
    13.
    发明公开
    液体喷射头以及液体喷射装置 有权

    公开(公告)号：CN112440561A

    公开(公告)日：2021-03-05

    申请号：CN202010870585.8

    申请日：2020-08-26

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘

    IPC: B41J2/01 ,  B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。

    压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置
    15.
    发明授权
    压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置 有权

    公开(公告)号：CN113696632B

    公开(公告)日：2024-10-11

    申请号：CN202110538520.8

    申请日：2021-05-18

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 滨田泰彰 ,  吉田俊辅 ,  板山泰裕 ,  清水稔弘 ,  中山雅夫

    IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01

    Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。

    压电元件及液体喷射头
    16.
    发明公开
    压电元件及液体喷射头 审中-实审

    公开(公告)号：CN116330847A

    公开(公告)日：2023-06-27

    申请号：CN202211639956.7

    申请日：2022-12-20

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 滨田泰彰 ,  酒井朋裕 ,  清水稔弘 ,  中山雅夫

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 提供一种维持压电特性良好的同时抑制漏电流的压电元件及液体喷射头。压电元件包括：第一电极；氧化物层，形成在所述第一电极上；压电体层，形成在所述氧化物层上，并含有钾、钠以及铌；以及第二电极，形成在所述压电体层上，其中在所述第一电极和所述第二电极之间施加10V的电位差时，在以所述第一电极为高电位的情况下和在以所述第二电极为高电位的情况下，漏电流的电流密度相差10,000倍以上。

    液体排出头、液体排出装置、以及致动器
    17.
    发明公开
    液体排出头、液体排出装置、以及致动器 审中-实审

    公开(公告)号：CN114312026A

    公开(公告)日：2022-04-12

    申请号：CN202111120080.0

    申请日：2021-09-24

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘 ,  山崎泰志

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种液体喷出头、液体喷出装置、以及致动器。其能够提高绝缘体膜的界面的强度并提高振动板的强度。液体喷出头具备压电元件和振动板，振动板通过压电元件的驱动而进行振动，且包含含有SiO2的第一层、以及层叠在第一层上的含有ZrO2的第二层。第二层具有作为与第一层相接的区域的界面区域、及作为隔着界面区域而与第一层为相反侧的区域的表层区域，在将针对第二层的(‑211)晶面的取向程度设为第一强度、将针对第二层的(‑111)晶面的取向程度设为第二强度、将针对第二层的(002)晶面的取向程度设为第三强度时，界面区域可以具有第一强度大于第二强度、且第一强度大于第三强度的区域。表层区域可以具有第一强度大于第三强度、且第二强度大于第三强度的区域。

    压电致动器的制造方法
    18.
    发明公开
    压电致动器的制造方法 无效

    公开(公告)号：CN112993145A

    公开(公告)日：2021-06-18

    申请号：CN202011338648.1

    申请日：2020-11-25

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  四十物孝宪 ,  中山雅夫 ,  高部本规 ,  角浩二 ,  板山泰裕 ,  清水稔弘

    IPC: H01L41/22 ,  H01L41/29 ,  H01L41/314

    Abstract: 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。

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