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公开(公告)号：CN118632611A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410241819.0
申请日：2024-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/20 , H10N30/853 , H10N30/80 , B81B7/02
Abstract: 本发明提供一种能够提高振动板的位移量的压电元件应用器件。本发明的压电元件应用器件具备：振动板，其由氧化硅构成；第一电极，其形成在振动板的上方；种子层，其形成在第一电极以及振动板的上方；压电体层，其形成在种子层上，并包含钾、钠和铌；第二电极，其形成在压电体层上，振动板还包含钾和钠，在振动板以及压电体层的二次离子质谱分析中，振动板中的钾的强度低于压电体层中的钾的强度，振动板中的钠的强度低于压电体层中的钠的强度。
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公开(公告)号：CN114801482A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210092477.1
申请日：2022-01-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的裂纹的发生的同时提升了振动板的位移量的液体喷射头以及液体喷射装置。所述液体喷射头设为如下结构：压电致动器(300)在作为压力室(12)的并排设置方向的第一方向上，在与压力室(12)的两端部相对应的振动板(50)的第一区域(P1)具备压电体层(70)被第一电极(60)和第二电极(80)夹着的活性部(310)，在与压力室(12)的中央部相对应的第二区域(P2)不具备活性部(310)，并且振动板(50)在第一方向上，在第一区域(P1)具有预定厚度的厚壁部(55)，在第二区域(P2)具有与厚壁部(55)相比厚度较薄的薄壁部(56)。
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公开(公告)号：CN114523765A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202111254404.X
申请日：2021-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供用于解决有可能因在驱动时的压电体层的发热而使压电致动器损伤的问题的压电器件、液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件的制造方法。当将第二电极(80)的与第一方向交叉的第二方向上的两个区域中的、距第二电极(80)的端部(80b)较远的一个区域设为第一区域(S1)，且将距第二电极(80)的端部(80b)较近的一个区域设为第二区域(S2)时，第一区域(S1)的压电体层(70)进行(100)面择优取向，使第二区域(S2)的压电体层的(100)面取向率低于第一区域(S1)的压电体层(70)的(100)面取向率。
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公开(公告)号：CN111823714B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010300803.4
申请日：2020-04-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种振动板的位移量较大的液体喷出头以及打印机。液体喷出头包括：喷嘴板，其设置有喷出液体的喷嘴孔；硅基板，其设置有压力产生室，所述压力产生室与所述喷嘴孔连通；振动板，其被设置于所述硅基板上；压电元件，其被设置于所述振动板上，并使所述压力产生室的容积发生变化，所述压电元件具有压电体层，所述压电体层包括含有铅、锆以及钛的钙钛矿型结构的复合氧化物，在所述压电体层的X射线衍射中，源自所述压电体层的(100)面的峰值的位置、与源自所述硅基板的(220)面的峰值的位置的差值小于25.00°。
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公开(公告)号：CN107068848A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201610855455.0
申请日：2016-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 板山泰裕
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , B41J2/14
CPC classification number: H01L41/047 , B41J2/14201 , H01L41/08
Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备，其中，压电元件具备第一电极、第二电极以及设置于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体层，压电体层由Pb(Ni，Nb，Zr，Ti)O3所表示的钙钛矿型复合氧化物构成，钙钛矿型复合氧化物中的Ni及Nb的含量的合计相对于在B位所含有的元素的总含量为1[mol％]以上5[mol％]以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106103100A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013130.1
申请日：2015-03-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/183 , B06B1/0603 , B06B1/0644 , B41J2/04581 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , H01L41/047 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1875 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 一种压电元件，其中在基板(10)上依次层叠有第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，所述压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti的具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，其中构成压电体层(70)的晶体具有四方结构，并且所述晶体沿基板(10)是{100}取向，并且其中相对于层叠方向垂直的具有(100)面的区域和具有(001)面的区域在所述晶体的晶格内是混合的。
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公开(公告)号：CN113696632B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202110538520.8
申请日：2021-05-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。
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公开(公告)号：CN116981339A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310446605.2
申请日：2023-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够对第一电极的端部的剥离进行抑制的压电元件以及液滴喷出头。本发明的压电元件具备：基板；第一紧贴层，其被形成在基板之上，且包含钛；至少一层以上的第二紧贴层，其被形成在基板之上，且包含氧化钛；第一电极，其被形成在第一紧贴层以及第二紧贴层之上；种子层，其被形成在第一电极以及基板之上，且包含钛；压电体层，其被形成在种子层之上；第二电极，其被形成在压电体层之上，其中，第一电极的端部的至少一部分被形成在第二紧贴层之上。
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公开(公告)号：CN112993145A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011338648.1
申请日：2020-11-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/22 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种金属氧化物层难以剥离的压电致动器的制造方法。该压电致动器的制造方法包括形成振动板的工序、在所述振动板上形成第一电极的工序、在所述第一电极上形成压电体层的工序、在所述压电体层上形成第二电极的工序，形成所述振动板的工序具有单一层形成工序，该单一层形成工序包括利用气相法来形成包含锆的金属层的工序和烧成所述金属层而形成金属氧化物层的工序，重复所述单一层形成工序，来形成层压所述金属氧化物层而成的所述振动板，所述金属氧化物层的厚度小于200nm。
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公开(公告)号：CN107068848B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201610855455.0
申请日：2016-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 板山泰裕
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种压电元件以及压电元件应用设备，其中，压电元件具备第一电极、第二电极以及设置于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体层，压电体层由Pb(Ni，Nb，Zr，Ti)O3所表示的钙钛矿型复合氧化物构成，钙钛矿型复合氧化物中的Ni及Nb的含量的合计相对于在B位所含有的元素的总含量为1[mol％]以上5[mol％]以下。
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