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公开(公告)号：CN102529371B
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201110360314.9
申请日：2011-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。
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公开(公告)号：CN102029789B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201010502376.4
申请日：2010-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , C04B35/491 , H01L41/0477 , H01L41/0831 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供能得到良好移位量的喷液头、喷液装置及压电元件。具有：具有连通于喷嘴孔(28a)的压力室(20a)的基板(20)；和压电元件，使压力室内的液体中产生压力变化，具有下部电极(10)、形成于下部电极(10)的上方的包含钙钛矿型氧化物的压电体层(12)和形成于压电体层(12)的上方的上部电极(14)。压电体层(12)具有位于下部电极(10)侧的第一压电体层(12a)和位于第一压电体层(12a)与上部电极(14)之间的第二压电体层(12b)，第一压电体层(12a)的极化轴，优先朝向该第一压电体层的膜面内方向，第二压电体层(12b)以准立方晶表示优先按(100)取向。
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公开(公告)号：CN102029789A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502376.4
申请日：2010-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14258 , C04B35/491 , H01L41/0477 , H01L41/0831 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319
Abstract: 本发明提供能得到良好移位量的喷液头、喷液装置和压电元件。具有：具有连通于喷嘴孔(28a)的压力室(20a)的基板(20)；和压电元件，使压力室内的液体中产生压力变化，具有下部电极(10)、形成于下部电极(10)的上方的包含钙钛矿型氧化物的压电体层(12)和形成于压电体层(12)的上方的上部电极(14)。压电体层(12)具有位于下部电极(10)侧的第一压电体层(12a)和位于第一压电体层(12a)与上部电极(14)之间的第二压电体层(12b)，第一压电体层(12a)的极化轴，优先朝向该第一压电体层的膜面内方向，第二压电体层(12b)以准立方晶表示优先按(100)取向。
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公开(公告)号：CN1287713A
公开(公告)日：2001-03-14
申请号：CN99801792.2
申请日：1999-10-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 弹性表面波元件1具有:由石英构成的基板2;由铝层构成的一对梳齿型电极3;电极连接端4;以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中,其结晶结构形成双晶结构,把铝的(－11—1)面及(1—11)面作为双晶的晶粒界,(－111)面及(002)面的晶粒、与(1—1—1)面及(00—2)面的晶粒处于双晶关系。此外,铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。
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公开(公告)号：CN108068458B
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN201711114556.3
申请日：2017-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种能够很容易地实施取向控制以及组成控制，并且使用了由具有优异的压电特性的KNN类复合氧化物构成的压电薄膜材料的压电元件以及压电元件应用装置。压电元件具备第一电极、第二电极、以及被配置在第一电极与第二电极之间的压电体层，压电体层为，包含钾、钠、铌，且包含优选取向为(100)面的钙钛矿型复合氧化物的薄膜，在钙钛矿型复合氧化物的结晶结构中包含具有氧八面体的基本晶格结构和氧八面体倾斜了的超晶格结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104943385B
公开(公告)日：2017-06-09
申请号：CN201510141449.4
申请日：2015-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , G01L1/16 , H01L41/0477 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供使用可减小电压下降对施加电压的影响的晶种层而能够使压电体层在(100)面优选取向并且能够提高位移量的压电元件、具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置以及传感器。压电元件(300)具备第1电极(60)、隔着晶种层(65)设置于第1电极(60)的压电体层(70)以及设置于压电体层(70)的第2电极(80)，晶种层(65)由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成，压电体层(70)由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成，晶种层(65)的厚度小于20nm。
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公开(公告)号：CN104943385A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510141449.4
申请日：2015-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , G01L1/16 , H01L41/0477 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供使用可减小电压下降对施加电压的影响的晶种层而能够使压电体层在(100)面优选取向并且能够提高位移量的压电元件、具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置以及传感器。压电元件(300)具备第1电极(60)、隔着晶种层(65)设置于第1电极(60)的压电体层(70)以及设置于压电体层(70)的第2电极(80)，晶种层(65)由具有钙钛矿结构且A位点含有铋、B位点含有铁和钛的在(100)面优先取向的复合氧化物构成，压电体层(70)由具有钙钛矿结构且在(100)面优先取向的压电材料构成，晶种层(65)的厚度小于20nm。
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公开(公告)号：CN101722730B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910179424.8
申请日：2009-10-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2002/14241
Abstract: 本发明提供一种提高了变位特性的液体喷射头、液体喷射装置及执行元件装置。液体喷射头具有：流路形成基板，其形成有与喷射液滴的喷嘴开口连通的压力发生室；和压电元件(300)，其具有第1电极(60)、形成在该第1电极(60)上的压电体层(70)、和形成在该压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反侧的第2电极(80)，通过使上述压力发生室产生压力，从上述喷嘴开口喷出液滴；在上述第1电极(60)和上述第2电极(80)未被施加电压的状态下，上述压电体层(70)的内部电场偏向上述第1电极(60)侧、或上述第2电极(80)侧。
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公开(公告)号：CN102225664A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110096414.5
申请日：2009-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号：CN102180012A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110005307.7
申请日：2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14233 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置，用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备：与喷嘴开口连通的压力产生室；以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件；所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成，且包括具有负电荷的Pb-O复合缺陷和具有正电荷的Pb-O复合缺陷，具有负电荷的Pb-O复合缺陷比具有正电荷的Pb-O复合缺陷更多地存在。
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