振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体

    公开(公告)号:CN110724917A

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201910963833.0

    申请日:2014-07-21

    发明人: 山崎隆 岩本修

    摘要: 振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体。所述振动片具有:基部;以及从所述基部沿第1方向延伸并沿与所述第1方向垂直的第2方向排列的多个振动臂,所述振动臂具有设置在沿所述第1方向以及所述第2方向的第1面上的激励电极,所述激励电极具有:配置在所述第1面侧的第1电极;配置在所述第1电极的与所述第1面侧相反的一侧的第2电极;以及配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电膜,所述压电膜是在晶界中含有Cu的氮化铝膜,所述第2电极由含有TiN的材料形成。

    无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板

    公开(公告)号:CN1609683A

    公开(公告)日:2005-04-27

    申请号:CN200410075162.8

    申请日:2004-09-02

    摘要: 一种无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板、液晶面板和电子仪器,所述无机取向膜的形成方法,是在基材上形成主要由无机材料构成的无机取向膜的方法,其特征在于,包括:研磨工序,对基材的形成无机取向膜的面,从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向照射离子束;成膜工序,在照射了离子束的基材上形成无机取向膜。研磨工序中预定角度θb是2度以上。研磨工序中照射离子束时的离子束的加速电压是400~1400V。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。

    无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板

    公开(公告)号:CN1324370C

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200410075162.8

    申请日:2004-09-02

    IPC分类号: G02F1/1337

    摘要: 一种无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板、液晶面板和电子仪器,所述无机取向膜的形成方法,是在基材上形成主要由无机材料构成的无机取向膜的方法,其特征在于,包括:研磨工序,对基材的形成无机取向膜的面,从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向照射离子束;成膜工序,在照射了离子束的基材上形成无机取向膜。研磨工序中预定角度θb是2度以上。研磨工序中照射离子束时的离子束的加速电压是400~1400V。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。

    弹性表面波元件
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1130824C

    公开(公告)日:2003-12-10

    申请号:CN99801792.2

    申请日:1999-10-12

    IPC分类号: H03H9/145 H03H9/25

    CPC分类号: H03H3/08 H03H9/25

    摘要: 弹性表面波元件1具有:由石英构成的基板2;由铝层构成的一对梳齿型电极3;电极连接端4;以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中,其结晶结构形成双晶结构,把铝的(-11-1)面及(1-11)面作为双晶的晶粒界,(-111)面及(002)面的晶粒、与(1-1-1)面及(00-2)面的晶粒处于双晶关系。此外,铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。

    振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN104242858A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410270270.4

    申请日:2014-06-17

    IPC分类号: H03H9/02 H03H9/19

    摘要: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体,能够降低安装到对象物的状态下的固定部件彼此间的接触。振动元件(2)包含:基部(4);一对振动臂(5、6),它们与基部(4)设置为一体,从基部(4)的前端沿Y轴方向延伸;以及保持臂(7),其与基部(4)设置为一体,位于振动臂(5、6)之间,从基部(4)的前端沿Y轴方向延伸,在基部(4)的一个主面上设置有第1固定部(R1),在保持臂(7)的一个主面上设置有第2固定部(R2),第1固定部(R1)以及第2固定部(R2)借助于固定部件固定在对象物上。