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公开(公告)号:CN1328251A
公开(公告)日:2001-12-26
申请号:CN01120877.5
申请日:2001-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J5/04 , G01J5/02 , G01J5/021 , G01J5/0225 , G01J5/045 , G01J5/048 , G01J5/049 , G01J5/08 , G01J5/0806 , G01J5/0818 , G01J5/12 , G01J5/16 , G01J2005/068
Abstract: 本发明的红外线检测元件,具有:基座,备有薄膜部及配置在该薄膜部周围的厚壁部;及热电堆,将形成为使冷接点位于厚壁部的上部并使热接点位于薄膜部的上部的多个热电偶串联连接,在该红外线检测元件中,设置与厚壁部接触的热敏部,从而当根据热电堆的输出求取温度时可以利用精度高的基准温度。通过将在半导体基板上形成的PN结用作热敏部,能以低成本提供高性能的小型红外线检测元件。