一种磁浮车用双路输出功率电源及其控制方法

    公开(公告)号:CN112583273A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202010625419.1

    申请日:2020-07-01

    Abstract: 本发明涉及一种双路输出的功率电源及其控制方法、一种功率电源系统,以及一种计算机可读存储介质。该功率电源包括:第一降压斩波模块,适于从直流供电网取电以输出直流中间电压;隔离变换模块,适于对所述中间电压进行隔离变换以输出两路直流供电电压,其中,第一供电电压适于作为第一路输出电压为磁浮列车的悬浮控制器和/或悬浮电池供电;以及第二降压斩波模块,适于对第二供电电压进行斩波调压,输出第二路输出电压为所述磁浮列车的直流辅助负载和/或辅助电池供电。本发明能够同时解决悬浮动力供电和其他直流辅助负载供电的问题,提高系统的集成度,并优化功率电源系统的体积、重量和成本。

    一种消除碳化硅器件终端刻蚀中微掩膜的方法

    公开(公告)号:CN106128942A

    公开(公告)日:2016-11-16

    申请号:CN201610743365.2

    申请日:2016-08-26

    CPC classification number: H01L21/0331 H01L21/0445

    Abstract: 本发明公开了一种消除碳化硅器件终端刻蚀中微掩膜的方法,包括:在SiC上制备掩膜;对掩膜进行光刻,将光刻版上的图形转移到所述掩膜的光刻胶上;对掩膜表面进行干法刻蚀,达到初步刻蚀深度;对掩膜的表面湿法腐蚀到预定刻蚀深度,去除掩膜表面的微掩膜;干法刻蚀所述SiC。除此之外,本发明还公开了一种消除碳化硅器件终端刻蚀中微掩膜的方法,采用先干法刻蚀并预留一定的刻蚀余量,再通过氧化将微掩膜去除。由于在刻蚀的过程中,都是先使用干法刻蚀一定的深度,预留一定的刻蚀余量,再采用湿法腐蚀或者局部氧化来去除残留的微掩膜,不会在晶圆材料造成较大的晶格损伤,减少或避免了刻蚀对器件造成的不良影响,提高器件的成品率。

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