公开(公告)号：CN112335178B

公开(公告)日：2024-02-13

申请号：CN201980041750.4

申请日：2019-07-30

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上义久 ,  福光政和 ,  后藤雄一

IPC: H03H9/24

Abstract: 本发明提供一种能够抑制构成连接部的共晶合金的一部分金属沿着连接布线扩散的MEMS设备。谐振装置(1)具备：MEMS基板(50)，包含谐振器(10)、和与谐振器(10)电连接的连接布线由第一金属层(71)和设置于MEMS基板(50)侧的第二金属层(72)的共晶合金构成，在俯视MEMS基板(50)的主面时，连接布线(75)的线宽(WL)比连接部的宽度(WC)小。(75)；以及连接部(70)，与连接布线(75)电连接，

公开(公告)号：CN109075766B

公开(公告)日：2022-04-19

申请号：CN201780026974.9

申请日：2017-02-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上义久 ,  西村俊雄 ,  竹山佳介 ,  河合良太 ,  后藤雄一

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。

公开(公告)号：CN113631499A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201980094545.4

申请日：2019-12-20

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/24 ,  H01L41/053 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

Abstract: 本发明提供能够抑制尺寸的增大并提高谐振子特性的谐振子以及装置。谐振子(13)具备：振动部(15)，进行轮廓振动；保持部(14)，形成为包围振动部(15)的至少一部分；以及支承部(16a、16b)，沿Y轴方向延伸并连接振动部(15)与保持部(14)，振动部(15)包括通孔(27)，该通孔沿与Y轴方向正交的X轴方向延伸，以便与支承部(16a、16b)之间形成连结部(28)，通孔(27)中的X轴方向的长度(SL)大于连结部(28)中的Y轴方向的长度(Sd)。

公开(公告)号：CN111989863A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201880092468.4

申请日：2018-11-26

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 河合良太 ,  竹山佳介 ,  后藤雄一

IPC: H03H9/24

Abstract: 谐振装置(1)具备谐振器(10)、上盖(30)和下盖(20)，谐振器具有具备基部(130)和多个振动臂(135)的振动部(120)、保持部(140)以及保持臂(111、112)，下盖(20)具有在相邻的2个振动臂(135B、135C)之间突起的突起部(50)，突起部(50)具有绝缘膜(235)，振动臂(135)具有锤部(G)，锤部(G)具有形成在绝缘膜(235)上的导电膜(236)，在多个振动臂(135)延伸的方向上，与相邻的2个振动臂(135B、135C)中的任意一个的锤部(G)与保持部(140)之间的第一距离(L1)相比，锤部(G)与突起部(50)之间的第二距离(L2)较大。

公开(公告)号：CN109075766A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780026974.9

申请日：2017-02-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上义久 ,  西村俊雄 ,  竹山佳介 ,  河合良太 ,  后藤雄一

IPC: H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  H01L41/113 ,  H01L41/187 ,  H03H9/02

Abstract: 本发明提供谐振器和谐振装置。在谐振频率的调整工序中，抑制谐振频率的温度特性的变动。谐振器：具有基部；和振动臂，具有第1电极和第2电极、设置于第1电极与第2电极之间并具有与第1电极对置的上表面且在向第1电极和第2电极之间施加了电压时以规定的振动模式进行振动的压电膜，所述振动臂的一端是与基部的前端连接的固定端，另一端是向离开前端的方向延伸的自由端，该谐振器具备：保护膜，设置为隔着第1电极而与压电膜的上表面对置，并且设置为从振动臂延续到基部；和温度特性调整膜，由与保护膜不同的材料构成，温度特性调整膜设置为在多个振动臂上的比在该振动臂延伸的方向上的中央靠固定端侧处和基部处中的至少一处，使保护膜的局部向表面暴露。

公开(公告)号：CN107431473A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680013875.2

申请日：2016-03-29

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 西村俊雄 ,  后藤雄一 ,  吉井健太郎 ,  维莱·卡亚卡里

IPC: H03H9/17

Abstract: 本发明提供一种共振装置。能够使共振频率稳定。具备：共振子，具有下部电极、多个上部电极、和形成在下部电极与多个上部电极之间的压电膜；上盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的上部电极对置地密封共振子的第一面；下盖，具有第一面和第二面，被设置为该第一面与共振子的下部电极对置地密封共振子的第一面；电源端子，与上部电极电连接；以及接地端子，设置于上盖的上述第二面，下部电极经由上述上盖与上述接地端子电连接。

公开(公告)号：CN113631499B

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN201980094545.4

申请日：2019-12-20

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一

IPC: B81B3/00 ,  H03H9/24 ,  H10N30/88 ,  H10N30/20 ,  H10N30/853

Abstract: 本发明提供能够抑制尺寸的增大并提高谐振子特性的谐振子以及装置。谐振子(13)具备：振动部(15)，进行轮廓振动；保持部(14)，形成为包围振动部(15)的至少一部分；以及支承部(16a、16b)，沿Y轴方向延伸并连接振动部(15)与保持部(14)，振动部(15)包括通孔(27)，该通孔沿与Y轴方向正交的X轴方向延伸，以便与支承部(16a、16b)之间形成连结部(28)，通孔(27)中的X轴方向的长度(SL)大于连结部(28)中的Y轴方向的长度(Sd)。

公开(公告)号：CN112585870B

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN201980054142.7

申请日：2019-08-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 后藤雄一 ,  河合良太

IPC: H03H9/02 ,  H10N30/87 ,  H10N30/20 ,  H10N30/30 ,  H10N30/853 ,  H10N30/06 ,  H03H9/24

Abstract: 本发明提供一种谐振装置，能够抑制电容的不平衡。谐振装置(1)具备：谐振器(10)，其包含上部电极(125A～125D)、下部电极(129)、以及形成在上部电极(125A～125D)与下部电极(129)之间的压电薄膜(F3)；上盖(30)，其设置为第一面与谐振器(10)的上部电极(125A～125D)对置；电源端子(ST1)，其设置于上述基板的第二面，与上部电极(125B、125C)电连接；电源端子(ST2)，其设置于上盖(30)的第二面，与上部电极(125A、125D)电连接；以及接地端子(GT)，其设置于上盖(30)的第二面，与下部电极(129)电连接，电源端子(ST1)的面积与电源端子(ST2)的面积不同，以便在电源端子(ST1)与接地端子(GT)之间产生的电容与在电源端子(ST2)与接地端子(GT)之间产生的电容近似。

公开(公告)号：CN109155615B

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN201780028887.7

申请日：2017-03-16

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 吉井健太郎 ,  后藤雄一 ,  竹山佳介 ,  西村俊雄 ,  盛永俊吾 ,  河合良太 ,  井上义久

IPC: H03H3/04 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24

Abstract: 本发明涉及谐振子以及谐振装置，抑制谐振子上的绝缘体层或者绝缘体层上的导电层带电的电荷给谐振频率带来的影响。具备：第一电极以及第二电极；压电膜，被设置在第一电极与第二电极之间，并具有与第一电极对置的上表面，当电压施加于第一电极和第二电极之间时以规定的振动模式振动；保护膜，由绝缘体构成，并隔着第一电极与压电膜的上表面对置地设置；以及导电膜，由导电体构成，并隔着保护膜与压电膜的上述上表面对置地设置，导电膜与第一电极以及第二电极中的任意一方电连接。

公开(公告)号：CN112640302A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201980057531.5

申请日：2019-04-23

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 井上义久 ,  河合良太 ,  后藤雄一

IPC: H03H9/24 ,  H01L41/047 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/253 ,  H01L41/29

Abstract: 谐振子(10)具备：基部(130)；和至少三个振动臂(121A～D)，其一端是与基部(130)的前端部(131A)连接的固定端，另一端是离开前端部(131A)设置的自由端，至少三个振动臂(121A～D)中各振动臂具有：臂部(123A～D)，其具有沿着从固定端朝向自由端的方向以相同宽度延伸的部分；和质量附加部(122A～D)，其与臂部(123A～D)的末端连接，且比臂部(123A～D)宽度大，在相邻且相互反相振动的任两个振动臂(121A、121B)中，质量附加部(122A、122B)彼此的间隔(PT12)大于臂部(123A、123B)彼此的间隔(PT13)。