扫描电子显微镜及图像生成方法

    公开(公告)号:CN105940478B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201580005384.9

    申请日:2015-02-10

    Abstract: 在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中,使用使带电粒子线透过的隔膜,对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄,因此破损的情况多。因此,产生隔膜的更换频率增加,由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题,参照图1,扫描电子显微镜的特征在于,具备:电子光学镜筒(2),其将一次电子线照射至试样(6)上;箱体(7),其与电子光学镜筒内部直接连结,至少在一次电子线的照射中,使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态;以及隔膜(10),其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离,并且供上述一次电子线透过。

Patent Agency Ranking