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公开(公告)号：CN105247650A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201480030121.9
申请日：2014-03-12
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , G01N23/04 , G01N23/225 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/22 , G01N23/046 , G01N2223/3307 , G01N2223/418 , H01J37/10 , H01J37/20 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/047 , H01J2237/10 , H01J2237/221 , H01J2237/226 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24578 , H01J2237/2611 , H01J2237/2802
Abstract: 本发明的特征为，在透射型电子显微镜中，对决定一次带电粒子束(900)和试样之间的相互关系的矢量参数(θ、E、I)进行控制，取得与多个不同的矢量参数对应的试样的透射带电粒子图像；在检测从试样透射的透射电子或前方散射电子的检测器(500)上直接或经由预定的部件来配置试样。这样即使在使用了焦点深度比光学显微镜大的电子显微镜的情况下，也能够正确地确定试样内部的结构物的三维位置和密度，能够容易地实施针对试样相同的场所的光学显微镜观察和使用了电子显微镜的三维内部结构观察。
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公开(公告)号：CN105144337A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480013221.0
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC classification number: G01N23/2251 , G01N23/2204 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/2605
Abstract: 本发明的目的是解决在利用透射带电粒子的观察中试样的设置或取出费时的问题。带电粒子束装置(601)，其特征在于，具有：将一次带电粒子束向试样(6)照射的带电粒子光学镜筒；能够装拆地配置利用在上述试样(6)内部透射或散射而出的带电粒子发光的发光部件(500)或具有该发光部件(500)的试样台(600)的试样载台；以及检测上述发光部件的发光的检测器(503)。
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公开(公告)号：CN104756223A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380055784.1
申请日：2013-10-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006 , H01J2237/20221 , H01J2237/20235 , H01J2237/28
Abstract: 本发明的试样收纳容器具备：将试样(6)收纳在与外部的环境状态不同的环境状态下的收纳容器(100)；带电粒子线能通过或透过的隔膜(10)；试样载物台(103)，其设于收纳容器(100)的内部，能在将收纳容器(100)的内外环境状态保持为不同的环境状态的状态下，使试样(6)相对于隔膜(10)的相对位置在水平方向及垂直方向上移动；以及操作部(104)，其从收纳容器(100)的外部操作试样载物台(103)的移动，以收纳试样(6)的状态设于带电粒子线装置的真空房间内。
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公开(公告)号：CN104584180A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201380043744.5
申请日：2013-07-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0203 , H01J2237/063 , H01J2237/164 , H01J2237/166 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/2006 , H01J2237/202 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。
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公开(公告)号：CN104520967A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201380041386.4
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2605
Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105940478B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201580005384.9
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 在能在大气压下进行观察的带电粒子线装置中，使用使带电粒子线透过的隔膜，对配置试样的大气压空间和带电粒子光学系统侧的真空空间进行隔离。该隔膜非常薄，因此破损的情况多。因此，产生隔膜的更换频率增加，由更换作业带来的便利性下降、运转费用增加之类的问题。为了解决该课题，参照图1，扫描电子显微镜的特征在于，具备：电子光学镜筒(2)，其将一次电子线照射至试样(6)上；箱体(7)，其与电子光学镜筒内部直接连结，至少在一次电子线的照射中，使内部与上述电子光学镜筒内部相比为低真空的状态；以及隔膜(10)，其对载置试样(6)的大气压环境的空间和低真空状态的箱体的内部进行隔离，并且供上述一次电子线透过。
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公开(公告)号：CN105493224B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201480044976.7
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/20 , G01M3/02 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/2006 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2802
Abstract: 以往在更换隔膜时未充分考虑所需的成本、作业的便利性等，因此装置难以使用。在本发明中，通过隔离真空空间与大气压空间的隔膜(10)而将一次带电粒子线照射在放置于大气压空间的试样上的带电粒子线装置上所设置的隔膜安装部件(155)具有：安装TEM用膜片的隔膜设置部位；以及安装在带电粒子线装置的壳体上的壳体固定部位。并且，该隔膜设置部位具有对保持有隔膜(10)的基座(9)进行定位的定位结构(155a)。
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公开(公告)号：CN105917437A
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201480073481.7
申请日：2014-12-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2608
Abstract: 本发明提供一种能够简便地进行样本内部和表面的观察的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在以下模式下动作：根据来自通过被照射透射了样本(6)的内部的透射带电粒子而发光的发光构件(500)的光的检测信号(512)生成透射带电粒子图像的透射带电粒子图像模式；根据因来自样本(6)的二次带电粒子(517)或反射带电粒子而产生的检测信号(518)生成二次带电粒子图像的二次带电粒子图像模式。
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公开(公告)号：CN104520967B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380041386.4
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/2605
Abstract: 在现有的带电粒子线装置中，由于以在隔膜和试样接近的状态检测信号为前提，所以，不是适合在大气压或者与大气压几乎相等的压力的气体环境下观察如非常有凹凸的试样等的装置结构。因此，本发明提供一种带电粒子线装置，具备以将载置试样的空间与带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，使一次带电粒子线透过或通过的能装卸的隔膜的带电粒子线装置，其特征在于，检测由一次带电粒子线的照射而从试样放出的二次粒子的检测器配置于载置上述试样的空间内。
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公开(公告)号：CN105874558A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480072130.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/221 , H01J2237/2608 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
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