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公开(公告)号：CN105981129A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201480074392.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2809
Abstract: 能够高速地显示对通过带电粒子显微镜拍摄到的扫描过程中的图像进行适当的高画质化处理后的结果。针对拍摄视野内的图像数据(401)，根据与未取得视野内的图像数据的区域(414)的距离，将取得了图像数据的区域(410)分割为2个以上的区域(411、412、413)，针对该分割后的各个区域的图像数据，与分割后的区域对应地决定高画质化处理方法和高画质化的处理参数，针对分割后的各区域的图像数据，使用决定的与分割后的区域对应的处理方法和处理参数进行高画质化处理(415、416)。
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公开(公告)号：CN111095351A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201780094577.5
申请日：2017-09-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明在生成的广角图像中残存局部的位置偏差时，也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入，并根据该用户输入重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像，图像处理部在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间，对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件，根据上述对应点对和上述限制条件计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像，在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度，向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件。
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公开(公告)号：CN105981129B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201480074392.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/22 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2809
Abstract: 能够高速地显示对通过带电粒子显微镜拍摄到的扫描过程中的图像进行适当的高画质化处理后的结果。针对拍摄视野内的图像数据(401)，根据与未取得视野内的图像数据的区域(414)的距离，将取得了图像数据的区域(410)分割为2个以上的区域(411、412、413)，针对该分割后的各个区域的图像数据，与分割后的区域对应地决定高画质化处理方法和高画质化的处理参数，针对分割后的各区域的图像数据，使用决定的与分割后的区域对应的处理方法和处理参数进行高画质化处理(415、416)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106415774B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201580027482.2
申请日：2015-05-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24592 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817
Abstract: 为了能够高速地拍摄关注区域是高画质、并且其以外的区域也是足够观察的画质的宽视野图像，在使用电子显微镜装置的拍摄方法中，向试料的宽视野区域以低剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的宽视野图像；从该宽视野图像中设定包含在宽视野区域的内部中的较窄的视野的窄视野区域；向该窄视野区域以高剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的窄视野图像；根据每像素的剂量决定所取得的宽视野图像和窄视野图像的噪声除去参数，基于该噪声除去参数进行宽视野图像和窄视野图像的画质改善处理；使用实施该画质改善处理后的宽视野图像对实施画质改善处理后的窄视野图像进行漂移修正；将进行该漂移修正后的窄视野图像和宽视野图像进行合成，以使合成图像的全部区域中的辨识性为相同程度。
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公开(公告)号：CN106415774A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201580027482.2
申请日：2015-05-27
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
CPC classification number: H01J37/265 , H01J37/244 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24592 , H01J2237/2809 , H01J2237/2817
Abstract: 为了能够高速地拍摄关注区域是高画质、并且其以外的区域也是足够观察的画质的宽视野图像，在使用电子显微镜装置的拍摄方法中，向试料的宽视野区域以低剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的宽视野图像；从该宽视野图像中设定包含在宽视野区域的内部中的较窄的视野的窄视野区域；向该窄视野区域以高剂量照射聚束的电子束并扫描而取得试料的窄视野图像；根据每像素的剂量决定所取得的宽视野图像和窄视野图像的噪声除去参数，基于该噪声除去参数进行宽视野图像和窄视野图像的画质改善处理；使用实施该画质改善处理后的宽视野图像对实施画质改善处理后的窄视野图像进行漂移修正；将进行该漂移修正后的窄视野图像和宽视野图像进行合成，以使合成图像的全部区域中的辨识性为相同程度。
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公开(公告)号：CN105874558A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480072130.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/221 , H01J2237/2608 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
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公开(公告)号：CN111095351B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201780094577.5
申请日：2017-09-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 本发明在生成的广角图像中残存局部的位置偏差时，也能够促使进行用于修正局部位置偏差的用户输入，并根据该用户输入重新生成在重叠区域的局部区域中位置偏差量也小的广角图像。电荷粒子显微镜维持相邻的拍摄图像重叠的区域即重叠区域并拍摄多张拍摄图像，图像处理部在上述重叠区域中将对应点对设定在上述相邻的拍摄图像之间，对每个上述拍摄图像设定规定的限制条件，根据上述对应点对和上述限制条件计算上述拍摄图像之间的相对位置偏差量，根据计算出的上述位置偏差量修正上述拍摄图像之间的相对位置偏差并连接起来，由此生成一张广角图像，在上述重叠区域中设定的多个局部区域中计算拍摄图像的连接的可靠度，向用户通知上述可靠度低的上述局部区域或包含上述局部区域的重叠区域、上述设定好的对应点对和上述限制条件。
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公开(公告)号：CN105874558B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201480072130.4
申请日：2014-12-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/221 , H01J2237/2608 , H01J2237/2806
Abstract: 本发明的带电粒子束装置具备：数据处理部，其从检测器的信号中除去一次带电粒子束在到达样本以前由于被散射而对一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。例如，在用电子显微镜观察处于非真空气氛中的样本(6)的情况下，从通过检测器取得的信号中除去一次带电粒子束由于隔膜(10)或存在于非真空空间(12)中的气体而散射从而对上述一次带电粒子束的斑点形状产生的影响。由此，能够简便地得到高质量的图像。
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