公开(公告)号：CN101995217A

公开(公告)日：2011-03-30

申请号：CN201010255058.2

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  榎本芳幸

IPC: G01B11/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/245 ,  G01B11/25

Abstract: 一种具备对被测量物照射沿一个方向延伸的线状光的出射光学系统和获得线状反射光的摄像元件的测量装置，根据线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，具备：成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，将线状反射光分束并导向摄像元件。光束分束机构将线状反射光分束以获得在线状光延伸方向上观察时线状光在彼此不同的位置上在被测量物上的形状。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段，各片段中的至少一个或更多的区域用作受光区域，成像光学系统使分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。

公开(公告)号：CN100367055C

公开(公告)日：2008-02-06

申请号：CN03125499.3

申请日：2003-09-24

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 岩阳一郎 ,  关根明彦 ,  宫川一宏 ,  矶崎久

IPC: G02B6/28 ,  G02B6/42 ,  G02B27/16 ,  G02B27/30 ,  H01S5/00 ,  G01N21/95 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/47 ,  G02B6/2848 ,  G02B6/32 ,  G02B6/4206 ,  G02B6/425

Abstract: 激光光源装置2由光源单元11构成，光源单元11包括将从一个半导体激光器12射出的激光聚光的一个聚光透镜14、将从其它半导体激光器13射出的激光聚光的其它聚光透镜15、及使由一个聚光透镜聚光的激光和由其它的聚光透镜聚光的激光聚焦射入一个导光手段16的射入端面16a的聚焦透镜17。

公开(公告)号：CN1510416A

公开(公告)日：2004-07-07

申请号：CN200310122075.9

申请日：2003-12-22

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  佐藤卓司 ,  榎本芳幸 ,  前川博之

IPC: G01N21/896

CPC classification number: G01N21/9501

Abstract: 本发明的表面检查方法包括：用同一投影透镜，将波长不同的至少两个激光束照射到相同检查部位的步骤；设定两激光束的入射角，使各激光束的反射率值的变动互补的步骤；以及检测反射散射光的步骤。

公开(公告)号：CN1424576A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：CN02154380.1

申请日：2002-12-04

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  榎本芳幸

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/47 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/9501

Abstract: 本发明的课题是，在对基板表面照射激光光线、通过检测该激光光线的散射反射光来检测异物的表面检查装置中，包含具有发射激光光线的多个发光源的光源部和将来自该各发光源的激光光线照射到基板表面上的照射光学系统。

公开(公告)号：CN1407329A

公开(公告)日：2003-04-02

申请号：CN02142907.3

申请日：2002-08-10

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  松田正则

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01N21/9501

Abstract: 一种表面检测装置，具有：附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。