公开(公告)号：CN1407329A

公开(公告)日：2003-04-02

申请号：CN02142907.3

申请日：2002-08-10

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  松田正则

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01N21/9501

Abstract: 一种表面检测装置，具有：附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。

公开(公告)号：CN1250960C

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN02142907.3

申请日：2002-08-10

Applicant: 株式会社拓普康

Inventor： 矶崎久 ,  松田正则

IPC: G01N21/47 ,  G01N21/88 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01N21/9501

Abstract: 一种表面检测装置，包括：具有用于搬运晶片的自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳附着规格已知的微粒的校正用晶片的校正用晶片收纳部和用于供送纯净空气的净化装置，其中，在前述表面检测部的晶片装载面的上方设置前述校正用晶片收纳部，所述净化装置设置成使得前述校正用晶片收纳部配置在纯净空气流的上游处。