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公开(公告)号：CN110017877A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01F15/04
Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
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公开(公告)号：CN110017877B
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：CN201910001569.2
申请日：2019-01-02
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: G01F15/04
Abstract: 本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。
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公开(公告)号：CN114270083A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202080056892.0
申请日：2020-06-12
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14
Abstract: 本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。
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公开(公告)号：CN112703391A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980050994.9
申请日：2019-09-18
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定方法，其在浓度测定装置中执行，所述浓度测定装置具有：供被测定流体流动的测定单元；发出向测定单元的入射光的光源；检测来自测定单元的出射光的光检测器；基于光检测器的输出计算被测定流体的吸光度以及浓度的运算部；以及测定被测定流体的温度的温度传感器，所述浓度测定方法包括：使分子结构随温度而变化的气体作为被测定流体而在测定单元内流动的工序；使由被测定流体吸收的波长的光从光源向测定单元入射，并且通过光检测器测定从测定单元出射的光的强度的工序；以及基于由温度传感器测定的温度和光检测器的输出，计算被测定流体的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN112703388A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980057237.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种浓度测定装置(100)，其具有：具有流路的测定单元(4)、光源(1)、检测从测定单元出射的光的光检测器(7)以及基于光检测器的输出来计算被测定流体的吸光度和浓度的运算部(8)，测定单元具有：单元主体、以与流路相接的方式固定于单元主体的窗部(3)以及对经由窗部而将入射到测定单元的光进行反射的反射部件(5)，窗部经由垫片(15)而通过窗按压部件(30)固定于单元主体(40)，在支撑窗部的垫片的第一面设置有环状的密封用突起部(15a)，在支撑垫片的与第一面相反的一侧的第二面的单元主体的支撑面(42)也设置有环状的密封用突起部(42a)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109564119B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201780032215.3
申请日：2017-08-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1‑X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ‑1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。
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公开(公告)号：CN105940357B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201580002126.5
申请日：2015-01-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及的压力式流量控制装置具备：主体，所述主体设置有连通流体入口与流体出口之间的流体通路，及连通流体通路与排气出口之间的排气通路；压力控制用控制阀，所述压力控制用控制阀固定于主体的流体入口侧，且开闭流体通路的上游侧；第一压力传感器，所述第一压力传感器检测其下游侧的流体通路内压；流孔，所述流孔设置于比所述排气通路的分歧位置更靠近下游的流体通路内；开闭阀，所述开闭阀开闭所述第一压力传感器的下游侧的流体通路；及排气用阀，所述排气用阀开闭所述排气通路。在所述压力式流量控制装置进行的流量控制开始前使排气用阀动作，且对压力控制用控制阀与开闭阀之间的流体通路空间内进行强制排气，由此可以防止流量控制开始时的超量。
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公开(公告)号：CN105247344B
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201480008102.6
申请日：2014-04-30
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定从而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性。本发明为由检测器主体(2)、设置于检测器主体(2)的上面或下面的光振荡部和光检测部构成的光分析式原料流体浓度检测器，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在检测器主体上面或下面形成有至少一个凹部，并且检测器主体具备：从检测器主体的流体入口与凹部连通的流体流路；连通凹部之间的流体通路；从凹部与检测器主体的流体出口连通的流体流路，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在最接近入口的凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部。
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公开(公告)号：CN108369425A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201680064955.0
申请日：2016-12-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及一种利用具备节流部(12)、上游侧的控制阀(18)、上游侧的第一压力传感器(14)、下游侧的第二压力传感器(24)的流量控制装置(10)和下游阀(24)而进行的异常检测方法，包含使控制阀以及下游阀从打开状态变化为关闭状态的步骤、将控制阀以及下游阀维持着关闭状态而测定上游压力以及下游压力的步骤、和(a)抽出上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻的上游压力作为上游收敛压力，下游压力作为下游收敛压力的步骤及(b)抽出从使控制阀以及下游阀变化为关闭状态的时刻至上游压力与下游压力之差达到规定值的时刻为止的时间作为收敛时间的步骤之中的至少一方，基于在步骤(a)或(b)中任一步骤所获得的数据与作为基准的值的比较而判断异常的有无。
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公开(公告)号：CN107850533A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680025146.9
申请日：2016-08-09
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 一种浓度测定装置，包括：至少一个光源；用于注入被测定流体的测定单元；用于使所述光源的光分支为入射到所述测定单元内的入射光和未入射到所述测定单元内的非入射光的分歧器；用于检测所述入射光通过了所述测定单元的透过光的透过光检测器；用于检测所述非入射光的非入射光检测器；以及利用所述非入射光检测器的检测信号对所述透过光检测器的检测信号进行校正的运算部。
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