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公开(公告)号：CN100414342C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200610164705.2
申请日：2006-10-17
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/352 , G02B6/3514 , G02B6/355 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B26/0841
Abstract: 一种光开关，基板上三个光波导部的端部互相平行地支承，中央的光波导部的端部设置为该光开关的一个输入端口，毗邻其两侧的其它二个光波导部的端部设置为该光开关的第一和第二输出端口，来自上述输入端口的射出光通过切换插入在距离该光路的输入端口的端面相同距离的位置处的第一可动反射镜和上述第二可动反射镜，切换反射偏向到第一输出端口侧或者第二输出端口侧的任意之一上，来自第一可动反射镜和第二可动反射镜的光与来自被第一固定反射镜和第二固定反射镜反射偏向的输入端口的射出光平行且方向相反而耦合到上述第一以及第二输出端口上。
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公开(公告)号：CN100343712C
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200410100529.7
申请日：2004-10-10
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/3566 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B6/3636 , G02B6/3692
Abstract: 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。
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公开(公告)号：CN1275066C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200410089799.2
申请日：2004-10-10
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , H02N1/008
Abstract: 一种小型可移动设备包括形成于基底上并适于在平行于该基底的片表面方向上移位的可移动部分，形成并固定安装于该基底上的固定部分，及铰链，每个铰链的相对端部连接到该可移动部分和固定部分并呈现两反向弯曲状态，当其呈现任何一种弯曲状态，该铰链可通过自保持作用在两个位置有效保持该可移动部分。该基底形成有壁表面，这些壁表面设置成与铰链的相对面在整个铰链的可移动范围中都相对。当铰链呈现两反向弯曲状态任何一种(呈现生产初始状态)时，在铰链与设置在其相对侧的壁表面在铰链长度方向每个点上彼此相等。这克服了在生产中湿蚀后干燥步骤期间存在的困难，克服了可仅在铰链的一侧剩下液体使得该铰链保持吸附在壁表面上。
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公开(公告)号：CN1677157A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200410095156.9
申请日：2004-10-31
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3584
Abstract: 形成在基底上的光学器件包括：多个形成在基底顶面的光纤通道；反射镜，在配置在光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，一端支撑反射镜；梳形静电激励器，在与可移动杆的中间部分相关的位置，在可移动杆长度方向上移动可移动杆；多个支撑梁，在可移动杆的驱动力施加点的两侧上的两端附近，可移动支承可移动杆，驱动力由梳形静电激励器产生。支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持可移动杆，由多个支撑梁支承可移动杆的点关于由梳形静电激励器产生的驱动力的施加点对称。即使由梳形静电激励器产生的驱动力包括不同的矢量分量，可抑制可移动杆在驱动可移动杆的所需方向外的方向上的移动。
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公开(公告)号：CN1619351A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：CN200410102355.8
申请日：2004-09-30
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/3584 , B81B3/0083 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , G02B6/122 , G02B6/136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3596 , G02B26/0841
Abstract: 本发明涉及微光学装置及其制造方法。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1607410A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN200410100529.7
申请日：2004-10-10
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/3566 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584 , G02B6/3596 , G02B6/3636 , G02B6/3692
Abstract: 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。
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公开(公告)号：CN106164727B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201580019615.1
申请日：2015-04-15
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/4231 , G02B6/00 , G02B6/32 , G02B6/325 , G02B6/4214 , G02B6/4249 , G02B6/4292 , G02B7/00
Abstract: 一种光模块，其包含第一光学块和第二光学块，该第一光学块和第二光学块为了光轴对齐而分别具有透镜并且相互定位固定，具有阶段性的定位结构。第一阶段的定位结构形成为可看见的形状。第二阶段的定位结构包含棱和具有碰抵斜面的弹簧片，以碰抵斜面位于第二光学块的四个角部的方式将四个弹簧片形成在第二光学块，长度方向一端侧的两个碰抵斜面形成镜像，另一端侧的碰抵斜面与长度方向延长上的碰抵斜面位于同一平面上，通过使各碰抵斜面与第一光学块的棱碰抵而进行定位。第三阶段的定位结构包含在两光学块的一方形成的凹部、引导斜面和在另一方形成的凸部。凸部与凹部嵌合。
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公开(公告)号：CN101246258B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200710303585.4
申请日：2007-12-28
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: H02N1/008 , G02B6/3514 , G02B6/3566 , G02B6/357 , G02B6/358 , G02B6/3584
Abstract: 本发明涉及梳齿型静电驱动器。其中，与基体上预先确定的匹配轴线(0x)平行地配置可动棒(11)，在该可动棒上的连结部(11C)两侧固定具有多个可动电极板(12b)的可动梳齿电极(12)，并在基体上固定具有多个固定电极板(21b、22b)的固定梳齿电极(21、22)，四个铰链(23、24)各自一端被固定在可动棒上，而另一端被固定设置在基体的固定部(32A～32D)。这些铰链的长度被设定为分别比从固定部到所述匹配轴线的距离长，连结部(11C)的匹配轴线垂直方向的位移量(Lc)比各可动电极板与最接近其的固定电极板的距离小。
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公开(公告)号：CN100375914C
公开(公告)日：2008-03-19
申请号：CN200410102355.8
申请日：2004-09-30
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
CPC classification number: G02B6/3584 , B81B3/0083 , B81B2201/045 , B81C1/00182 , G02B6/122 , G02B6/136 , G02B6/3514 , G02B6/3518 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3596 , G02B26/0841
Abstract: 本发明涉及微光学装置。该装置包括复杂结构和可移动反射镜，可在更短的时间内制造出该微光学装置。硅基底和单晶硅装置层以及置于其间的氧化硅中间层构成基底，其上掩模材料层得以形成且被构图，从而形成与如平面图所示的预期光学装置的结构具有相同图案的掩模。将构造为反射镜表面的表面选择为硅晶体的面。利用掩模，通过反应离子干刻蚀，垂直刻蚀装置层，直到露出中间层为止。随后利用KOH溶液在约十分钟的时间段内以大约0.1μm/min的刻蚀速率，执行对于晶向是各向异性的湿刻蚀，从而将反射镜4的侧壁表面转变为光滑的晶体学表面。随后，选择性地湿刻蚀中间层，从而仅在位于光学装置的可移动部件下面的区域中除去中间层。
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公开(公告)号：CN100340882C
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200410031245.7
申请日：2004-03-26
Applicant: 日本航空电子工业株式会社
Inventor： 森惠一
CPC classification number: G02B6/4215 , G02B6/262 , G02B6/2817 , G02B6/29361 , G02B6/327 , G02B6/3636 , G02B6/3652 , G02B6/4206 , G02B6/4214
Abstract: 在基底(11)的一个表面(11a)的一半部分上形成具有相同深度的平行V形槽(141)和(142)，在其中放置光纤(21)和(22)、并使它们的轴相对于该表面(11a)保持H1的高度。光纤(21)和(22)具有与它们在一端一体形成的透镜部分(21a)和(22a)，透镜部分(21a)和(22a)的端面相对它们的轴倾斜一角θ′。分光器(31)安装在基底(11)上并位于光纤(21)和(22)延长线之间的中心线(25)上，从透镜部分(21a)发射的光穿过空间并以聚焦的形式入射到分光器(31)，一部分该入射光被反射，该光穿过空间并以聚焦的形式入射到透镜部分(22a)、并穿过光纤(22)传送。穿过分光器(31)的光被射入光接收元件(32)。通过检测从光接收元件(32)输出的电信号、可监视穿过光纤(22)传送的光。
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